در زمینه‌های تولید دقیق و تحقیقات علمی، مسطح بودن سکوهای دقیق گرانیتی یک شاخص کلیدی برای اطمینان از دقت تجهیزات است. در ادامه مقدمه‌ای مفصل بر چندین روش تشخیص رایج و رویه‌های عملیاتی آنها برای شما آورده شده است.
I. روش تشخیص تداخل‌سنج لیزری
تداخل‌سنج لیزری ابزار ترجیحی برای تشخیص مسطح بودن با دقت بالا است. به عنوان مثال، تداخل‌سنج لیزری ZYGO GPI XP را در نظر بگیرید، وضوح آن می‌تواند به 0.1 نانومتر برسد. هنگام انجام تشخیص، ابتدا منبع نور تداخل‌سنج را با پلتفرم هم‌تراز کنید و سطح پلتفرم را به نواحی شبکه‌ای 50 میلی‌متر × 50 میلی‌متر تقسیم کنید. متعاقباً، داده‌های حاشیه تداخل نقطه به نقطه جمع‌آوری شدند و داده‌ها با استفاده از چندجمله‌ای Zernike برازش داده و تجزیه و تحلیل شدند تا خطای مسطح بودن به دست آید. این روش برای پلتفرم‌های با دقت بالا قابل استفاده است و می‌تواند خطاهای مسطح بودن ≤0.5μm/m² را تشخیص دهد. این روش معمولاً در تشخیص دستگاه‌های فوتولیتوگرافی و پلتفرم‌های ماشین اندازه‌گیری سه‌بعدی سطح بالا استفاده می‌شود.
دوم. روش آرایه سطح الکترونیکی
تشخیص آرایه تراز الکترونیکی ساده و بسیار کارآمد است. تراز الکترونیکی TESA A2 (با وضوح 0.01 میکرومتر بر متر) انتخاب و در یک آرایه 9×9 در امتداد محور X/Y پلتفرم چیده شد. با جمع‌آوری همزمان داده‌های شیب هر سطح و سپس استفاده از روش حداقل مربعات برای محاسبه، می‌توان مقدار صافی را به طور دقیق بدست آورد. این روش می‌تواند به طور موثر شرایط تقعر و تحدب موضعی پلتفرم را شناسایی کند. به عنوان مثال، نوسان 0.2 میکرومتر در محدوده 50 میلی‌متر نیز قابل تشخیص است که برای تشخیص سریع در تولید انبوه مناسب است.
III. روش کریستال تخت نوری
روش کریستال تخت نوری برای تشخیص سکوهای کوچک مناسب است. کریستال تخت نوری را محکم به سطح مورد آزمایش روی سکو بچسبانید و حاشیه‌های تداخلی تشکیل شده بین آنها را تحت تابش یک منبع نور تک رنگ (مانند لامپ سدیم) مشاهده کنید. اگر نوارها، نوارهای مستقیم موازی باشند، نشان دهنده صافی خوب است. اگر نوارهای منحنی ظاهر شوند، خطای صافی را بر اساس درجه انحنای نوار محاسبه کنید. هر نوار منحنی نشان دهنده اختلاف ارتفاع 0.316 میکرومتر است و داده‌های صافی را می‌توان از طریق تبدیل ساده به دست آورد.
چهار. روش بازرسی دستگاه اندازه‌گیری سه‌محوره
دستگاه اندازه‌گیری سه‌بعدی می‌تواند اندازه‌گیری با دقت بالا را در فضای سه‌بعدی انجام دهد. سکوی گرانیتی را روی میز کار دستگاه اندازه‌گیری قرار دهید و از پروب برای جمع‌آوری یکنواخت داده‌ها از چندین نقطه اندازه‌گیری روی سطح سکو استفاده کنید. سیستم دستگاه اندازه‌گیری این داده‌ها را پردازش و تجزیه و تحلیل می‌کند تا گزارش مسطح بودن سکو را تولید کند. این روش نه تنها می‌تواند مسطح بودن را تشخیص دهد، بلکه سایر پارامترهای هندسی سکو را نیز به طور همزمان به دست می‌آورد و برای تشخیص جامع سکوهای گرانیتی بزرگ مناسب است.
تسلط بر این روش‌های تشخیص می‌تواند به شما در ارزیابی دقیق مسطح بودن سکوی گرانیتی کمک کند و تضمین قابل اعتمادی برای عملکرد پایدار تجهیزات دقیق ارائه دهد.
زمان ارسال: ۲۹ مه ۲۰۲۵