از هر مهندس تجهیزات نیمه‌هادی بپرسید چه چیزی آنها را بیدار نگه می‌دارد، و پاسخ به ندرت سیستم حرکتی یا اپتیک است. این زمینی است که دستگاه روی آن قرار دارد. یک صفحه ویفری که 2 نانومتر موقعیت را روی کاغذ نگه می‌دارد، هنوز به پایه‌ای نیاز دارد که زیر آن رانده نشود، زنگ نزند یا گرم نشود.
آن پایه معمولاً گرانیت سیاه است. نه به این دلیل که گرانیت مد روز است، بلکه به این دلیل که سه کار را همزمان انجام می‌دهد که هیچ فلزی انجام نمی‌دهد: با تغییر دما در جای خود باقی می‌ماند، به جای انتقال لرزش، آن را جذب می‌کند و در طول یک دهه کار 24 ساعته و 7 روز هفته زنگ نمی‌زند و نمی‌خزد. این بخشی از ابزاری است که ZHHIMG می‌سازد.
یک صفحه گرانیتی سیاه بزرگ در کارخانه ZHHIMG بررسی می‌شود - صاف بودن آن با ابزار ثابت می‌شود، نه با وعده و وعید.
مشکل، ثبات است، نه قدرت
تجهیزات نیمه‌هادی به این دلیل سنگین نیستند که به استحکام نیاز دارند. سنگین هستند زیرا به پایداری نیاز دارند. این ابزار باید هندسه خود را در حین حرکت موتورها، در حین گرم و سرد شدن اتاق و در حین کار بدون وقفه برای ماه‌ها حفظ کند.
فولاد و چدن با دما حرکت می‌کنند. آنها همچنین زنگ می‌زنند. در ابزاری که ویژگی‌های کوچکتر از یک ویروس را اندازه‌گیری می‌کند، پایه‌ای که زنگ می‌زند، پایه‌ای است که از کار افتاده است. هدف، سطحی است که در تمام طول سال، نه فقط در روز نصب، به عنوان سطح مرجع باقی بماند.
چرا گرانیت مشکی برنده می‌شود؟
گرانیت سیاه ما تقریباً با چگالی اجرا می‌شود۳۱۰۰ کیلوگرم بر متر مکعبچگالی بالا به معنای تخلخل کم است. تخلخل کم به این معنی است که سنگ رطوبت را جذب نمی‌کند، در اتاق‌های تمیز مرطوب متورم نمی‌شود و با تغییر فصل تغییر شکل نمی‌دهد.
سه ویژگی دیگر نیز به همان اندازه اهمیت دارند. گرانیت انبساط حرارتی کمی دارد، بنابراین نوسان دما آن را بسیار کمتر از فلز جابجا می‌کند. میرایی داخلی بالایی دارد، بنابراین ارتعاش به جای انتقال به ویفر به گرما تبدیل می‌شود. و غیر مغناطیسی و ضد زنگ است، بنابراین به حسگرها آسیب نمی‌رساند یا به مرور زمان خوردگی ایجاد نمی‌کند. برای ابزاری که باید نانومترها را در خود نگه دارد، این کل ماجرا است.
جایگاه گرانیت در ابزار نیمه‌هادی
ما گرانیت را برای بخش‌هایی از ابزار که در آنها دقت تعیین می‌شود، تأمین می‌کنیم. این شامل مراحل بازرسی ویفر و مترولوژی، پلتفرم‌های لیتوگرافی و لیزر، تجهیزات اتصال و بسته‌بندی، CMP و فریم‌های مسطح‌سازی و ... می‌شود.سیستم‌های دروازه‌ای گرانیتیکه اپتیک‌ها و پروب‌ها را در سراسر قطعه کار حمل می‌کنند.
همین ماده همچنین پایه‌های دستگاه برای سوراخکاری PCB، بازرسی نوری و مونتاژ دقیق را پشتیبانی می‌کند. ابزارهای مختلف، الزامات یکسان: مرجعی که با اندازه‌گیری مغایرت ندارد.
