پایه ماشین گرانیت به طور گسترده در صنعت تولید ، به ویژه در صنعت پردازش ویفر استفاده می شود. این یک بخش اساسی از ماشین آلات برای پردازش کارآمد و دقیق ویفرها است. مونتاژ ، آزمایش و کالیبراسیون یک پایه دستگاه گرانیتی نیاز به توجه به جزئیات و تخصص دارد. در این مقاله ، راهنمای گام به گام مونتاژ ، آزمایش و کالیبراسیون یک پایه ماشین گرانیت برای محصولات پردازش ویفر را شرح خواهیم داد.
1. مونتاژ پایه دستگاه گرانیت
اولین قدم برای مونتاژ پایه دستگاه گرانیت تهیه تمام مؤلفه های لازم و اطمینان از کیفیت آنها است. اجزای پایه دستگاه گرانیت ممکن است شامل یک دال گرانیت ، قاب آلومینیوم ، لنت های تراز شده و پیچ باشد. در اینجا مراحل جمع آوری یک پایه دستگاه گرانیتی آورده شده است:
مرحله 1 - دال گرانیت را روی یک سطح صاف و تمیز قرار دهید.
مرحله 2 - قاب آلومینیومی را با استفاده از پیچ و مهره ها در اطراف دال گرانیت وصل کنید و مطمئن شوید که قاب با لبه های گرانیتی شسته شده است.
مرحله 3 - لنت های تراز کننده را در قسمت پایین قاب آلومینیوم نصب کنید تا از سطح دستگاه اطمینان حاصل شود.
مرحله 4 - تمام پیچ ها را محکم کنید و مطمئن شوید که پایه دستگاه گرانیت محکم و پایدار است.
2. آزمایش پایه دستگاه گرانیت
پس از مونتاژ پایه دستگاه گرانیت ، باید آزمایش شود تا اطمینان حاصل شود که به درستی کار می کند. آزمایش پایه دستگاه گرانیت شامل بررسی سطح بودن ، صاف بودن و ثبات آن است. در اینجا مراحل آزمایش پایه دستگاه گرانیت آورده شده است:
مرحله 1 - از یک سطح دقیق برای بررسی سطح پایه دستگاه با قرار دادن آن در نقاط مختلف دال گرانیت استفاده کنید.
مرحله 2 - برای بررسی صاف بودن پایه دستگاه با قرار دادن آن در نقاط مختلف دال گرانیت ، از یک لبه مستقیم یا صفحه سطح استفاده کنید. تحمل صاف باید کمتر از 0.025 میلی متر باشد.
مرحله 3 - برای بررسی ثبات آن ، یک بار را در پایه دستگاه بمالید. بار نباید باعث تغییر شکل یا حرکت در پایه دستگاه شود.
3. کالیبراسیون پایه دستگاه گرانیت
کالیبراسیون پایه دستگاه گرانیت شامل تنظیم دقت موقعیت یابی دستگاه و تراز کردن آن با سایر اجزای دستگاه برای اطمینان از بهترین عملکرد است. در اینجا مراحل کالیبراسیون پایه دستگاه گرانیت وجود دارد:
مرحله 1 - ابزارهای اندازه گیری مانند یک سکوی نوری یا سیستم تداخل سنج لیزر را در پایه دستگاه گرانیت نصب کنید.
مرحله 2 - برای تعیین خطاها و انحرافات موقعیت یابی دستگاه ، یک سری آزمایشات و اندازه گیری ها را انجام دهید.
مرحله 3 - پارامترهای موقعیت یابی دستگاه را تنظیم کنید تا خطاها و انحرافات به حداقل برسد.
مرحله 4 - یک بررسی نهایی را انجام دهید تا اطمینان حاصل شود که پایه دستگاه به درستی کالیبره شده است و هیچ خطایی یا انحراف در اندازه گیری ها وجود ندارد.
پایان
در نتیجه ، مونتاژ ، آزمایش و کالیبراسیون یک پایه ماشین گرانیت برای محصولات پردازش ویفر برای دستیابی به دقت و دقت بالا در فرآیند تولید بسیار مهم است. با استفاده از مؤلفه ها ، ابزارها و تخصص های لازم ، به دنبال مراحل توضیح داده شده در بالا ، اطمینان حاصل می شود که پایه دستگاه گرانیت مونتاژ ، آزمایش و کالیبره شده است. یک پایه دستگاه گرانیتی به خوبی ساخته و کالیبره شده نتایج کارآمد و دقیقی را در محصولات پردازش ویفر ارائه می دهد.
زمان پست: نوامبر 07-2023