مواد

♦ آلومینا (آل2O3)

قطعات سرامیکی دقیق تولید شده توسط ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) را می توان از مواد اولیه سرامیکی با خلوص بالا ، 92 ~ 97 al آلومینا ، 99.5 al آلومینا ،> 99.9 al آلومینا و پرس سرد ایزوستاتیک CIP تهیه کرد. پخت درجه حرارت بالا و ماشینکاری دقیق ، دقت ابعادی 0.001 میلیمتر ، صافی تا Ra0.1 ، استفاده از دما تا 1600 درجه. رنگ های مختلف سرامیک را می توان با توجه به نیاز مشتریان تهیه کرد ، مانند: سیاه ، سفید ، بژ ، قرمز تیره و ... قطعات سرامیکی دقیق تولید شده توسط شرکت ما در برابر درجه حرارت بالا ، خوردگی ، سایش و عایق مقاوم هستند و می توانند برای مدت طولانی در دمای بالا ، خلاء و محیط گاز خورنده استفاده می شود.

به طور گسترده ای در انواع تجهیزات تولید نیمه هادی استفاده می شود: قاب (براکت سرامیکی) ، بستر (پایه) ، بازو/ پل (دستکاری کننده) ، اجزای مکانیکی و بلبرینگ سرامیکی.

AL2O3

استفاده از سرامیک آلومینا با خلوص بالا:
1. برای تجهیزات نیمه هادی: چاک خلاء سرامیکی ، دیسک برش ، دیسک تمیز کردن ، سرامیک CHUCK.
2. قطعات انتقال ویفر: قطعات دستگیره ویفر ، دیسک های برش ویفر ، دیسک های تمیز کردن ویفر ، ساکشن های بازرسی نوری ویفر.
3. صنعت صفحه نمایش تخت LED / LCD: نازل سرامیکی ، دیسک سنگ زنی سرامیکی ، پین LIFT ، ریل PIN.
4. ارتباطات نوری ، صنعت خورشیدی: لوله های سرامیکی ، میله های سرامیکی ، اسکرابرهای سرامیکی چاپ روی صفحه مدار.
5. قطعات مقاوم در برابر حرارت و عایق الکتریکی: بلبرینگ های سرامیکی.
در حال حاضر سرامیک های اکسید آلومینیوم را می توان به سرامیک های با خلوص بالا و معمول تقسیم کرد. سری سرامیک اکسید آلومینیوم با خلوص بالا به مواد سرامیکی حاوی بیش از 99.9 ₂ Al₂O₃ اشاره دارد. به دلیل دمای پخت تا 1650 - 1990 درجه سانتی گراد و طول موج انتقال آن 1 ~ 6μm ، معمولاً به جای بوته پلاتین به شیشه ذوب شده تبدیل می شود: به دلیل قابلیت عبور نور و مقاومت در برابر خوردگی ، می توان از آن به عنوان لوله سدیم استفاده کرد. فلز قلیایی در صنعت الکترونیک ، می توان از آن به عنوان عایق فرکانس بالا برای لایه های IC استفاده کرد. با توجه به محتویات مختلف اکسید آلومینیوم ، سری های سرامیکی اکسید آلومینیوم معمولی را می توان به 99 سرامیک ، 95 سرامیک ، 90 سرامیک و 85 سرامیک تقسیم کرد. گاهی اوقات ، سرامیک های دارای 80٪ یا 75٪ اکسید آلومینیوم نیز به عنوان سری های سرامیکی معمولی اکسید آلومینیوم طبقه بندی می شوند. در میان آنها ، 99 سرامیک اکسید آلومینیوم برای تولید لوله های قابل قیچی با درجه حرارت بالا ، لوله کوره نسوز و مواد مخصوص مقاوم در برابر سایش ، مانند بلبرینگ سرامیکی ، مهر و موم سرامیکی و صفحات سوپاپ استفاده می شود. سرامیک آلومینیوم 95 عمدتا به عنوان قطعه مقاوم در برابر خوردگی و مقاوم در برابر خوردگی استفاده می شود. 85 سرامیک اغلب در برخی از ویژگی ها مخلوط شده و در نتیجه عملکرد الکتریکی و استحکام مکانیکی را بهبود می بخشد. می تواند از مولیبدن ، نیوبیوم ، تانتالوم و سایر مهر و موم های فلزی استفاده کند و برخی از آنها به عنوان دستگاه های برقی خلا استفاده می شوند.

