چگونه پایه‌های ماشین گرانیت با دقت بالا، دقت تجهیزات بازرسی ویفر را بهبود می‌بخشند.

Iدر صنعت تولید نیمه‌هادی، دقت تجهیزات بازرسی ویفر برای اطمینان از کیفیت مدارهای مجتمع بسیار مهم است. پایه‌های دستگاه گرانیتی با دقت بالا، مانند آنهایی که توسط ZHHIMG® ارائه می‌شوند، نقش حیاتی در افزایش عملکرد چنین تجهیزاتی دارند. در اینجا نحوه ایجاد تفاوت توسط آنها آورده شده است.
پایداری ابعادی استثنایی گرانیت ضریب انبساط حرارتی بسیار پایینی دارد، حدود (4-8)×10⁻⁶/℃، که به طور قابل توجهی کمتر از بسیاری از فلزات است. در محیط کاملاً کنترل‌شده کارخانه‌های نیمه‌هادی، که حتی نوسانات جزئی دما می‌تواند باعث خطاهای اندازه‌گیری شود، پایه‌های دستگاه گرانیتی پایدار می‌مانند. این پایداری تضمین می‌کند که موقعیت‌یابی قطعات در تجهیزات بازرسی ویفر دقیق باقی می‌ماند و از هرگونه انحراف ناشی از گرما که می‌تواند بر دقت نتایج بازرسی تأثیر بگذارد، جلوگیری می‌کند.

میرایی ارتعاش عالیکف‌های تولیدی اغلب مملو از ارتعاشات از منابع مختلف هستند. خواص میرایی ذاتی گرانیت، با نسبت میرایی 0.05-0.1، به طور موثر این ارتعاشات را جذب و از بین می‌برد. برای تزریق ویفر
برای تصویربرداری با وضوح بالا و خوانش دقیق حسگر، کاهش ارتعاشات ایجاد شده توسط پایه‌های گرانیتی بسیار ارزشمند است. این امر تداخلی را که می‌تواند تصاویر را تار کند یا داده‌های حسگر را تحریف کند، به حداقل می‌رساند و تجهیزات را قادر می‌سازد تا اطلاعات واضح و دقیقی در مورد سطح ویفر و ساختار داخلی آن ثبت کنند.
استحکام بالا و مقاومت در برابر سایش با چگالی تقریبی ۳۱۰۰ کیلوگرم بر متر مکعب، پایه‌های دستگاه گرانیتی ZHHIMG® استحکام قابل توجهی را ارائه می‌دهند. آن‌ها می‌توانند اجزای سنگین تجهیزات بازرسی ویفر را بدون تغییر شکل تحمل کنند و تراز سیستم‌های نوری و مکانیکی را حفظ کنند. علاوه بر این، سختی بالای گرانیت (مقیاس Mohs 6-7) و مقاومت عالی در برابر سایش تضمین می‌کند که سطح پایه دستگاه در طول زمان صاف و هموار باقی بماند. این استحکام برای دقت طولانی مدت ضروری است، زیرا هرگونه سایش یا تغییر شکل روی پایه می‌تواند به تدریج دقت تجهیزات را کاهش دهد.
بی‌اثری شیمیاییتولید نیمه‌هادی شامل قرار گرفتن در معرض مواد شیمیایی مختلف است. بی‌اثری شیمیایی گرانیت، آن را در برابر خوردگی ناشی از این مواد مقاوم می‌کند. این ویژگی، یکپارچگی پایه دستگاه را حفظ می‌کند و از آسیب‌های ناشی از مواد شیمیایی که می‌تواند بر پایداری و دقت تجهیزات بازرسی تأثیر بگذارد، جلوگیری می‌کند.
در نتیجه، پایه‌های دستگاه گرانیتی با دقت بالا فقط یک جزء نیستند، بلکه یک عامل کلیدی برای دستیابی به الزامات دقیق دقت تجهیزات بازرسی ویفر هستند. هنگام انتخاب پایه‌های دستگاه گرانیتی، ارائه دهندگان معتبری مانند ZHHIMG® را انتخاب کنید. ZHHIMG® با گواهینامه‌های متعدد و تعهد به کیفیت، تضمین می‌کند که هر پایه دستگاه گرانیتی، قابلیت اطمینان و عملکرد مورد نیاز برای تولید نیمه‌هادی پیشرفته را ارائه می‌دهد.