کاربرد پایه گرانیتی: گرانیت دارای خواص فیزیکی بسیار پایدار، ساختار داخلی متراکم و یکنواخت، ضریب انبساط حرارتی پایین و سختی بالا است. این امر باعث می‌شود پایه بتواند به طور مؤثر ارتعاش خارجی را ایزوله کند، تأثیر تغییرات دمای محیط را بر دقت پلتفرم کاهش دهد و مقاومت خوبی در برابر سایش داشته باشد، همچنین استفاده طولانی مدت می‌تواند عملکرد پشتیبانی پایدار را حفظ کند و پایه محکمی برای دقت پلتفرم فراهم کند.
طراحی ساختار مکانیکی با دقت بالا: ساختار مکانیکی پلتفرم با دقت طراحی و بهینه شده است و از ریل‌های راهنمای با دقت بالا، پیچ‌های سربی، یاتاقان‌ها و سایر اجزای انتقال استفاده شده است. با اصطکاک کم، سختی بالا و تکرارپذیری خوب حرکت، این اجزا می‌توانند قدرت را به طور دقیق منتقل کرده و حرکت پلتفرم را کنترل کنند و تجمع خطاها را در حین حرکت کاهش دهند. به عنوان مثال، استفاده از ریل راهنمای آئرواستاتیک، استفاده از فیلم هوا برای پشتیبانی از حرکت پلتفرم، بدون اصطکاک، بدون سایش، با دقت بالا، می‌تواند به دقت موقعیت‌یابی در مقیاس نانو دست یابد.
فناوری پیشرفته جداسازی ارتعاش فعال: مجهز به سیستم جداسازی ارتعاش فعال، نظارت بر وضعیت ارتعاش سکو در زمان واقعی از طریق حسگر، و سپس بر اساس نتایج نظارت، کنترل بازخورد محرک، تولید نیروی مخالف یا حرکت ارتعاش خارجی برای جبران تأثیر ارتعاش. این فناوری جداسازی ارتعاش فعال می‌تواند ارتعاش فرکانس پایین و بالا را به طور مؤثر جداسازی کند، به طوری که سکو می‌تواند در محیط ارتعاش پیچیده پایدار بماند. به عنوان مثال، جداسازی ارتعاش فعال الکترومغناطیسی دارای مزایای سرعت پاسخ سریع و نیروی کنترل دقیق است که می‌تواند دامنه ارتعاش سکو را بیش از 80٪ کاهش دهد.
سیستم کنترل دقیق: این پلتفرم از سیستم کنترل پیشرفته‌ای مانند سیستم کنترل مبتنی بر پردازنده سیگنال دیجیتال (DSP) یا آرایه دروازه قابل برنامه‌ریزی میدانی (FPGA) استفاده می‌کند که قابلیت محاسبه پرسرعت و کنترل دقیق را دارد. سیستم کنترل، حرکت پلتفرم را به صورت بلادرنگ از طریق الگوریتم‌های دقیق نظارت و تنظیم می‌کند و کنترل موقعیت، کنترل سرعت و کنترل شتاب را با دقت بالا انجام می‌دهد. در عین حال، سیستم کنترل همچنین از قابلیت ضد تداخل خوبی برخوردار است و می‌تواند در محیط الکترومغناطیسی پیچیده به طور پایدار کار کند.
اندازه‌گیری با دقت بالا توسط حسگر: استفاده از حسگرهای جابجایی با دقت بالا، حسگرهای زاویه و سایر تجهیزات اندازه‌گیری، اندازه‌گیری دقیق و بلادرنگ حرکت سکو را ممکن می‌سازد. این حسگرها داده‌های اندازه‌گیری را به سیستم کنترل ارسال می‌کنند و سیستم کنترل بر اساس داده‌های بازخورد، تنظیم و جبران دقیقی را انجام می‌دهد تا از دقت حرکت سکو اطمینان حاصل شود. به عنوان مثال، تداخل‌سنج لیزری به عنوان حسگر جابجایی استفاده می‌شود و دقت اندازه‌گیری آن می‌تواند تا نانومتر باشد که می‌تواند اطلاعات موقعیت دقیقی را برای کنترل با دقت بالای سکو ارائه دهد.
فناوری جبران خطا: با مدل‌سازی و تحلیل خطاهای پلتفرم، از فناوری جبران خطا برای اصلاح خطاها استفاده می‌شود. به عنوان مثال، خطای مستقیم بودن ریل راهنما و خطای گام پیچ راهنما اندازه‌گیری و جبران می‌شوند تا دقت حرکت پلتفرم بهبود یابد. علاوه بر این، می‌توان از الگوریتم‌های نرم‌افزاری نیز برای جبران خطاهای ناشی از تغییرات دما، تغییرات بار و سایر عوامل در زمان واقعی استفاده کرد تا دقت پلتفرم بیشتر بهبود یابد.
فرآیند تولید دقیق و کنترل کیفیت: در فرآیند تولید پلتفرم، استانداردهای سختگیرانه‌ای برای فرآیند تولید و کنترل کیفیت اتخاذ می‌شود تا از دقت پردازش و کیفیت مونتاژ هر قطعه اطمینان حاصل شود. از انتخاب مواد اولیه گرفته تا پردازش، مونتاژ و راه‌اندازی قطعات، هر پیوند به طور دقیق بازرسی و آزمایش می‌شود تا از دقت و عملکرد کلی پلتفرم اطمینان حاصل شود. به عنوان مثال، ماشینکاری قطعات کلیدی با دقت بالا انجام می‌شود و از تجهیزات پیشرفته‌ای مانند مراکز ماشینکاری CNC برای اطمینان از مطابقت دقت ابعادی و تلرانس‌های فرم و موقعیت قطعات با الزامات طراحی استفاده می‌شود.
زمان ارسال: آوریل-11-2025