پایه های دستگاه گرانیتی به دلیل خاصیت برتر مانند سفتی ، پایداری و دقت بالا در محصولات تجهیزات پردازش ویفر به شدت مورد استفاده قرار می گیرند. مونتاژ ، آزمایش و کالیبراسیون یک پایه ماشین گرانیت یک فرآیند مهم است که بیشترین توجه را به جزئیات ، دقت و دقت نیاز دارد. در این مقاله ، ما در مورد فرایند گام به گام مونتاژ ، آزمایش و کالیبراسیون یک پایه ماشین گرانیت برای محصولات تجهیزات پردازش ویفر بحث خواهیم کرد.
مونتاژ
اولین قدم تهیه صفحه ، پایه و ستون سطح گرانیت برای مونتاژ است. اطمینان حاصل کنید که تمام سطوح تمیز ، خشک و عاری از هرگونه زباله ، گرد و غبار یا روغن هستند. گل میخ های ترازو را در پایه قرار دهید و صفحه سطح را در بالای آن قرار دهید. گل میخ های تراز را طوری تنظیم کنید که صفحه سطح افقی و سطح باشد. اطمینان حاصل کنید که صفحه سطح با پایه و ستون شسته شده است.
در مرحله بعد ، ستون را روی پایه نصب کرده و آن را با پیچ و مهره ایمن کنید. برای محکم کردن پیچ ها به مقدار گشتاور توصیه شده سازنده از آچار گشتاور استفاده کنید. سطح ستون را بررسی کنید و در صورت لزوم گل میخ های سطح بندی را تنظیم کنید.
در آخر ، مونتاژ اسپیندل را در بالای ستون نصب کنید. برای محکم کردن پیچ ها به مقدار گشتاور توصیه شده سازنده از آچار گشتاور استفاده کنید. سطح مونتاژ دوک نخ ریسی را بررسی کرده و در صورت لزوم گل میخ های سطح بندی را تنظیم کنید.
تست
پس از مونتاژ پایه دستگاه ، مرحله بعدی آزمایش عملکرد و دقت آن است. منبع تغذیه را وصل کرده و دستگاه را روشن کنید. اطمینان حاصل کنید که تمام مؤلفه هایی مانند موتورها ، چرخ دنده ها ، کمربندها و یاتاقان ها به درستی و بدون هیچگونه ناهنجاری یا صداهای غیرمعمول کار می کنند.
برای آزمایش صحت دستگاه ، از یک نشانگر شماره گیری دقیق برای اندازه گیری رونق دوک نخ ریسی استفاده کنید. نشانگر شماره گیری را روی صفحه سطح تنظیم کرده و اسپیندل را بچرخانید. حداکثر اجرای مجاز باید کمتر از 0.002 میلی متر باشد. اگر فرار از حد مجاز مجاز است ، گل میخ های سطح بندی را تنظیم کرده و دوباره بررسی کنید.
کالیبراسیون
کالیبراسیون گام مهمی در اطمینان از صحت و دقت پایه دستگاه است. فرآیند کالیبراسیون شامل آزمایش و تنظیم پارامترهای دستگاه مانند سرعت ، موقعیت یابی و صحت برای اطمینان از اینکه دستگاه مشخصات سازنده را برآورده می کند.
برای کالیبراسیون دستگاه ، به یک ابزار کالیبراسیون نیاز خواهید داشت که شامل یک تداخل سنج لیزر ، ردیاب لیزر یا یک بالغ است. این ابزارها حرکت ، موقعیت و تراز دستگاه را با دقت بالا اندازه گیری می کنند.
با اندازه گیری محورهای خطی و زاویه ای دستگاه شروع کنید. از ابزار کالیبراسیون برای اندازه گیری حرکت و موقعیت دستگاه از طریق فاصله یا زاویه مشخص استفاده کنید. مقادیر اندازه گیری شده را با مشخصات سازنده مقایسه کنید. در صورت وجود انحراف ، پارامترهای دستگاه مانند موتورها ، چرخ دنده ها و درایوها را تنظیم کنید تا مقادیر اندازه گیری شده را در محدوده مجاز قرار دهید.
در مرحله بعد ، عملکرد درون یابی دایره ای دستگاه را آزمایش کنید. از ابزار کالیبراسیون برای ایجاد یک مسیر دایره ای و اندازه گیری حرکت و موقعیت دستگاه استفاده کنید. مجدداً مقادیر اندازه گیری شده را با مشخصات سازنده مقایسه کنید و در صورت لزوم پارامترها را تنظیم کنید.
در آخر ، قابلیت تکرار دستگاه را آزمایش کنید. موقعیت دستگاه را در نقاط مختلف در طی یک دوره مشخص اندازه گیری کنید. مقادیر اندازه گیری شده را با یکدیگر مقایسه کرده و هرگونه انحراف را بررسی کنید. در صورت وجود هرگونه انحراف ، پارامترهای دستگاه را تنظیم کرده و آزمایش را تکرار کنید.
پایان
مونتاژ ، آزمایش و کالیبراسیون یک پایه ماشین گرانیت برای محصولات تجهیزات پردازش ویفر یک فرآیند مهم است که نیاز به صبر ، توجه به جزئیات و دقت دارد. با دنبال کردن این مراحل ، می توانید اطمینان حاصل کنید که دستگاه مشخصات و کارکردهای سازنده را با دقت ، ثبات و دقت رعایت می کند.
زمان پست: دسامبر -28-2023