از آنجایی که صنعت نیمههادیها به شدت به دنبال گرههای فرآیند زیر ۲ نانومتر است، حاشیه خطای مکانیکی عملاً از بین رفته است. در این محیط پرمخاطره، پایداری محفظه فرآیند دیگر یک نگرانی ثانویه نیست؛ بلکه گلوگاه اصلی برای عملکرد است. در ZHHIMG، ما شاهد یک تغییر اساسی در نحوه رویکرد تولیدکنندگان اصلی تجهیزات اصلی جهانی به یکپارچگی ساختاری تجهیزات سرمایهای نیمههادی هستیم.
فیزیک سکوت: تکنیکهای پیشرفته میرایی ارتعاش
در ساخت ویفر مدرن، ارتعاشاتی که زمانی «نویز پسزمینه» محسوب میشدند، اکنون فاجعهبار هستند. چه ریزنوسانات سیستم تهویه مطبوع یک مرکز باشد و چه اینرسی داخلی یک مرحله اسکن پرسرعت، انرژی کنترل نشده مستقیماً به خطاهای همپوشانی و الگوهای تار تبدیل میشود.
تکنیکهای فعلی میرایی ارتعاش در تولید نیمههادیها به معماری چندلایهای تکامل یافتهاند. در حالی که میرایی غیرفعال - با استفاده از مواد با جرم بالا مانند ریختهگری معدنی یا گرانیت دقیق - همچنان پایه و اساس است، شاهد افزایش ادغام میرایی فعال هستیم.
سیستمهای فعال از محرکهای پیزوالکتریک و حسگرهای بلادرنگ برای «لغو» ارتعاشات با تولید فرکانسهای مخالف استفاده میکنند. با این حال، اثربخشی سیستمهای فعال ذاتاً توسط نسبت میرایی ماده پایه محدود میشود. اینجاست که تخصص ZHHIMG در مواد سازهای با میرایی بالا حیاتی میشود. با ترکیب الکترونیک فعال با یک پایه گرانیتی یا کامپوزیتی که به طور طبیعی بیاثر است، ما یک «منطقه آرام» فراهم میکنیم که در آن نانوموقعیتیابی میتواند بدون دخالت رخ دهد.
ظهور حرکت بدون اصطکاک: فناوری یاتاقان هوایی
تقاضا برای توان عملیاتی بالاتر، یاتاقانهای مکانیکی سنتی را به مرز محدودیت رسانده است. اصطکاک منجر به گرما میشود و گرما منجر به انبساط حرارتی میشود - دشمن دقت. این امر منجر به پذیرش گسترده ...فناوری یاتاقان هوایی برای مراحل دقیق.
یاتاقانهای هوایی، بار را روی یک لایه نازک از هوای تحت فشار، که معمولاً تنها چند میکرون ضخامت دارد، تحمل میکنند. از آنجا که هیچ تماس فیزیکی وجود ندارد، اصطکاک استاتیکی (یا اصطکاک ناشی از اصطکاک) صفر است. این امر موارد زیر را امکانپذیر میسازد:
-
حرکت بدون پسماند: اطمینان از اینکه صفحه هر بار دقیقاً به همان مختصات نانومتری برمیگردد.
-
ثبات سرعت: برای کاربردهای اسکن مانند بازرسی با پرتو الکترونی که در آنها حتی کوچکترین "گیر کردن" یاتاقان مکانیکی باعث تحریف تصویر میشود، بسیار مهم است.
-
طول عمر بسیار بالا: از آنجایی که هیچ قطعهی تماسی وجود ندارد، هیچ سایش و تولید ذراتی وجود ندارد، که آنها را برای محیطهای اتاق تمیز کلاس ۱ ایدهآل میکند.
در ZHHIMG، ما سطوح گرانیتی فوقالعاده صافی را تولید میکنیم که به عنوان مسیرهای هدایت این یاتاقانهای هوایی عمل میکنند. برای عملکرد صحیح، این سطوح باید تا حدی که صافی آنها در کسری از طول موج نور اندازهگیری شود، همسطح شوند.
روندهای تجهیزات سرمایهای نیمههادی: ۲۰۲۶ و پس از آن
همچنان که در سال ۲۰۲۶ پیش میرویم،روندها در تجهیزات سرمایهای نیمههادیبا «سه رکن» مشخص میشوند: مدولارسازی، پایداری و کنترل حرارتی.
-
طراحی پلتفرم ماژولار: تولیدکنندگان تجهیزات اصلی (OEM) به دنبال ماژولهای پایه «قابل اتصال و اجرا» هستند. آنها به جای طراحی یک پایه جدید برای هر ابزار، از پایههای دقیق استاندارد ZHHIMG استفاده میکنند که میتوانند برای لیتوگرافی، مترولوژی یا حکاکی سازگار شوند.
-
مدیریت حرارتی: از آنجایی که منابع نوری EUV (فرابنفش شدید) گرمای بسیار زیادی تولید میکنند، پایه دستگاه باید به عنوان یک سینک حرارتی عظیم عمل کند. ما کانالهای خنککننده پیچیدهای را مستقیماً در قطعات معدنی و گرانیتی خود ادغام میکنیم تا دلتای $<0.01^\circ\text{C}$ را حفظ کنیم.
-
سازگاری با خلاء: با حرکت بیشتر فرآیندها به سمت محیطهای خلاء بالا، مواد مورد استفاده باید بدون گاز باشند. فرآوری تخصصی گرانیت و سرامیک ما تضمین میکند که یکپارچگی خلاء هرگز توسط فونداسیون سازه به خطر نمیافتد.
همکاری استراتژیک با ZHHIMG
ZHHIMG صرفاً یک تولیدکننده قطعات نیست؛ ما یک شریک استراتژیک در زنجیره تأمین کنترل حرکت هستیم. تأسیسات ما در چین با هماهنگی نزدیک با تیمهای مهندسی در سیلیکون ولی و آیندهوون برای حل دشوارترین چالشهای پایداری در صنعت همکاری میکند.
با بهرهگیری از تکنیکهای اختصاصی لپینگ و درک عمیق ما ازتکنیکهای میرایی ارتعاش، ما به مشتریان خود این امکان را میدهیم که مرزهای قانون مور را جابجا کنند. چه در حال توسعه یک ابزار ALD (رسوب لایه اتمی) نسل بعدی باشید و چه یک کاوشگر ویفر پرسرعت، پایه و اساس کار با ZHHIMG آغاز میشود.
نتیجهگیری
تکامل تولید نیمههادیها، مسابقهای علیه قوانین فیزیک است. با نزدیک شدن به سال ۲۰۲۶، تمرکز بر دقت یاتاقانهای هوایی و میرایی پیشرفته، تشدید خواهد شد. پیشی گرفتن از این روندها، نیازمند پایهای - چه به معنای واقعی کلمه و چه به معنای مجازی - است که بر پایه تخصص و نوآوری بنا شده باشد.
زمان ارسال: ۲۶ ژانویه ۲۰۲۶