برای تجهیزات فوق دقیق، تنگناهای دقت اغلب نه از الگوریتم‌های پردازش یا خود اجزای نوری، بلکه از ریزلرزش‌های مداوم ناشی می‌شوند. ارتعاشات ظریف ناشی از حرکت رفت و برگشتی پرسرعت موتورهای خطی، شروع و توقف مکانیسم‌های انتقال و عملکرد تجهیزات کارگاهی اطراف، در امتداد قاب دستگاه به سطح بازرسی منتقل می‌شوند و خطاهای اندازه‌گیری را بزرگنمایی کرده و تکرارپذیری نتایج تصویربرداری، موقعیت‌یابی و بازرسی را کاهش می‌دهند. برای حفظ معیارهای سطح نانومتر، جدا از جداول جداسازی ارتعاش خارجی، جنس قاب پایه تجهیزات به عنوان اولین خط دفاعی کاهش ارتعاش عمل می‌کند. یکی از ارزش‌های اصلی اجزای گرانیتی دقیق، کاهش مستقیم تداخل ارتعاش به دلیل ساختار ذاتی ماده است.
انتقال ارتعاش اساساً هدایت و تقویت رزونانس انرژی است. زیرلایه‌های فلزی دارای مدول الاستیک بالایی هستند؛ امواج ارتعاش به سرعت در داخل آنها منتشر می‌شوند. هنگامی که فرکانس تحریک با فرکانس طبیعی قاب مطابقت داشته باشد، رزونانس به راحتی رخ می‌دهد و لرزش‌های کوچک به طور مداوم تقویت می‌شوند. حتی اگر پدهای میرایی ارتعاش خارجی نصب شوند، آنها فقط می‌توانند بخشی از ارتعاشات فرکانس پایین را از زمین جدا کنند. ارتعاشات داخلی ایجاد شده توسط حرکت خود تجهیزات، همچنان به طور مکرر در داخل سازه فلزی منعکس می‌شوند و به طور مداوم پایداری سطح مرجع را به خطر می‌اندازند.
گرانیت مشکی صنعتی دارای کریستال‌های به هم تنیده و ریزساختار ذاتی با میرایی بالا است. هنگامی که انرژی ارتعاش وارد توده سنگ می‌شود، سطوح مشترک کریستالی متراکم به طور مداوم انرژی جنبشی ارتعاشی را مصرف می‌کنند و انرژی ارتعاش را به حداقل گرما برای اتلاف تبدیل می‌کنند، دامنه را به سرعت تضعیف می‌کنند و از برهم نهی مداوم ارتعاش و رزونانس جلوگیری می‌کنند. این خاصیت میرایی ذاتی ماده، یک ویژگی ذاتی است و برخلاف مواد کاهش ارتعاش خارجی مانند لاستیک و فوم که به مرور زمان کهنه می‌شوند و از بین می‌روند، با استفاده طولانی مدت از تجهیزات، کاهش نمی‌یابد.
عملکرد میرایی ارتعاش در بین انواع مختلف سنگ به طور چشمگیری متفاوت است. سنگ مرمر دارای کریستال‌های سست، منافذ داخلی فراوان و بافت ناهموار است که ظرفیت میرایی ارتعاش محدودی را ارائه می‌دهد و به سختی ارتعاشات ریز با فرکانس بالا را سرکوب می‌کند. ZHHIMG از گرانیت سیاه با چگالی بالا تا 3100 کیلوگرم بر متر مکعب استفاده می‌کند. این سنگ دارای کریستال‌های داخلی با چیدمان یکنواخت است. بلوک‌های خام تحت عملیات پیرسازی طولانی مدت و بدون ترک‌های پنهان قرار می‌گیرند. اجزای گرانیتی یکپارچه می‌توانند مستقیماً به عنوان پایه‌های مرجع تجهیزات، تیرهای دروازه‌ای و زیرلایه‌هایی برای سکوهای تحمل هوا استفاده شوند. آنها انرژی ارتعاش را در منبع تولید ارتعاش جذب می‌کنند، به جای اینکه ارتعاشات را پس از پخش شدن به صورت غیرفعال ایزوله کنند. 
این مزیت میرایی ارتعاش ذاتی، ارزش فوق‌العاده‌ای را در سناریوهای دقیق فرکانس بالا ارائه می‌دهد. پردازش لیزری فمتوثانیه و پیکوثانیه، بازرسی نوری AOI، تشخیص عیب با اشعه ایکس، بازرسی ویفر نیمه‌هادی و دستگاه‌های اندازه‌گیری مختصات، به ریز ارتعاشات بسیار حساس هستند. حتی لرزش‌هایی در حد چند ده نانومتر منجر به تصویربرداری تار، جابجایی موقعیت و نوسان داده‌های بازرسی می‌شود. با مجهز شدن به اجزای مرجع گرانیتی، ارتعاشات ایجاد شده توسط حرکت خود تجهیزات قبل از رسیدن به سطح کاری اندازه‌گیری تا حد زیادی تضعیف می‌شوند. نیازی به چیدن مجموعه‌های پیچیده متعدد کاهش ارتعاش نیست که ساختار کلی دستگاه را ساده کرده و در عین حال پایداری عملیاتی بلندمدت تجهیزات را بهبود می‌بخشد.
از نظر عینی، قابلیت سرکوب ارتعاش گرانیت کاملاً قدرتمند نیست. این ماده در جذب ریز ارتعاشات با فرکانس متوسط و بالا که در داخل تجهیزات تولید می‌شوند، عالی عمل می‌کند. برای ارتعاشات ضربه‌ای شدید از منابع خارجی، هنوز هم نیاز به محافظت هماهنگ با سازه‌های خارجی مانند ترانشه‌های ضد ارتعاش حرفه‌ای و پایه‌های جاذب ضربه دارد. هنگام ساخت کارگاه‌های با دمای ثابت، ZHHIMG از طراحی ترانشه ضد ارتعاش مستقل استفاده می‌کند و یک سیستم کاهش ارتعاش دوگانه داخلی و خارجی را به همراه میرایی ذاتی اجزای گرانیتی تشکیل می‌دهد تا حداکثر دقت معیار را حفظ کند.
به طور خلاصه، اجزای گرانیتی دقیق صرفاً پایه‌های تحمل بار نیستند، بلکه حامل‌های معیار با ظرفیت سرکوب ارتعاش داخلی هستند. با تکیه بر خاصیت میرایی بالای این ماده، تداخل ارتعاش ایجاد شده در حین کار تجهیزات از منبع را تضعیف می‌کنند، اختلال در معیارهای اندازه‌گیری و موقعیت‌یابی را کاهش می‌دهند و به تجهیزات فوق دقیق کمک می‌کنند تا به طور پیوسته دقت کار میکرونی و حتی نانومتری را حفظ کنند. این دلیل اصلی انتخاب مداوم آنها برای تجهیزات مترولوژی، نیمه‌هادی و لیزر با کیفیت بالا است.
زمان ارسال: ۱۴ سپتامبر ۲۰۲۶