تخت های دستگاه گرانیت به دلیل پایداری عالی، سفتی و خواص میرایی ارتعاش به طور گسترده در محصولات تجهیزات پردازش ویفر استفاده می شود.مونتاژ، آزمایش و کالیبره کردن بستر دستگاه گرانیت نیازمند یک رویکرد دقیق و دقیق برای اطمینان از عملکرد دقیق و قابل اعتماد است.در این مقاله، ما شما را از طریق فرآیند گام به گام مونتاژ، آزمایش و کالیبره کردن بستر دستگاه گرانیت برای محصولات تجهیزات پردازش ویفر راهنمایی می کنیم.
مرحله 1: بررسی و آماده سازی صفحه سطح گرانیت
اولین قدم این است که صفحه سطح گرانیت را برای هر گونه نقص یا آسیب بررسی کنید.صفحه را برای هر گونه ترک، تراشه یا خراش بررسی کنید و مطمئن شوید که تمیز و عاری از هرگونه زباله است.در صورت مشاهده هر گونه آسیب یا نقص، صفحه نیاز به تعمیر یا تعویض دارد.
پس از بررسی صفحه سطح، از یک سطح برای اطمینان از صاف بودن آن استفاده کنید.اگر هر گونه انحراف از صافی تشخیص داده شد، باید با استفاده از شیم یا سایر تنظیمات تراز اصلاح شود.
مرحله 2: قرار دادن تخت ماشین گرانیت در موقعیت
مرحله دوم قرار دادن بستر دستگاه گرانیت در موقعیت نهایی است.اطمینان حاصل کنید که بستر صاف و پایدار است و آن را با بقیه تجهیزات پردازش ویفر هماهنگ کنید.بستر دستگاه گرانیت باید به طور ایمن ثابت شود تا از هر گونه حرکت در حین استفاده جلوگیری شود.
مرحله 3: اتصال اجزای تجهیزات پردازش ویفر
مرحله سوم، اتصال اجزای تجهیزات پردازش ویفر به بستر دستگاه گرانیت است.این کار باید با دقت انجام شود، دستورالعمل های سازنده را دنبال کنید و اطمینان حاصل کنید که همه اجزا به طور ایمن وصل شده اند.
مرحله 4: تست بستر ماشین گرانیت برای پایداری و میرایی لرزش
پس از اتصال تمام اجزای تجهیزات پردازش ویفر، پایداری و خواص میرایی ارتعاش بستر دستگاه گرانیت باید آزمایش شود.برای انجام این کار، تجهیزات پردازش ویفر را به یک آنالایزر ارتعاش متصل کرده و آن را طی یک سری آزمایش اجرا کنید.
این آزمایش ها به شناسایی هر گونه منابع ارتعاشی و دامنه ارتعاشاتی که بستر دستگاه گرانیت می تواند جذب کند کمک می کند.هر مشکلی که در طول این آزمایش ها شناسایی می شود باید برطرف شود و سیستم میرایی ارتعاش بستر دستگاه گرانیت باید متناسب با آن تنظیم شود.
مرحله 5: کالیبره کردن تخت ماشین گرانیت
هنگامی که پایداری و خواص میرایی ارتعاش بستر دستگاه گرانیت آزمایش و تنظیم شد، بستر باید کالیبره شود تا بتوان با دقت دقیق از آن استفاده کرد.این شامل استفاده از یک سیستم اندازه گیری با دقت بالا برای تعیین صافی صفحه سطح و تنظیم سطح بستر دستگاه بر این اساس است.
نتیجه
مونتاژ، آزمایش و کالیبره کردن بستر دستگاه گرانیت نیازمند یک رویکرد دقیق و دقیق برای اطمینان از عملکرد دقیق و قابل اعتماد است.با دنبال کردن این مراحل، می توانید اطمینان حاصل کنید که محصولات تجهیزات پردازش ویفر شما بر روی پایه ای پایدار و محکم ساخته شده اند، که برای دقت دقیق و عملکرد قابل اعتماد حیاتی است.
زمان ارسال: دسامبر-29-2023