راهنمای سازگاری با محیط برای پایه دقیق گرانیتی ماژول ورزشی فوق دقیق.

در زمینه تولید پیشرفته و تحقیقات علمی پیشرفته، ماژول حرکت فوق دقیق شناور هوا با عملکرد دقیق عالی خود به یک وسیله کلیدی برای عملیات دقیق و اندازه‌گیری تبدیل شده است. پایه دقیق گرانیتی، به عنوان هسته پشتیبانی، الزامات سختگیرانه‌ای برای محیط کار دارد و شرایط محیطی مناسب، اساس تضمین عملکرد پایدار و بهترین اثر آن است.

اول، کنترل دما: "تثبیت‌کننده" دقیق
اگرچه گرانیت به دلیل پایداری‌اش شناخته شده است، اما کاملاً در برابر تغییرات دما مصون نیست. اگرچه ضریب انبساط حرارتی آن پایین است، عموماً 5-7 × 10⁻⁶/℃، در سناریوهای کنترل حرکت فوق‌العاده دقیق، نوسانات جزئی دما هنوز هم ممکن است باعث تغییرات ابعادی شود و بر دقت ماژول تأثیر بگذارد. در کارگاه تولید تراشه نیمه‌هادی، فرآیند لیتوگرافی به دقت موقعیت‌یابی در سطح دانامی نیاز دارد و دمای محیط 1 درجه سانتیگراد نوسان دارد و پایه گرانیتی با طول ضلع 1 متر ممکن است انبساط یا انقباض خطی 5-7 میکرون ایجاد کند. این تغییر کوچک توسط ماژول حرکت فوق‌العاده دقیق شناور هوا منتقل می‌شود که برای انحراف الگوی لیتوگرافی تراشه و کاهش شدید بازده کافی است. بنابراین، ماژول حرکت فوق دقیق شناور هوا مجهز به پایه گرانیتی دقیق است و دمای محیط کار ایده‌آل باید در دمای 20 درجه سانتیگراد ± 1 درجه سانتیگراد کنترل شود. این کار با کمک تجهیزات دمای ثابت با دقت بالا مانند سیستم تهویه مطبوع با دما و رطوبت ثابت و نظارت و تنظیم مداوم دمای محیط انجام می‌شود تا نوسانات دما در محدوده بسیار کمی حفظ شود و ثبات اندازه پایه حفظ شود و عملکرد ماژول با دقت بالا تضمین گردد.
دوم، مدیریت رطوبت: کلید محافظت در برابر رطوبت "سنگ"
رطوبت یکی دیگر از عوامل مهم مؤثر بر عملکرد پایه گرانیتی دقیق است. در محیط با رطوبت بالا، گرانیت به راحتی بخار آب را جذب می‌کند که ممکن است منجر به تراکم روی سطح شود که نه تنها بر پایداری اتصال گرانیت و ماژول حرکتی فوق دقیق شناور هوا تأثیر می‌گذارد، بلکه ممکن است باعث فرسایش سطح و کاهش براقیت و دقت در درازمدت شود. در کارگاه سنگ‌زنی لنزهای نوری، اگر رطوبت برای مدت طولانی بالاتر از 60٪ RH باشد، بخار آب جذب شده روی سطح پایه گرانیت با حرکت لغزنده شناور گاز تداخل می‌کند، به طوری که دقت سنگ‌زنی لنز کاهش می‌یابد و سطح دچار نقص می‌شود. بنابراین، رطوبت نسبی محیط کار باید به شدت بین 40٪ تا 60٪ RH کنترل شود که می‌توان با نصب رطوبت‌گیرها، حسگرهای رطوبت و سایر تجهیزات، آن را به صورت بلادرنگ کنترل و تنظیم کرد تا از آسیب به پایه گرانیتی به دلیل رطوبت بالا جلوگیری شود و عملکرد روان ماژول حرکتی فوق دقیق شناور هوا تضمین شود.
سوم، تضمین پاکیزگی: «حافظ» دقت
آسیب ذرات گرد و غبار به پایه گرانیتی دقیق ماژول حرکتی فوق دقیق شناورسازی هوا را نمی‌توان دست کم گرفت. هنگامی که ذرات ریز وارد شکاف فیلم گازی بین لغزنده شناور گازی و پایه گرانیتی می‌شوند، ممکن است یکنواختی فیلم گازی را از بین ببرند، اصطکاک را افزایش دهند و حتی سطح پایه را خراش دهند و در نتیجه دقت حرکت کاهش یابد. در کارگاه ماشینکاری فوق دقیق قطعات هوافضا، اگر ذرات گرد و غبار موجود در هوا روی پایه گرانیتی قرار گیرند، مسیر حرکت ابزار ماشینکاری ممکن است منحرف شود و بر دقت ماشینکاری قطعات تأثیر بگذارد. بنابراین، محل کار باید بسیار تمیز نگه داشته شود و به 10000 سطح یا حتی بالاتر از استانداردهای تمیزی برسد، از طریق نصب تجهیزات تصفیه هوا، مانند فیلترهای هوای با راندمان بالا (HEPA)، ذرات گرد و غبار موجود در هوا فیلتر می‌شوند، در عین حال، کارکنان باید لباس‌های بدون گرد و غبار، روکش کفش و غیره بپوشند تا گرد و غبار ناشی از انسان کاهش یابد. محیط عملیاتی با دقت بالا را برای ماژول حرکتی فوق دقیق پایه گرانیتی و شناور هوا حفظ کنید.

چهار، ایزولاسیون ارتعاش: عملکرد روان "پد ضربه گیر"
ارتعاش خارجی دشمن دقت ماژول حرکت فوق دقیق شناور هوا است. اگرچه پایه گرانیتی دقیق قابلیت تضعیف ارتعاش خاصی دارد، اما ارتعاش با قدرت بالا هنوز هم ممکن است از حد بافر آن عبور کند. ارتعاش ایجاد شده توسط ترافیک اطراف کارخانه و عملکرد تجهیزات مکانیکی بزرگ از طریق زمین به پایه گرانیتی منتقل می‌شود که با دقت حرکت ماژول حرکت فوق دقیق شناور هوا تداخل خواهد داشت. در CMM های رده بالا، ارتعاش ممکن است باعث شود تماس بین پروب اندازه‌گیری و قطعه کار اندازه‌گیری شده ناپایدار باشد و در نتیجه داده‌های اندازه‌گیری انحراف ایجاد کند. برای حل این مشکل، لازم است اقدامات مؤثر ایزولاسیون ارتعاش، مانند قرار دادن پدهای ایزولاسیون ارتعاش در محل نصب تجهیزات، ساخت فونداسیون ایزولاسیون ارتعاش یا استفاده از سیستم ایزولاسیون ارتعاش فعال برای جبران فعال ارتعاش خارجی، و ایجاد یک محیط کاری آرام و پایدار برای پایه گرانیتی دقیق و ماژول حرکت فوق دقیق شناور هوا، اتخاذ شود.
تنها با برآورده کردن کامل الزامات محیطی دما، رطوبت، پاکیزگی و کنترل ارتعاش، پایه دقیق گرانیتی ماژول حرکت فوق دقیق شناور هوا می‌تواند به طور کامل به مزایای عملکردی آن جامه عمل بپوشاند، تضمین قابل اعتمادی برای عملیات فوق دقیق در زمینه‌های مختلف ارائه دهد و به صنعت کمک کند تا به سمت تولید با دقت بالاتر و سطح تحقیقات علمی بالاتر حرکت کند.