در زمینه شیارزنی ویفر نیمه‌هادی، دقت، شاهرگ حیاتی است. یک پایه گرانیتی معمولی می‌تواند جهشی کیفی در عملکرد تجهیزات شیارزنی ایجاد کند! در واقع چه "ابرقدرت‌هایی" را در خود پنهان می‌کند؟ چرا گفته می‌شود که انتخاب پایه گرانیتی مناسب به معنای موفقیت در نیمه راه است؟ امروز، شما را به عمق این موضوع خواهیم برد!
I. استحکام ذاتی: سه «مزیت ذاتی» گرانیت
مقاومت لرزه‌ای آن به اندازه کوه تای پایدار است.
گرانیت چگالی‌ای به بزرگی ۲۸۰۰ تا ۳۱۰۰ کیلوگرم بر متر مکعب دارد و ساختار آن به اندازه یک "قلعه سنگی" متراکم است. در محیط ارتعاش فرکانس بالای شیارزنی ویفر (تجهیزات بیش از ۱۰۰ بار در دقیقه شیار می‌زنند)، می‌تواند بیش از ۹۰٪ انرژی ارتعاش را جذب کند، درست مانند تجهیز تجهیزات به "فناوری سیاه جاذب شوک"! داده‌های اندازه‌گیری شده از یک کارخانه تراشه خاص نشان می‌دهد که پس از استفاده از پایه گرانیتی، دامنه لرزش سر برش شیار از ۱۵ میکرومتر به ۳ میکرومتر کاهش یافته است و لبه‌های میکرو شیارهای حک شده به اندازه یک آینه صاف هستند.
۲. «ساختار مقاوم در برابر حرارت» از اختلاف دما نمی‌ترسد
مواد معمولی هنگام گرم شدن "منبسط و تغییر شکل" می‌دهند و هنگام سرد شدن "منقبض و تغییر شکل" می‌دهند، اما ضریب انبساط حرارتی گرانیت به پایین‌ترین حد خود یعنی 4-8×10⁻⁶/℃ است که تنها 1/5 ضریب انبساط حرارتی فلزات است! حتی اگر دمای کارگاه در عرض 24 ساعت به شدت 10 درجه سانتیگراد نوسان کند، تغییر شکل آن کمتر از 0.01 میلی‌متر است و تقریباً می‌توان آن را نادیده گرفت. این بدان معناست که صرف نظر از تناوب روز و شب یا کارکرد طولانی مدت و تولید گرما توسط تجهیزات، پایه گرانیتی می‌تواند موقعیت شیار را همیشه "بی‌حرکت" نگه دارد.
۳. مقاومت سایشی غیرقابل تخریب
سختی سنگ گرانیت در مقیاس موس به ۶ تا ۷ می‌رسد که با سنگ کوارتز قابل مقایسه است و مقاومت سایشی آن سه برابر فولاد معمولی است! تحت اصطکاک طولانی مدت و فرکانس بالای شیارزنی ویفر، سطح پایه به سختی ساییده می‌شود. پس از اینکه یک کارخانه ریخته‌گری خاص به مدت پنج سال از پایه‌های گرانیتی استفاده کرد، پس از بازرسی، صافی آن همچنان در محدوده ±۰.۵μm/m حفظ شد و دقت شیارزنی ثابت ماند و مقدار قابل توجهی در هزینه‌های کالیبراسیون و تعویض تجهیزات صرفه‌جویی شد.
دوم. تطبیق دقیق: گرانیت چگونه نیازهای مختلف شیارزنی را برآورده می‌کند؟
صحنه ۱: شیارزنی فوق العاده ریز (شیارهای ریز زیر ۱۰ میکرومتر)
مورد نیاز: نهایت صافی
مزایای گرانیت: از طریق پردازش با دقت بالای اتصال پنج محوره، می‌توان صافی را با دقت ±0.5μm/m کنترل کرد، به این معنی که در طول 1 متر، خطای ارتفاع 200 برابر نازک‌تر از موی انسان است! اطمینان حاصل کنید که فاصله بین سر برش شیار و ویفر همیشه دقیق باشد و خطای عرض شیارهای ریز حک شده از ±0.1μm تجاوز نکند.
صحنه ۲: شیاربندی تولید انبوه با سرعت بالا
مورد نیاز: عملکرد جذب ضربه فوق العاده
مزایای گرانیت: خواص میرایی طبیعی آن در داخل می‌تواند به سرعت ارتعاش تجهیزات را کاهش دهد. پس از اینکه یک کارخانه پنل‌سازی خاص پایه‌های گرانیتی را معرفی کرد، سرعت شیارزنی 40٪ افزایش یافت و نرخ بازده از 85٪ به 96٪ افزایش یافت و به دو برابر افزایش بهره‌وری و کیفیت تولید دست یافت!
صحنه ۳: شیاردار شدن در محیط‌های پیچیده (دمای بالا/خوردگی)
الزامات: مقاومت در برابر دمای بالا و مقاومت در برابر خوردگی
مزایای گرانیت: پایداری شیمیایی بسیار قوی، مقاوم در برابر خوردگی اسیدی و قلیایی؛ ضریب انبساط حرارتی پایینی دارد و حتی در دمای بالای محلی (150 درجه سانتیگراد) در طول شیارزنی لیزری تغییر شکل نمی‌دهد. یک پایه گرانیتی که در یک آزمایشگاه خاص با محلول شیارزنی خورنده استفاده شده است، به مدت سه سال به طور مداوم مورد استفاده قرار گرفته است و سطح پایه دست نخورده باقی مانده است.
III. چگونه یک پایه گرانیتی "با کیفیت بالا و اصل" انتخاب کنیم؟
به چگالی نگاه کنید: گرانیت با چگالی ≥2800 کیلوگرم بر متر مکعب ساختار فشرده‌تری دارد.
بررسی گواهینامه‌ها: برای اطمینان از کیفیت، حتماً گواهینامه‌های معتبری مانند ISO 9001 و CNAS را تأیید کنید.
داده‌های تأیید: تولیدکننده موظف است گزارش‌های آزمایش در مورد ضریب انبساط حرارتی (<8×10⁻⁶/℃) و صافی (±0.5μm/m) ارائه دهد.
آزمایش در محل: به پایه ضربه بزنید. صدای واضح نشان دهنده این است که هیچ ترکی در داخل وجود ندارد. اگر سطح لمس مانند آینه صاف باشد، نشان دهنده دقت بالای پردازش است.
نتیجه گیری: گرانیت مناسب را انتخاب کنید و نیمی از نبرد شیاردار کردن را ببرید!
از مقاومت در برابر ضربه، مقاومت در برابر حرارت گرفته تا مقاومت در برابر سایش، پایه گرانیتی با "زیبایی طبیعی" و "استحکام فوق‌العاده"، به شریک طلایی برای تجهیزات شیارزنی ویفر تبدیل شده است. در عصر تولید نیمه‌هادی‌های امروزی که به دنبال دقت در مقیاس نانو است، یک پایه گرانیتی با کیفیت بالا نه تنها یک سرمایه‌گذاری در تجهیزات است، بلکه تضمینی بلندمدت برای راندمان تولید و کیفیت محصول نیز می‌باشد!
زمان ارسال: ۱۷ ژوئن ۲۰۲۵