انقلابی در دقت برش ویفر! چگونه می‌توان موقعیت ±5um را برای پایه گرانیتی حفظ کرد؟

در نبرد نهایی «نانو-دقت» در تولید نیمه‌هادی‌ها، حتی کوچکترین خطا در تجهیزات برش ویفر می‌تواند یک تراشه را به زباله تبدیل کند. پایه گرانیتی قهرمان گمنامی است که دقت موقعیت‌یابی تکراری ±5um را کنترل می‌کند و با سه شگفتی طبیعی خود، قوانین تولید دقیق را از نو می‌نویسد.

"لنگر تثبیت کننده" در برابر تغییر شکل حرارتی: ضریب انبساط حرارتی گرانیت به اندازه 5-7 × 10⁻⁶/℃ کم است که تنها یک سوم ضریب انبساط حرارتی مواد فلزی است. تحت تأثیر گرمای تولید شده توسط عملکرد پرسرعت تجهیزات برش ویفر، مواد معمولی به دلیل انبساط و انقباض حرارتی تغییر شکل می‌دهند و باعث تغییر موقعیت سر برش می‌شوند. با این حال، پایه گرانیت می‌تواند "بی‌حرکت" باقی بماند و اساساً انحراف موقعیت ناشی از تغییر شکل حرارتی را از بین ببرد و پایه محکمی برای دقت ایجاد کند.

«سپر خاموش» جذب ارتعاش: غرش مداوم ماشین‌آلات و ارتعاش مداوم تجهیزات در کارگاه را می‌توان به عنوان «قاتلان مهلک» دقت در نظر گرفت. ساختار کریستالی منحصر به فرد گرانیت مانند یک کمک فنر طبیعی است که قادر است ارتعاشات خارجی و ارتعاشات مکانیکی تولید شده توسط عملکرد تجهیزات را به سرعت به انرژی گرمایی برای اتلاف تبدیل کند. در حالی که سایر پایه‌ها به دلیل ارتعاش هنوز «در حال نوسان» هستند، پایه گرانیتی یک سکوی پایدار برای سر برش ایجاد کرده است که بی‌حرکت می‌ماند و دقت ±5um را ممکن می‌سازد.

مقاوم در برابر خوردگی "قلعه ابدی": کارگاه‌های نیمه‌هادی مملو از مواد خورنده مانند محلول‌های اچینگ و پاک‌کننده‌های اسیدی و قلیایی هستند. در چنین محیطی، پایه‌های فلزی به تدریج زنگ زده و تغییر شکل می‌دهند. گرانیت، با پایداری شیمیایی ذاتی خود، به هیچ وجه با این مواد شیمیایی واکنش نمی‌دهد. مهم نیست چند سال از آن استفاده شود، می‌تواند یکپارچگی ساختاری خود را حفظ کرده و به طور مداوم برش با دقت بالا را تضمین کند.

از استعداد مواد گرفته تا پردازش فوق دقیق، پایه گرانیتی با قدرت خود نشان داده است که همه مواد نمی‌توانند از پس چالش‌های سخت تولید نیمه‌هادی‌ها برآیند. دقیقاً به دلیل همین مزایای طبیعی غیرقابل جایگزین است که پایه‌های گرانیتی به کلید تجهیزات برش ویفر برای دستیابی به دقت موقعیت‌یابی تکراری ±5um تبدیل شده‌اند و صنعت نیمه‌هادی را به سمت حرکت مداوم به سمت دقت بالاتر سوق داده‌اند!

گرانیت دقیق14


زمان ارسال: ۱۴ مه ۲۰۲۵