 

مورد کیفیت (ارزش نمایندگی) نام محصول AES-12 AES-11 AES-11C AES-11F AES-22S AES-23 AL-31-03
ترکیب شیمیایی محصول کم پخت آسان سدیم H₂O % 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
LOl % 0.1 0.2 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
Fe₂0₃ % 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01
SiO₂ % 0.03 0.03 0.03 0.03 0.02 0.04 0.04
Na₂O % 0.04 0.04 0.04 0.04 0.02 0.04 0.03
MgO* % - 0.11 0.05 0.05 - - -
Al₂0₃ % 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9
قطر ذرات متوسط ​​(MT-3300 ، روش تجزیه و تحلیل لیزری) میکرومتر 0.44 0.43 0.39 0.47 1.1 2.2 3
α اندازه کریستال میکرومتر 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 ~ 1.0 0.3 ~ 4 0.3 ~ 4
تشکیل تراکم ** گرم/سانتی متر مربع 2.22 2.22 2.2 2.17 2.35 2.57 2.56
تراکم پخت ** گرم/سانتی متر مربع 3.88 3.93 3.94 3.93 3.88 3.77 3.22
کاهش میزان خط پخت ** % 17 17 18 18 15 12 7

* MgO در محاسبه خلوص Al₂O₃ گنجانده نشده است.
* بدون پودر پوسته پوسته شدن 29.4 مگاپاسکال (300 کیلوگرم در سانتی متر مربع) ، دمای پخت 1600 درجه سانتی گراد است.
AES-11 / 11C / 11F: 0.05 ~ 0.1 M MgO اضافه کنید ، قابلیت پخت پذیری عالی است ، بنابراین برای سرامیک های اکسید آلومینیوم با خلوص بیش از 99 applicable قابل استفاده است.
AES-22S: با چگالی شکل دهی بالا و میزان انقباض کم خط پخت مشخص می شود و برای ریخته گری لغزش و سایر محصولات در مقیاس بزرگ با دقت ابعادی مورد نیاز کاربرد دارد.
AES-23 / AES-31-03: چگالی تشکیل بیشتر ، تیکسوتروپی و ویسکوزیته کمتری نسبت به AES-22S دارد. اولی برای سرامیک استفاده می شود در حالی که دومی به عنوان کاهنده آب برای مواد ضد حریق مورد استفاده قرار می گیرد و محبوبیت پیدا می کند.

♦ مشخصات کاربید سیلیکون (SiC)

ویژگیهای کلی خلوص اجزای اصلی (درصد وزنی) 97
رنگ سیاه
تراکم (g/cm³) 3.1
جذب آب (٪) 0
ویژگی های مکانیکی مقاومت خمشی (MPa) 400
مدول جوان (GPa) 400
سختی ویکرز (GPa) 20
ویژگی های حرارتی حداکثر دمای کارکرد (درجه سانتی گراد) 1600
ضریب انبساط حرارتی RT ~ 500 درجه سانتی گراد 3.9
(1/° C 10 10-6) RT ~ 800 درجه سانتی گراد 4.3
هدایت حرارتی (W/m x K) 130 110
مقاومت در برابر ضربه حرارتی ΔT (° C) 300
ویژگی های برق میزان مقاومت 25 درجه سانتی گراد 3 10 106
300 درجه سانتی گراد -
500 درجه سانتی گراد -
800 درجه سانتی گراد -
ثابت دی الکتریک 10 گیگاهرتز -
تلفات دی الکتریک (x 10-4) -
ضریب Q (x 104) -
ولتاژ شکست دی الکتریک (KV/mm) -

20200507170353_55726

♦ سرامیک سیلیکون نیترید

مواد واحد Si₃N₄
روش پخت - فشار گاز متخلخل شده است
تراکم گرم/سانتی متر مربع 3.22
رنگ - خاکستری تیره
میزان جذب آب % 0
مدول جوان Gpa 290
سختی ویکرز Gpa 18 - 20
استحکام فشاری Mpa 2200
قدرت خم شدن Mpa 650
رسانایی گرمایی W/mK 25
مقاومت در برابر شوک حرارتی Δ (° C) 450 - 650
حداکثر دمای کارکرد درجه سانتی گراد 1200
میزان مقاومت Ω · سانتی متر > 10 ^ 14
ثابت دی الکتریک - 8.2
قدرت دی الکتریک کیلو ولت/میلی متر 16