پایه‌های دستگاه گرانیتی به دلیل خواص برتر خود مانند سختی بالا، پایداری و دقت، به شدت در محصولات تجهیزات پردازش ویفر مورد استفاده قرار می‌گیرند. مونتاژ، آزمایش و کالیبراسیون پایه دستگاه گرانیتی یک فرآیند حیاتی است که نیاز به توجه حداکثری به جزئیات، دقت و صحت دارد. در این مقاله، فرآیند گام به گام مونتاژ، آزمایش و کالیبراسیون پایه دستگاه گرانیتی برای محصولات تجهیزات پردازش ویفر را مورد بحث قرار خواهیم داد.
مونتاژ
اولین قدم آماده‌سازی صفحه گرانیتی، پایه و ستون برای مونتاژ است. مطمئن شوید که تمام سطوح تمیز، خشک و عاری از هرگونه زباله، گرد و غبار یا روغن هستند. میخ‌های تراز را در پایه قرار دهید و صفحه سطحی را روی آن قرار دهید. میخ‌های تراز را طوری تنظیم کنید که صفحه سطحی افقی و تراز باشد. مطمئن شوید که صفحه سطحی با پایه و ستون هم‌سطح است.
سپس، ستون را روی پایه نصب کنید و آن را با پیچ و مهره محکم کنید. با استفاده از آچار گشتاور، پیچ‌ها را تا مقدار گشتاور توصیه شده توسط سازنده سفت کنید. تراز ستون را بررسی کنید و در صورت لزوم، گل‌میخ‌های تراز را تنظیم کنید.
در نهایت، مجموعه اسپیندل را روی بالای ستون نصب کنید. با استفاده از آچار گشتاور، پیچ‌ها را تا مقدار گشتاور توصیه شده توسط سازنده سفت کنید. سطح مجموعه اسپیندل را بررسی کنید و در صورت لزوم، میخ‌های تراز را تنظیم کنید.
آزمایش
پس از مونتاژ پایه دستگاه، مرحله بعدی آزمایش عملکرد و دقت آن است. منبع تغذیه را وصل کرده و دستگاه را روشن کنید. مطمئن شوید که همه اجزا مانند موتورها، چرخ دنده‌ها، تسمه‌ها و یاتاقان‌ها به درستی کار می‌کنند و هیچ گونه ناهنجاری یا صدای غیرمعمولی ندارند.
برای آزمایش دقت دستگاه، از یک نشانگر عقربه‌ای دقیق برای اندازه‌گیری میزان انحراف اسپیندل استفاده کنید. نشانگر عقربه‌ای را روی صفحه سطح قرار دهید و اسپیندل را بچرخانید. حداکثر انحراف مجاز باید کمتر از 0.002 میلی‌متر باشد. اگر انحراف بیشتر از حد مجاز است، میخ‌های تراز را تنظیم کرده و دوباره بررسی کنید.
کالیبراسیون
کالیبراسیون مرحله حیاتی در تضمین صحت و دقت پایه دستگاه است. فرآیند کالیبراسیون شامل آزمایش و تنظیم پارامترهای دستگاه مانند سرعت، موقعیت‌یابی و دقت است تا اطمینان حاصل شود که دستگاه مطابق با مشخصات سازنده است.
برای کالیبره کردن دستگاه، به یک ابزار کالیبراسیون نیاز خواهید داشت که شامل تداخل سنج لیزری، ردیاب لیزری یا یک میله گوی مانند می‌شود. این ابزارها حرکت، موقعیت و تراز دستگاه را با دقت بالا اندازه‌گیری می‌کنند.
با اندازه‌گیری محورهای خطی و زاویه‌ای دستگاه شروع کنید. از ابزار کالیبراسیون برای اندازه‌گیری حرکت و موقعیت دستگاه در یک فاصله یا زاویه مشخص استفاده کنید. مقادیر اندازه‌گیری شده را با مشخصات سازنده مقایسه کنید. در صورت وجود هرگونه انحراف، پارامترهای دستگاه مانند موتورها، چرخ‌دنده‌ها و درایوها را تنظیم کنید تا مقادیر اندازه‌گیری شده در محدوده مجاز قرار گیرند.
در مرحله بعد، عملکرد درون‌یابی دایره‌ای دستگاه را آزمایش کنید. از ابزار کالیبراسیون برای ایجاد یک مسیر دایره‌ای و اندازه‌گیری حرکت و موقعیت دستگاه استفاده کنید. دوباره، مقادیر اندازه‌گیری شده را با مشخصات سازنده مقایسه کنید و در صورت لزوم پارامترها را تنظیم کنید.
در نهایت، تکرارپذیری دستگاه را آزمایش کنید. موقعیت دستگاه را در نقاط مختلف در یک دوره مشخص اندازه‌گیری کنید. مقادیر اندازه‌گیری شده را با هم مقایسه کنید و هرگونه انحراف را بررسی کنید. در صورت وجود هرگونه انحراف، پارامترهای دستگاه را تنظیم کرده و آزمایش را تکرار کنید.
نتیجه‌گیری
مونتاژ، آزمایش و کالیبراسیون پایه دستگاه گرانیت برای محصولات تجهیزات پردازش ویفر، فرآیندی حیاتی است که نیاز به صبر، توجه به جزئیات و دقت دارد. با پیروی از این مراحل، می‌توانید اطمینان حاصل کنید که دستگاه با دقت، پایداری و دقت، مشخصات و عملکردهای سازنده را برآورده می‌کند.
زمان ارسال: ۲۸ دسامبر ۲۰۲۳