♦آلومینا (Al2O3)
قطعات سرامیکی دقیق تولید شده توسط ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) را می توان از مواد خام سرامیکی با خلوص بالا، 92 تا 97 درصد آلومینا، 99.5 درصد آلومینا، > 99.9 درصد آلومینا، و پرس ایزواستاتیک سرد CIP تهیه کرد.تف جوشی با دمای بالا و ماشینکاری دقیق، دقت ابعادی ± 0.001 میلی متر، صافی تا Ra0.1، دمای استفاده تا 1600 درجه.رنگ های مختلف سرامیک را می توان با توجه به نیاز مشتری ساخت، مانند: مشکی، سفید، بژ، قرمز تیره و غیره. برای مدت طولانی در دمای بالا، خلاء و محیط گاز خورنده استفاده می شود.
به طور گسترده در انواع تجهیزات تولید نیمه هادی استفاده می شود: قاب ها (براکت سرامیکی)، بستر (پایه)، بازو/پل (مانیپلاتور)، اجزای مکانیکی و بلبرینگ هوای سرامیکی.
| نام محصول | لوله مربع / لوله / میله آلومینا با خلوص بالا 99 | |||||
| فهرست مطالب | واحد | 85٪ Al2O3 | 95٪ Al2O3 | 99٪ Al2O3 | 99.5٪ Al2O3 | |
| تراکم | g/cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
| جذب آب | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
| دمای زینتر شده | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
| سختی | موهس | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| مقاومت خمشی (20℃)) | Mpa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| مقاومت فشاری | کیلوگرم بر سانتی متر مربع | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| دمای کار طولانی مدت | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
| حداکثردمای کاری | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
| میزان مقاومت | 20 درجه سانتیگراد | Ω.سانتی متر 3 | > 1013 | > 1013 | > 1013 | > 1013 |
| 100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300 ℃ | > 109 | > 1010 | > 1012 | > 1012 | ||
کاربرد سرامیک آلومینا با خلوص بالا:
1. برای تجهیزات نیمه هادی اعمال می شود: چاک خلاء سرامیکی، دیسک برش، دیسک تمیز کردن، CHUCK سرامیکی.
2. قطعات انتقال ویفر: چاک های جابجایی ویفر، دیسک های برش ویفر، دیسک های تمیز کننده ویفر، فنجان های مکش بازرسی نوری ویفر.
3. صنعت صفحه نمایش صفحه تخت LED / LCD: نازل سرامیکی، دیسک سنگ زنی سرامیکی، پین LIFT، ریل پین.
4. ارتباطات نوری، صنعت خورشیدی: لوله های سرامیکی، میله های سرامیکی، اسکرابرهای سرامیکی چاپ صفحه مدار.
5. قطعات مقاوم در برابر حرارت و عایق الکتریکی: بلبرینگ سرامیکی.
در حال حاضر سرامیک های اکسید آلومینیوم را می توان به سرامیک های خلوص بالا و سرامیک های معمولی تقسیم کرد.سری سرامیک های اکسید آلومینیوم با خلوص بالا به مواد سرامیکی حاوی بیش از 99.9٪ Al2O3 اشاره دارد.به دلیل دمای تف جوشی آن تا 1650 - 1990 درجه سانتی گراد و طول موج انتقال آن 1 تا 6 میکرومتر، معمولاً به جای بوته پلاتین به شیشه ذوب شده پردازش می شود: که به دلیل عبور نور و مقاومت در برابر خوردگی آن می تواند به عنوان لوله سدیم استفاده شود. فلز قلیاییدر صنعت الکترونیک، می توان از آن به عنوان ماده عایق فرکانس بالا برای بسترهای آی سی استفاده کرد.با توجه به محتویات مختلف اکسید آلومینیوم، سری سرامیک اکسید آلومینیوم رایج را می توان به 99 سرامیک، 95 سرامیک، 90 سرامیک و 85 سرامیک تقسیم کرد.گاهی اوقات، سرامیک هایی با 80% یا 75% اکسید آلومینیوم نیز جزو سری سرامیک های معمولی اکسید آلومینیوم طبقه بندی می شوند.در میان آنها، 99 ماده سرامیکی اکسید آلومینیوم برای تولید بوته با دمای بالا، لوله کوره نسوز و مواد ویژه مقاوم در برابر سایش، مانند بلبرینگ های سرامیکی، مهر و موم های سرامیکی و صفحات سوپاپ استفاده می شود.سرامیک آلومینیوم 95 عمدتاً به عنوان قسمت مقاوم در برابر سایش مقاوم در برابر خوردگی استفاده می شود.سرامیک 85 اغلب در برخی خواص مخلوط می شود، در نتیجه عملکرد الکتریکی و استحکام مکانیکی را بهبود می بخشد.می تواند از مولیبدن، نیوبیم، تانتالیوم و سایر مهر و موم های فلزی استفاده کند و برخی به عنوان دستگاه های خلاء الکتریکی استفاده می شود.
