آیا یک پایه ماشین گرانیتی با دقت بالا می‌تواند عملکرد ماشین‌های شیارزنی ویفر را افزایش دهد؟

در حوزه تولید نیمه‌هادی‌ها، ماشین‌های شیارزنی ویفر نقش حیاتی در ایجاد کانال‌های دقیق روی ویفرها دارند. عملکرد این ماشین‌ها می‌تواند به طور قابل توجهی تحت تأثیر قرار گیرد.
با انتخاب پایه دستگاه. پایه‌های دستگاه گرانیتی با دقت بالا، مانند آنهایی که توسط ZHHIMG® ارائه می‌شوند، در این زمینه به عنوان یک عامل تغییر دهنده بازی ظهور کرده‌اند.
پایداری برای شیارزنی دقیق
پایداری در شیارزنی ویفر بسیار مهم است. گرانیت با چگالی بالای حدود ۳۱۰۰ کیلوگرم بر متر مکعب، پایه‌ای بسیار پایدار فراهم می‌کند. در طول فرآیند شیارزنی، ابزار برش به ویفر نیرو وارد می‌کند. یک پایه دستگاه پایدار، مانند پایه ساخته شده از گرانیت، تضمین می‌کند که مکانیسم نگهدارنده ویفر محکم در جای خود باقی بماند. این پایداری هرگونه حرکت یا لرزش ناخواسته ویفر را به حداقل می‌رساند و ابزار برش را قادر می‌سازد شیارهایی با دقت بالا ایجاد کند. در مقابل، یک ماده پایه با پایداری کمتر ممکن است باعث شود ویفر کمی جابجا شود و در نتیجه شیارهایی ایجاد شود که یا خیلی پهن، خیلی باریک یا غیر مستقیم هستند که می‌توانند به شدت بر عملکرد دستگاه نیمه‌هادی نهایی تأثیر بگذارند.

میرایی ارتعاش برای عملیات روان
ارتعاش یک مسئله ذاتی در هر فرآیند ماشینکاری است و شیارزنی ویفر نیز از این قاعده مستثنی نیست. چرخش پرسرعت ابزار برش در دستگاه شیارزنی ویفر، ارتعاش ایجاد می‌کند. اگر این ارتعاشات به طور موثر کاهش نیابند، می‌توانند منجر به لب‌پریدگی لبه‌های ویفر، عمق شیار ناهموار و سطح ضعیف شوند. گرانیت دارای خواص میرایی ارتعاش عالی است. ساختار طبیعی آن، متشکل از دانه‌های معدنی در هم تنیده، به عنوان یک جاذب ضربه طبیعی عمل می‌کند. هنگامی که ارتعاشات رخ می‌دهد، انرژی در داخل گرانیت پراکنده می‌شود و ضربه روی ویفر و ابزار برش را کاهش می‌دهد. این امر منجر به عملیات برش روان‌تر، عمر طولانی‌تر ابزار و ویفرهای شیاردار با کیفیت بالاتر می‌شود.
مقاومت حرارتی برای نتایج پایدار
تأسیسات تولید نیمه‌هادی اغلب در محیط‌های کنترل‌شده کار می‌کنند، اما همچنان ممکن است نوسانات جزئی دما وجود داشته باشد. گرانیت ضریب انبساط حرارتی بسیار پایینی دارد. این بدان معناست که با تغییر جزئی دما در طول فرآیند شیارزنی ویفر (چه به دلیل گرمای تولید شده توسط ابزار برش و چه به دلیل تغییرات دمای محیط)، پایه دستگاه گرانیت به طور قابل توجهی منبسط یا منقبض نمی‌شود. در شیارزنی ویفر، که در آن تلرانس‌های دقیق در محدوده میکرومتر یا حتی نانومتر هستند، تغییرات ابعادی ناشی از حرارت می‌تواند فاجعه‌بار باشد. پایداری حرارتی گرانیت به حفظ تراز اجزای دستگاه کمک می‌کند و تضمین می‌کند که فرآیند شیارزنی در طول زمان دقیق و ثابت باقی بماند.
دوام برای استفاده طولانی مدت
ماشین‌های شیارزنی ویفر به طور مداوم در تولید نیمه‌هادی‌ها با حجم بالا استفاده می‌شوند. پایه ماشین در معرض تنش مکانیکی، اصطکاک و ضربات گاه به گاه قرار دارد. سختی بالای گرانیت و مقاومت آن در برابر سایش، آن را به ماده‌ای ایده‌آل برای استفاده طولانی مدت تبدیل کرده است. این ماده می‌تواند سختی‌های عملیات روزانه را بدون سایش یا تغییر شکل قابل توجه تحمل کند. این دوام، نیاز به تعویض مکرر یا نگهداری پرهزینه به دلیل مشکلات مربوط به پایه را کاهش می‌دهد. علاوه بر این، گرانیت از نظر شیمیایی بی‌اثر است، به این معنی که در برابر خوردگی ناشی از مواد شیمیایی مورد استفاده در فرآیندهای تولید نیمه‌هادی مقاوم است و این امر طول عمر آن را بیشتر می‌کند.
در نتیجه، یک پایه دستگاه گرانیت با دقت بالا می‌تواند عملکرد دستگاه‌های شیارزنی ویفر را افزایش دهد. با فراهم کردن پایداری، میرایی ارتعاشات، مقاومت در برابر تغییرات حرارتی و ارائه دوام طولانی مدت، پایه‌های دستگاه گرانیت به عملیات شیارزنی ویفر دقیق‌تر، کارآمدتر و قابل اعتمادتر کمک می‌کنند. هنگام بررسی ارتقاء یا خرید جدید تجهیزات شیارزنی ویفر، انتخاب دستگاهی با پایه دستگاه گرانیت با دقت بالا، مانند مدل‌های ZHHIMG®، تصمیمی عاقلانه است که می‌تواند کیفیت و بهره‌وری تولید نیمه‌هادی را به میزان قابل توجهی بهبود بخشد.