پایه های دستگاه گرانیت به دلیل خواص برتر مانند سختی بالا، پایداری و دقت به شدت در محصولات تجهیزات پردازش ویفر استفاده می شود.مونتاژ، آزمایش و کالیبره کردن پایه دستگاه گرانیت یک فرآیند حیاتی است که به جزئیات، دقت و دقت نیاز دارد.در این مقاله، روند گام به گام مونتاژ، آزمایش و کالیبراسیون پایه دستگاه گرانیت برای محصولات تجهیزات پردازش ویفر را مورد بحث قرار خواهیم داد.
مونتاژ کردن
اولین مرحله آماده سازی صفحه، پایه و ستون گرانیتی برای مونتاژ است.اطمینان حاصل کنید که تمام سطوح تمیز، خشک و عاری از هرگونه زباله، گرد و غبار یا روغن هستند.گل میخ های تراز را داخل پایه قرار دهید و صفحه سطح را روی آن قرار دهید.ناودانی های تسطیح را طوری تنظیم کنید که صفحه سطح افقی و تراز باشد.اطمینان حاصل کنید که صفحه سطح با پایه و ستون همسطح باشد.
سپس ستون را روی پایه نصب کنید و آن را با پیچ و مهره محکم کنید.از یک آچار گشتاور برای سفت کردن پیچ ها به مقدار گشتاور توصیه شده سازنده استفاده کنید.سطح ستون را بررسی کنید و در صورت لزوم گل میخ های تراز را تنظیم کنید.
در نهایت مجموعه دوک را در بالای ستون نصب کنید.از یک آچار گشتاور برای سفت کردن پیچ ها به مقدار گشتاور توصیه شده سازنده استفاده کنید.سطح مجموعه دوک را بررسی کنید و در صورت لزوم گل میخ های تراز را تنظیم کنید.
آزمایش کردن
پس از مونتاژ پایه دستگاه، مرحله بعدی تست عملکرد و دقت آن است.منبع تغذیه را وصل کنید و دستگاه را روشن کنید.اطمینان حاصل کنید که تمام قطعات مانند موتورها، چرخ دنده ها، تسمه ها و یاتاقان ها به درستی و بدون هیچ گونه ناهنجاری یا صدای غیرعادی کار می کنند.
برای آزمایش دقت دستگاه، از یک نشانگر دقیق برای اندازه گیری خروجی دوک استفاده کنید.نشانگر شماره گیری را روی صفحه سطح قرار دهید و دوک را بچرخانید.حداکثر خروجی مجاز باید کمتر از 0.002 میلی متر باشد.اگر خروجی بیش از حد مجاز است، ناودانی های تراز را تنظیم کرده و دوباره بررسی کنید.
تنظیم
کالیبراسیون مرحله حیاتی در حصول اطمینان از صحت و دقت پایه دستگاه است.فرآیند کالیبراسیون شامل آزمایش و تنظیم پارامترهای دستگاه مانند سرعت، موقعیت و دقت است تا اطمینان حاصل شود که دستگاه با مشخصات سازنده مطابقت دارد.
برای کالیبره کردن دستگاه، به یک ابزار کالیبراسیون نیاز دارید که شامل یک تداخل سنج لیزری، یک ردیاب لیزری یا یک توپ می باشد.این ابزارها حرکت، موقعیت و تراز دستگاه را با دقت بالایی اندازه گیری می کنند.
با اندازه گیری محورهای خطی و زاویه ای دستگاه شروع کنید.از ابزار کالیبراسیون برای اندازه گیری حرکت و موقعیت دستگاه در فاصله یا زاویه مشخص استفاده کنید.مقادیر اندازه گیری شده را با مشخصات سازنده مقایسه کنید.در صورت وجود هرگونه انحراف، پارامترهای دستگاه مانند موتورها، چرخ دنده ها و درایوها را تنظیم کنید تا مقادیر اندازه گیری شده در محدوده مجاز قرار گیرند.
سپس، عملکرد درون یابی دایره ای دستگاه را آزمایش کنید.از ابزار کالیبراسیون برای ایجاد یک مسیر دایره ای و اندازه گیری حرکت و موقعیت دستگاه استفاده کنید.مجدداً مقادیر اندازه گیری شده را با مشخصات سازنده مقایسه کنید و در صورت لزوم پارامترها را تنظیم کنید.
در نهایت تکرارپذیری دستگاه را تست کنید.موقعیت ماشین را در نقاط مختلف در یک دوره مشخص اندازه گیری کنید.مقادیر اندازه گیری شده را مقایسه کنید و انحرافات را بررسی کنید.در صورت وجود هر گونه انحراف، پارامترهای دستگاه را تنظیم کرده و آزمایش را تکرار کنید.
نتیجه
مونتاژ، آزمایش و کالیبره کردن پایه دستگاه گرانیت برای محصولات تجهیزات پردازش ویفر یک فرآیند حیاتی است که به صبر، توجه به جزئیات و دقت نیاز دارد.با انجام این مراحل، می توانید اطمینان حاصل کنید که دستگاه با مشخصات و عملکردهای سازنده با دقت، پایداری و دقت مطابقت دارد.
زمان ارسال: دسامبر-28-2023