جزئیاتی که مرحله ویفر را تعیین می‌کنند
یک بلوک گرانیت یک قطعه نیست. چیزی که آن را به یک قطعه تبدیل می‌کند، کار روی اطراف آن است. ما قطعات رزوه‌دار، کانال‌های خلاء، محفظه‌های هوا، مسیرهای کابل و صفحات نصب را با ماشین‌کاری به داخل سنگ متصل می‌کنیم و سپس هندسه بین آنها را مطابق نقشه نگه می‌داریم.
سوراخ‌ها و قطعات داخلی طوری تنظیم شده‌اند که صحنه، اپتیک‌ها و ریل‌های تراول بدون نیاز به شیم کردن در محل، در یک راستا قرار گیرند. این تفاوت بین یک اسلب و یک ... است.جزء گرانیتی دقیقو به همین دلیل است که سازندگان تجهیزات، نقشه رابط را برای ما ارسال می‌کنند، نه فقط ابعاد بیرونی.
دستی که یک میکرون را می‌خواند
صافی روی صفحه گرانیتی هنوز هم با دست پرداخت می‌شود. استادان سنگ‌تراشی دستی ما تا سی سال روی میز کار کرده‌اند. آنها می‌توانند خیلی قبل از اینکه دستگاه برای تأیید آن فراخوانده شود، یک نقطه برجسته را در سطح میکرون حس کنند.
ما آن مهارت را به عنوان نقطه شروع در نظر می‌گیریم، نه یک گواهینامه. دست پیشنهاد می‌دهد؛ ابزار دفع می‌کند. سپس هر سطح بحرانی در خط بازرسی ما اندازه‌گیری می‌شود که روی تجهیزات از ... اجرا می‌شود.ماهر (آلمان)، وایلر (سوئیس) و رنیشاو (بریتانیا)تا زمانی که اعداد با نقاشی مطابقت نداشته باشند، هیچ چیزی ارسال نمی‌شود.
دارای گواهی، ثبت اختراع و ساخته شده برای ممیزی
ZHHIMG تنها شرکت در این بخش است که همزمان دارای گواهینامه‌های ISO 9001، ISO 45001، ISO 14001 و CE است و بیش از 20 اختراع بین‌المللی نیز به آن ثبت شده است. مشتریان نیمه‌هادی‌ها به شدت ممیزی می‌شوند و ما ترجیح می‌دهیم که آنها همه چیز را بررسی کنند.
ماگرانیت دقیقتوسط شرکت‌هایی مانند GE، سامسونگ و اوراکل استفاده می‌شود و با مؤسساتی از جمله دانشگاه ملی سنگاپور و مؤسسات ملی مترولوژی در انگلستان، آلمان و ایالات متحده مورد تحقیق قرار گرفته است. وقتی یک آزمایشگاه ملی مترولوژی مواد را اندازه‌گیری می‌کند، تلرانس یک واقعیت اندازه‌گیری شده است، نه یک عدد بازاریابی. بدون تقلب، بدون پنهان‌کاری، بدون گمراهی - این نحوه کار ماست.
چرا سازندگان مدام برمی‌گردند؟
وقتی یک ابزار نیمه‌هادی ارسال می‌شود، پایه قطعه‌ای است که هیچ‌کس آن را دوباره مشخص نمی‌کند. یا کار می‌کند، یا کل دستگاه قراضه است. سازندگان به ZHHIMG برمی‌گردند زیرا اعداد، پرداخت و هندسه در طول عمر پلتفرم ثابت می‌مانند.
اگر در حال طراحی یک صحنه، یک دروازه یا یک پایه ماشین هستید، بودجه دقیق، بار و محیط را برای ما ارسال کنید. مهندسان ما درجه گرانیت، ضخامت و طرح درج را با کار مطابقت می‌دهند - و داده‌های اندازه‌گیری را برای اثبات آن در اختیار شما قرار می‌دهند. ما را کاوش کنیدراهکارهای گرانیتی با دقت فوق العاده بالابرای شروع.
زمان ارسال: ۱۷ سپتامبر ۲۰۲۶