در صنعت نیمهرساناها، که در آن «نانومتر» واحد استاندارد اندازهگیری است، یکپارچگی ساختاری تجهیزات غیرقابل مذاکره است. با کوچک شدن گرههای تراشه به ۵ نانومتر و فراتر از آن، تقاضا برای میرایی ارتعاش و پایداری حرارتی به سطوح بسیار بالایی میرسد. قطعات گرانیتی دقیق از یک گزینه سطح بالا به «DNA» ضروری سختافزار تولید نیمهرساناها تبدیل شدهاند.
ZHHIMG® به عنوان ارائه دهنده پیشرو در سازههای تجهیزات با پایداری بالا، هشت کاربرد حیاتی را که گرانیت قهرمان خاموش آنهاست، تجزیه و تحلیل میکند.
۱. پایههای دستگاه لیتوگرافی
دستگاه لیتوگرافی پیچیدهترین قطعه تجهیزات در زنجیره نیمههادی است. پایه باید از سیستمهای نوری عظیم پشتیبانی کند و در عین حال کاملاً بیحرکت بماند. چگالی بالای گرانیت و میرایی داخلی آن به آن اجازه میدهد تا ریزارتعاشات را از محیط اطراف جذب کند و از تراز بودن منبع نور در سطح اتمی اطمینان حاصل کند.
۲. مراحل حرکت یاتاقان هوایی
انتقال ویفر با سرعت بالا نیاز به حرکت بدون اصطکاک دارد. از آنجا که گرانیت را میتوان تا سطح صافی زیر میکرونی صیقل داد، به عنوان شریک ایدهآلی برای فناوری یاتاقان هوایی عمل میکند. "بالشتک هوا" بدون سایش روی سطح گرانیت میلغزد و حرکت فوقالعاده روان مورد نیاز برای اسکن و موقعیتیابی را فراهم میکند.
۳. سکوهای بازرسی و اندازهگیری ویفر
پس از اچینگ، ویفرها باید از نظر نقص بررسی شوند. هرگونه انبساط حرارتی در قاب دستگاه منجر به "مثبت کاذب" یا نقص از دست رفته میشود.قطعات گرانیتی دقیقیک محیط بیاثر از نظر حرارتی فراهم میکند و تضمین میکند که دادههای بازرسی، بازتاب واقعی سطح ویفر هستند، نه اعوجاج دستگاه.
۴. سیستمهای حرکتی گانتری (سازههای پل)
در برش با سرعت بالا یا اتصال سیمی، «پل» یا گانتری باید به سرعت و بدون لرزش حرکت کند. گانتری گرانیتی در مقایسه با چدن، نسبت سختی به جرم بالاتری دارد و «زمان نشست» - زمانی که یک دستگاه باید منتظر توقف ارتعاشات قبل از انجام کار بعدی خود باشد - را به میزان قابل توجهی کاهش میدهد.
۵. قابهای تجهیزات تعمیر لیزر
وقتی نقصی روی ماسک یا ویفر پیدا میشود، از لیزر برای تعمیر دقیق استفاده میشود. این کار نیاز به یک پایه ساختاری دارد که کاملاً غیرمغناطیسی و غیررسانا باشد. گرانیت به طور طبیعی عایق است و از تداخل الکترومغناطیسی جلوگیری میکند و مانع از تأثیرگذاری بر مسیر ظریف لیزر میشود.
۶. CMM (ماشینهای اندازهگیری مختصات) برای اتاقهای تمیز
کنترل کیفیت در تأسیسات نیمههادی نیازمند CMMهایی است که بتوانند پروتکلهای سختگیرانه اتاق تمیز را تحمل کنند. برخلاف فلز که میتواند ذرات را پخش کند یا اکسید شود، گرانیت در برابر اسید مقاوم و ضد زنگ است و بدون آلوده کردن محیط، ساختار تجهیزات با پایداری بالا را حفظ میکند.
۷. پایههای پرداخت مکانیکی شیمیایی (CMP)
فرآیند CMP شامل دوغاب و عوامل شیمیایی است که برای فلزات بسیار خورنده هستند. مقاومت شیمیایی طبیعی گرانیت، آن را به مادهای ایدهآل برای پایه ساختاری واحدهای پولیش تبدیل میکند و حتی در محیطهای شیمیایی خشن، عمر طولانی آن را تضمین میکند.
۸. سیستمهای کاشت یون
محیطهای ولتاژ بالا در دستگاههای کاشت یون به اجزایی نیاز دارند که با پرتوهای یونی تداخل نداشته باشند و قوس الکتریکی ایجاد نکنند. خواص دیالکتریک گرانیت، آن را به انتخابی ایمن و پایدار برای نصب اجزای حساس الکتریکی و خلاء تبدیل میکند.
چرا ZHHIMG® برای زیرساخت نیمههادی؟
در ZHHIMG®، ما درک میکنیم که پایه تجهیزات نیمههادی چیزی بیش از یک تکه سنگ است - این یک ابزار کالیبره شده است. گرانیت مشکی تخصصی ما، همراه با بیش از 30 سال تخصص در سنگزنی دستی، به ما این امکان را میدهد که به درجههای مسطح بودن و توازی دست یابیم که الزامات سختگیرانه عصر زیر میکرون را برآورده میکند.
-
جنس: گرانیت مشکی ZHHIMG® با چگالی بالا و دانههای فوقالعاده ریز.
-
دقت: درجه دقت مطابق با DIN 876 Grade 00 یا مشخصات سفارشی JIS/ASME.
-
سفارشیسازی: قطعات یکپارچه، شیارهای T شکل و ریلهای یاتاقان هوایی از پیش نصب شده در کارگاههای ۱۰۰۰۰ متر مربعی ما با دمای ثابت.
زمان ارسال: ۱۸ مارس ۲۰۲۶