پلتفرم گرانیت، به عنوان یک ابزار مرجع برای اندازه‌گیری و پردازش دقیق، حفظ دقت آن مستقیماً بر کیفیت تولید تأثیر می‌گذارد. در ادامه یک برنامه نگهداری سیستماتیک شامل کنترل محیطی، نگهداری روزانه و کالیبراسیون حرفه‌ای ارائه شده است تا اطمینان حاصل شود که این پلتفرم برای مدت طولانی دقت در سطح نانومتر را حفظ می‌کند.
۱. کنترل محیطی: ساخت یک مانع حفاظتی دقیق
مدیریت دما و رطوبت
دمای محیط کار باید روی 20±1℃ تثبیت شود. هر نوسان 1℃ باعث تغییر شکل حرارتی سکوی گرانیتی با 0.5-1μm/m می‌شود. می‌توان یک سیستم دمای ثابت در کارگاه نصب کرد تا از وزش مستقیم هوای خروجی تهویه مطبوع به سکو جلوگیری شود.
رطوبت باید بین ۴۰٪ تا ۶۰٪ کنترل شود. رطوبت بیش از حد می‌تواند به راحتی باعث زنگ‌زدگی قطعات فلزی شود، در حالی که رطوبت خیلی کم ممکن است منجر به تداخل الکتریسیته ساکن در اندازه‌گیری شود.
ایزولاسیون ارتعاش
سکو باید از منابع ارتعاش مانند ماشین‌های پرس و فرز دور نگه داشته شود. توصیه می‌شود فاصله بیش از ۳ متر از تجهیزات ارتعاش حفظ شود.
اگر نمی‌توان از لرزش اجتناب کرد، می‌توان کمک‌فنرهای فنر بادی را در پایین سکو نصب کرد تا تأثیر لرزش محیطی بر صافی سکو کاهش یابد (که می‌تواند لرزش خارجی را بیش از 80٪ کاهش دهد).
۲. نگهداری روزانه: کنترل دقیق از تمیز کردن تا محافظت
مشخصات تمیز کردن سطح
گردگیری: برای جلوگیری از خراشیده شدن سطح توسط ذرات گرد و غبار (≥5μm) روی سطح، هر روز سطح را با پوست گوزن یا پارچه بدون پرز در یک جهت پاک کنید. لکه‌های سرسخت را می‌توان به آرامی با اتانول بی‌آب (با خلوص ≥99.7%) پاک کرد. از حلال‌های قوی مانند استون نباید استفاده شود.
چربی‌زدایی: اگر با لکه‌های روغنی تماس پیدا کرد، آن را با یک پاک‌کننده خنثی رقیق پاک کنید، سپس با آب دیونیزه آبکشی کرده و در هوای آزاد خشک کنید تا از نفوذ روغن معدنی به منافذ ریز سکو جلوگیری شود.
محافظت در برابر بار و برخورد
ظرفیت تحمل بار سکو باید در محدوده ۷۰٪ از بار نامی کنترل شود (برای مثال، برای یک سکوی ۱۰۰۰ کیلوگرمی، توصیه می‌شود بار کمتر یا مساوی ۷۰۰ کیلوگرم باشد) تا از تغییر شکل دائمی ناشی از اضافه بار موضعی جلوگیری شود.
ضربه زدن به قطعات کار روی سکو اکیداً ممنوع است. هنگام کار با ابزار، از دستکش‌های نرم استفاده کنید تا از خراشیدن سطح توسط اشیاء تیز جلوگیری شود (خراش‌هایی با عمق بیش از 20 میکرومتر بر اندازه‌گیری مسیر نور منعکس شده تأثیر می‌گذارند).
۳. کالیبراسیون حرفه‌ای: هسته اصلی حفظ علمی دقت
تنظیم چرخه کالیبراسیون
سناریوهای استفاده مرسوم: هر سه ماه یکبار کالیبره کنید و از تداخل‌سنج لیزری برای تشخیص صافی (با دقت ±0.5μm/m) استفاده کنید.
استفاده با فرکانس بالا یا محیط‌های خشن: کالیبراسیون ماهانه، با تمرکز بر نظارت بر مناطق حساس به دما (مانند لبه سکو در نزدیکی منابع گرما).
پردازش پس از کالیبراسیون
اگر انحراف از صافی مشاهده شود (مانند > ±1μm/m)، باید توسط یک تکنسین حرفه‌ای با استفاده از پودر میکرونی W1.5 سنگ‌زنی و تعمیر شود. سمباده‌زنی خودکار با کاغذ سنباده اکیداً ممنوع است.
پس از کالیبراسیون، داده‌ها باید ثبت و بایگانی شوند و یک منحنی کاهش دقت پلتفرم باید ایجاد شود تا نیازهای تعمیر و نگهداری از قبل پیش‌بینی شود.
۴. انبارداری و حمل و نقل: از اتلاف دقت پنهان جلوگیری کنید
نکات کلیدی برای نگهداری طولانی مدت
هنگام انبار کردن، باید با یک پوشش ضد رطوبت و ضد گرد و غبار پوشانده شود. قسمت پایین باید توسط سه نقطه پشتیبانی شود (نقطه پشتیبانی در 2/9 طول سکو قرار دارد) تا از تغییر شکل خمشی ناشی از جاذبه جلوگیری شود (یک سکوی 1 متری ممکن است به دلیل پشتیبانی طولانی مدت تک نقطه‌ای، 0.3 میکرومتر فرو برود).
برای جلوگیری از فشار موضعی طولانی مدت، موقعیت نقاط پشتیبانی سکو را مرتباً (ماهیانه) تغییر دهید.
طرح حفاظت از حمل و نقل
حمل و نقل در مسافت‌های کوتاه: با فوم ضربه‌گیر بپوشانید، آن را در یک قاب محکم ثابت کنید و شتاب را در محدوده ۲g نگه دارید.
حمل و نقل در مسافت‌های طولانی: باید در خلاء بسته‌بندی و با نیتروژن خشک پر شود. پس از رسیدن، باید به مدت 24 ساعت در جایی بماند تا دما به تعادل برسد و سپس از بسته‌بندی خارج شود تا از تأثیر میعان آب بر دقت اندازه‌گیری جلوگیری شود.
۵. پیش‌بینی خطا: تکنیک‌هایی برای شناسایی مشکلات اولیه
بازرسی چشمی: مرتباً سطح را با ذره‌بین ۴۰ برابر مشاهده کنید. اگر خراش‌های مداوم یا کاهش قابل توجه براقیت مشاهده شود، ممکن است نشان‌دهنده کاهش دقت باشد.
تشخیص صدا: به آرامی به سکو ضربه بزنید. اگر صدا گرفته شد (معمولاً باید صدای واضحی باشد)، ممکن است ترک‌های ریز درون آن وجود داشته باشد. فوراً استفاده از آن را برای تشخیص متوقف کنید.
از طریق این سیستم نگهداری، پلتفرم گرانیتی ZHHIMG® می‌تواند به مدت 10 سال، صافی ±1μm/m را حفظ کند که بیش از سه برابر بیشتر از عمر دقیق پلتفرم‌هایی است که به درستی نگهداری نمی‌شوند. تجربه ثابت کرده است که پس از اتخاذ این راهکار توسط یک کارخانه نیمه‌هادی خاص، تعداد دفعات کالیبراسیون پلتفرم 50٪ کاهش یافته و هزینه نگهداری سالانه بیش از 150،000 یوان صرفه‌جویی شده است.
زمان ارسال: ۱۸ ژوئن ۲۰۲۵