| آیتم با کیفیت (مقدار نمایندگی) | نام محصول | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
| ترکیب شیمیایی محصول پخت آسان کم سدیم | H2O | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| روده بر شدن از خنده | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| Fe203 | % | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
| SiO2 | % | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.02 | 0.04 | 0.04 | |
| Na2O | % | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.02 | 0.04 | 0.03 | |
| MgO* | % | - | 0.11 | 0.05 | 0.05 | - | - | - | |
| Al203 | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
| قطر ذرات متوسط (MT-3300، روش آنالیز لیزری) | میکرومتر | 0.44 | 0.43 | 0.39 | 0.47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| اندازه کریستال α | میکرومتر | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 ~ 1.0 | 0.3 ~ 4 | 0.3 ~ 4 | |
| چگالی شکل دهی ** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| چگالی تف جوشی ** | g/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
| نرخ انقباض خط تف جوشی** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* MgO در محاسبه خلوص Al2O3 لحاظ نشده است.
* بدون پودر پوسته پوسته 29.4 مگا پاسکال (300 کیلوگرم بر سانتی متر مربع)، دمای پخت 1600 درجه سانتی گراد است.
AES-11 / 11C / 11F: 0.05 ~ 0.1٪ MgO اضافه کنید، قابلیت پخت عالی است، بنابراین برای سرامیک های اکسید آلومینیوم با خلوص بیش از 99٪ قابل استفاده است.
AES-22S: با چگالی شکل دهی بالا و سرعت انقباض کم خط تف جوشی مشخص می شود، برای ریخته گری قالب لغزش و سایر محصولات در مقیاس بزرگ با دقت ابعادی مورد نیاز قابل استفاده است.
AES-23 / AES-31-03: چگالی شکل دهی، تیکسوتروپی و ویسکوزیته کمتری نسبت به AES-22S دارد.اولی برای سرامیک ها استفاده می شود در حالی که دومی به عنوان کاهنده آب برای مواد نسوز استفاده می شود و محبوبیت پیدا می کند.
♦ویژگی های کاربید سیلیکون (SiC).
| خصوصیات عمومی | خلوص اجزای اصلی (wt%) | 97 | |
| رنگ | مشکی | ||
| چگالی (g/cm³) | 3.1 | ||
| جذب آب (٪) | 0 | ||
| مشخصات مکانیکی | مقاومت خمشی (MPa) | 400 | |
| مدول جوان (GPA) | 400 | ||
| سختی ویکرز (GPA) | 20 | ||
| ویژگی های حرارتی | حداکثر دمای عملیاتی (درجه سانتیگراد) | 1600 | |
| ضریب انبساط حرارتی | RT~500 درجه سانتیگراد | 3.9 | |
| (1/°C x 10-6) | RT~800 درجه سانتیگراد | 4.3 | |
| هدایت حرارتی (W/m x K) | 130 110 | ||
| مقاومت شوک حرارتی ΔT (°C) | 300 | ||
| ویژگی های الکتریکی | میزان مقاومت | 25 درجه سانتی گراد | 3 × 106 |
| 300 درجه سانتی گراد | - | ||
| 500 درجه سانتی گراد | - | ||
| 800 درجه سانتی گراد | - | ||
| ثابت دی الکتریک | 10 گیگاهرتز | - | |
| تلفات دی الکتریک (x 10-4) | - | ||
| ضریب Q (x 104) | - | ||
| ولتاژ شکست دی الکتریک (KV/mm) | - | ||
♦سرامیک نیترید سیلیکون
| مواد | واحد | Si₃N4 |
| روش پخت | - | گاز زینتر شده با فشار |
| تراکم | g/cm³ | 3.22 |
| رنگ | - | خاکستری تیره |
| میزان جذب آب | % | 0 |
| مدول جوان | GPA | 290 |
| سختی ویکرز | GPA | 18 - 20 |
| مقاومت فشاری | Mpa | 2200 |
| مقاومت خمشی | Mpa | 650 |
| رسانایی گرمایی | W/mK | 25 |
| مقاومت در برابر شوک حرارتی | Δ (°C) | 450 - 650 |
| حداکثر دمای عملیاتی | درجه سانتی گراد | 1200 |
| میزان مقاومت | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
| ثابت دی الکتریک | - | 8.2 |
| قدرت دی الکتریک | kV/mm | 16 |