بستر گرانیتی یک جزء حیاتی در بسیاری از ماشینآلات تجهیزات نیمههادی است که به عنوان یک سطح صاف و پایدار برای پردازش ویفر عمل میکند. خواص بادوام و ماندگار آن، آن را به انتخابی محبوب برای تولیدکنندگان تبدیل کرده است، اما برای حفظ آن در شرایط عالی، به مقداری نگهداری نیاز است.
اول از همه، لازم به ذکر است که گرانیت یک ماده طبیعی مقاوم در برابر سایش و پارگی است. این ماده چگالی بالا و تخلخل کمی دارد که باعث میشود کمتر در معرض خوردگی و تغییر شکل قرار گیرد. این بدان معناست که بستر گرانیتی میتواند سالها بدون نیاز به تعویض دوام بیاورد، البته تا زمانی که به درستی نگهداری شود.
با این حال، حتی با وجود خواص ارتجاعی آن، بستر گرانیتی همچنان میتواند به مرور زمان آسیب ببیند، به خصوص اگر در معرض مواد شیمیایی خشن یا دمای شدید قرار گیرد. به همین دلیل، بازرسی و تمیز کردن منظم برای اطمینان از صاف و عاری از نقصهایی که میتوانند بر پردازش ویفر تأثیر بگذارند، مهم است.
از نظر طول عمر، تخت گرانیتی با نگهداری مناسب میتواند سالهای زیادی دوام بیاورد. طول عمر دقیق آن به عوامل مختلفی مانند کیفیت گرانیت مورد استفاده، میزان ساییدگی و پارگی آن و میزان نگهداری آن بستگی دارد.
به طور کلی، اکثر تولیدکنندگان تجهیزات نیمههادی توصیه میکنند که هر ۵ تا ۱۰ سال یا زمانی که علائم سایش و پارگی قابل توجه میشوند، بستر گرانیتی را تعویض کنید. اگرچه این ممکن است به نظر تعداد دفعات تعویض بالا باشد، اما در نظر گرفتن دقت و صحت بالای مورد نیاز در پردازش ویفر مهم است. هرگونه نقص در سطح گرانیت میتواند منجر به خطا یا ناهماهنگی در محصول نهایی شود که میتواند پیامدهای مالی قابل توجهی داشته باشد.
در نتیجه، بستر گرانیتی یک جزء حیاتی در ماشینآلات تجهیزات نیمههادی است که با نگهداری مناسب میتواند سالها دوام بیاورد. اگرچه ممکن است هر 5 تا 10 سال نیاز به تعویض داشته باشد، اما سرمایهگذاری روی گرانیت با بالاترین کیفیت و نگهداری منظم برای اطمینان از بهترین عملکرد و دقت در پردازش ویفر، ارزشش را دارد.
زمان ارسال: آوریل-03-2024