رمزگشایی از «نیروی سنگی» پشت تولید نیمه‌هادی‌ها - چگونه اجزای دقیق گرانیتی می‌توانند مرز دقت تولید تراشه را تغییر دهند

انقلاب دقت در تولید نیمه‌هادی‌ها: وقتی گرانیت با فناوری میکرونی ترکیب می‌شود
۱.۱ اکتشافات غیرمنتظره در علم مواد
طبق گزارش انجمن بین‌المللی نیمه‌رساناها SEMI در سال ۲۰۲۳، ۶۳ درصد از کارخانه‌های پیشرفته جهان به جای سکوهای فلزی سنتی، شروع به استفاده از پایه‌های گرانیتی کرده‌اند. این سنگ طبیعی که از تراکم ماگما در اعماق زمین سرچشمه می‌گیرد، به دلیل خواص فیزیکی منحصر به فرد خود، تاریخ تولید نیمه‌رساناها را از نو می‌نویسد:

مزیت اینرسی حرارتی: ضریب انبساط حرارتی گرانیت ۴.۵×۱۰⁻⁶/℃ تنها ۱/۵ برابر فولاد ضد زنگ است و پایداری ابعادی ±۰.۰۰۱ میلی‌متر در کار مداوم دستگاه لیتوگرافی حفظ می‌شود.

ویژگی‌های میرایی ارتعاش: ضریب اصطکاک داخلی ۱۵ برابر بیشتر از چدن است و به طور موثر ریز ارتعاشات تجهیزات را جذب می‌کند.

ماهیت مغناطیسی صفر: خطای مغناطیسی در اندازه‌گیری لیزری را کاملاً از بین می‌برد

۱.۲ سفر دگردیسی از مال من تا چیز فوق‌العاده
به عنوان مثال، با در نظر گرفتن پایگاه تولید هوشمند ZHHIMG در شاندونگ، یک قطعه گرانیت خام باید مراحل زیر را طی کند:

ماشینکاری فوق دقیق: مرکز ماشینکاری اتصال پنج محوره برای 200 ساعت فرزکاری مداوم، زبری سطح تا Ra0.008μm

عملیات پیرسازی مصنوعی: ۴۸ ساعت آزادسازی تنش طبیعی در کارگاه با دما و رطوبت ثابت، که پایداری محصول را تا ۴۰٪ بهبود می‌بخشد.
دوم، شش مشکل دقیق تولید نیمه‌هادی‌ها را حل کنید "راه حل سخت"
۲.۱ طرح کاهش نرخ قطعه قطعه شدن ویفر

نمایش موردی: پس از اینکه یک کارخانه ریخته‌گری تراشه در آلمان، پلتفرم گرانیتی شناور گازی ما را به کار گرفت:

قطر ویفر	کاهش نرخ تراشه	بهبود صافی
۱۲ اینچ	۶۷٪	≤0.001 میلی‌متر
۱۸ اینچ	۸۲٪	≤0.0005 میلی‌متر

۲.۲ طرح دستیابی به موفقیت در دقت ترازبندی لیتوگرافی

سیستم جبران دما: حسگر سرامیکی تعبیه‌شده، متغیر شکل را به‌صورت بلادرنگ رصد می‌کند و به‌طور خودکار شیب سکو را تنظیم می‌کند.
داده‌های اندازه‌گیری شده: تحت نوسان 28℃±5℃، دقت جاسازی کمتر از 0.12μm نوسان می‌کند