...
...
در دنیای دقیق تولید نیمه‌هادی‌ها، آزمایش غیرمخرب ویفرها یک حلقه کلیدی برای اطمینان از کیفیت تراشه‌ها است. پایه گرانیتی به ظاهر بی‌اهمیت در واقع "قهرمان گمنام" است که دقت تشخیص را تعیین می‌کند. این موضوع چگونه بر نتایج آزمایش تأثیر می‌گذارد؟ این مقاله تحلیلی عمیق از ابعادی مانند خواص مواد و طراحی ساختاری ارائه می‌دهد.
۱. پایه پایدار: مزایای طبیعی گرانیت، پایه محکمی برای دقت ایجاد می‌کند.
۱. عملکرد لرزه‌ای عالی
در طول کار تجهیزات تست غیر مخرب ویفر، چرخش موتور و حرکت اجزای مکانیکی همگی باعث ایجاد ارتعاش می‌شوند. اگر این ارتعاشات به طور موثر سرکوب نشوند، به طور جدی در دقت آزمایش اختلال ایجاد می‌کنند. فضای داخلی گرانیت با کریستال‌های معدنی مانند کوارتز و فلدسپار در هم تنیده شده است. ساختار منحصر به فرد آن، ظرفیت جذب ارتعاش طبیعی را به آن می‌دهد که قادر به جذب بیش از 90٪ انرژی ارتعاش تجهیزات است. داده‌های اندازه‌گیری واقعی یک تولیدکننده نیمه‌هادی خاص نشان می‌دهد که پس از استفاده از پایه گرانیت، دامنه ارتعاش تجهیزات تشخیص از 12 میکرومتر به 2 میکرومتر کاهش یافته است و به طور موثر از انحراف سیگنال تشخیص ناشی از ارتعاش جلوگیری می‌کند.
۲. ضریب انبساط حرارتی بسیار پایین
در طول فرآیند تشخیص، عواملی مانند گرمایش تجهیزات و تغییرات دمای محیط، همگی بر پایداری پایه دستگاه تأثیر می‌گذارند. مواد معمولی هنگام گرم شدن به طور قابل توجهی منبسط می‌شوند، اما ضریب انبساط حرارتی گرانیت تنها 1/5 فولاد است. حتی اگر دمای محیط 10 درجه سانتیگراد نوسان داشته باشد، تغییر شکل آن قابل چشم‌پوشی است. این امر پایه گرانیت را قادر می‌سازد تا یک سکوی مرجع پایدار برای تجهیزات بازرسی فراهم کند و اطمینان حاصل شود که موقعیت نسبی بین پروب بازرسی و ویفر در همه زمان‌ها دقیق باقی می‌ماند و از خطاهای بازرسی ناشی از تغییر شکل حرارتی جلوگیری می‌شود.
دوم، طراحی دقیق: بهینه‌سازی ساختاری، قابلیت اطمینان تشخیص را بیشتر افزایش می‌دهد.
پردازش با دقت بالا و تضمین مسطح بودن
پایه گرانیتی با کیفیت بالا توسط فناوری پیشرفته CNC با اتصال پنج محوره پردازش می‌شود و با صافی ±0.5μm/m، مرجع نصب فوق‌العاده صافی را برای تجهیزات بازرسی فراهم می‌کند. در بازرسی ویفر، عمودی بودن و تراز بودن پروب بازرسی برای نتایج بازرسی بسیار مهم است. یک پایه گرانیتی با دقت بالا می‌تواند موقعیت دقیق پروب را تضمین کند و داده‌های بازرسی را دقیق‌تر و قابل اعتمادتر سازد.
2. سازگاری ساختاری سفارشی
پایه‌های دستگاه گرانیتی را می‌توان برای تجهیزات مختلف تست غیرمخرب ویفر و الزامات فرآیند سفارشی‌سازی کرد. به عنوان مثال، برای برآورده کردن الزامات تجهیزات بازرسی نوری برای انعکاس نور، می‌توان سطح پایه دستگاه را به طور ویژه پردازش کرد. برای برآورده کردن الزامات نصب تجهیزات تست اولتراسونیک، می‌توان پایه را با سوراخ‌های نصب دقیق و سینی‌های کابل از پیش ساخته کرد که امکان نصب سریع و دقیق تجهیزات و کاهش انحرافات تشخیص ناشی از خطاهای نصب را فراهم می‌کند.
III. پایداری بلندمدت: کاهش اتلاف دقت ناشی از تعمیر و نگهداری تجهیزات
گرانیت دارای سختی بالا و مقاومت سایشی قوی است، با سختی موس ۶ تا ۷ که سه برابر مقاومت سایشی فولاد معمولی است. در طول عملیات بازرسی طولانی مدت، سطح پایه دستگاه مستعد سایش نیست و همیشه می‌تواند وضعیت دقت خوبی را حفظ کند. در مقابل، پایه‌های ساخته شده از مواد دیگر ممکن است به دلیل سایش و پارگی باعث تغییراتی در مرجع نصب تجهیزات شوند و در نتیجه بر دقت تشخیص تأثیر بگذارند و نیاز به کالیبراسیون و نگهداری مکرر داشته باشند. عمر طولانی و پایداری بالای پایه گرانیتی به طور موثری دفعات نگهداری تجهیزات را کاهش داده و خطر از دست دادن دقت را که ممکن است در طول فرآیند نگهداری رخ دهد، کاهش می‌دهد.
از مقاومت در برابر ضربه، مقاومت در برابر حرارت گرفته تا طراحی دقیق، هر ویژگی پایه گرانیتی، دقت آزمایش‌های غیرمخرب ویفرها را تضمین می‌کند. در عصر تولید نیمه‌هادی‌های امروزی که به دنبال نهایت دقت است، انتخاب یک پایه گرانیتی با کیفیت بالا مانند افزودن یک لایه محکم بیمه به دقت و قابلیت اطمینان نتایج آزمایش است.
زمان ارسال: ۱۸ ژوئن ۲۰۲۵