در کارگاه تولید نیمه‌هادی، الزامات فرآیند تولید تراشه برای شرایط محیطی و دقت تجهیزات بسیار زیاد است و هرگونه انحراف جزئی ممکن است منجر به کاهش قابل توجه در بازده تراشه شود. پلتفرم حرکت دقیق گانتری XYZT برای ایجاد پایه‌ای محکم برای دستیابی به دقت در مقیاس نانو، به اجزای گرانیتی متکی است.
خواص عالی مسدود کننده ارتعاش
در کارگاه تولید نیمه‌هادی، عملکرد تجهیزات جانبی و رفت و آمد پرسنل ممکن است باعث ایجاد لرزش شود. ساختار داخلی قطعات گرانیتی متراکم و یکنواخت است و دارای ویژگی‌های میرایی طبیعی بالا، مانند یک "مانع" ارتعاش کارآمد است. هنگامی که ارتعاش خارجی به پلتفرم XYZT منتقل می‌شود، قطعه گرانیتی می‌تواند به طور موثر بیش از 80٪ از انرژی ارتعاش را تضعیف کرده و تداخل ارتعاش را بر دقت حرکت پلتفرم کاهش دهد. در عین حال، این پلتفرم به یک سیستم هدایت شناور هوا با دقت بالا مجهز است که در ارتباط با اجزای گرانیتی کار می‌کند. هدایت شناور هوا از فیلم گاز پایدار تشکیل شده توسط گاز فشار بالا برای تحقق حرکت تعلیق بدون تماس قطعات متحرک پلتفرم و کاهش لرزش کوچک ناشی از اصطکاک مکانیکی استفاده می‌کند. این دو با هم تضمین می‌کنند که دقت موقعیت‌یابی پلتفرم همیشه در سطح نانومتر در فرآیندهای کلیدی مانند لیتوگرافی تراشه و حکاکی حفظ می‌شود و از انحراف الگوهای مدار تراشه ناشی از ارتعاش جلوگیری می‌شود.
پایداری حرارتی عالی
نوسان دما و رطوبت در کارگاه تأثیر زیادی بر دقت تجهیزات تولید تراشه دارد. ضریب انبساط حرارتی گرانیت بسیار پایین است، عموماً در حدود 5-7 × 10⁻⁶/℃، اندازه آن با تغییر دما تقریباً بدون تغییر باقی می‌ماند. حتی اگر اختلاف دمای بین روز و شب در کارگاه یا تولید گرمای تجهیزات باعث نوسان دمای محیط شود، اجزای گرانیتی می‌توانند پایدار بمانند تا از تغییر شکل سکو به دلیل انبساط و انقباض حرارتی جلوگیری شود. در عین حال، سیستم کنترل دمای هوشمند مجهز به سکو، دمای محیط را به صورت بلادرنگ رصد می‌کند، به طور خودکار تجهیزات تهویه مطبوع و دفع گرما را تنظیم می‌کند و دمای کارگاه را در دمای 20 درجه سانتیگراد ± 1 درجه سانتیگراد حفظ می‌کند. همراه با مزایای پایداری حرارتی گرانیت، اطمینان حاصل می‌شود که سکو در عملکرد طولانی مدت، دقت حرکت هر محور همیشه با استانداردهای دقت نانومتری تولید تراشه مطابقت دارد، تا اطمینان حاصل شود که اندازه الگوی لیتوگرافی تراشه دقیق و عمق حکاکی یکنواخت است.
نیازهای محیط پاک را برآورده کنید
کارگاه تولید نیمه‌هادی‌ها باید درجه بالایی از تمیزی را حفظ کند تا از آلوده شدن تراشه توسط ذرات گرد و غبار جلوگیری شود. خود ماده گرانیت گرد و غبار تولید نمی‌کند و سطح آن صاف است و به راحتی گرد و غبار را جذب نمی‌کند. کل پلتفرم از طراحی ساختاری کاملاً بسته یا نیمه بسته برای کاهش ورود گرد و غبار خارجی استفاده می‌کند. سیستم گردش هوای داخلی با سیستم تهویه مطبوع تمیز کارگاه مرتبط است تا اطمینان حاصل شود که تمیزی هوای داخلی به سطح مورد نیاز تولید تراشه می‌رسد. در این محیط تمیز، اجزای گرانیتی به دلیل فرسایش گرد و غبار بر عملکرد تأثیر نمی‌گذارد و اجزای کلیدی مانند حسگرها و موتورهای با دقت بالا در پلتفرم نیز می‌توانند به طور پایدار کار کنند و تضمین دقت مداوم و قابل اعتماد در مقیاس نانو را برای تولید تراشه فراهم کنند و به صنعت نیمه‌هادی کمک کنند تا به سطح فرآیند بالاتری برسد.
زمان ارسال: ۱۴ آوریل ۲۰۲۵