تخت‌های دستگاه گرانیت به دلیل پایداری، سفتی و خواص میرایی ارتعاش عالی، به طور گسترده در محصولات تجهیزات پردازش ویفر مورد استفاده قرار می‌گیرند. مونتاژ، آزمایش و کالیبراسیون تخت دستگاه گرانیت نیاز به یک رویکرد دقیق و محتاطانه برای اطمینان از عملکرد دقیق و قابل اعتماد دارد. در این مقاله، شما را در فرآیند گام به گام مونتاژ، آزمایش و کالیبراسیون تخت دستگاه گرانیت برای محصولات تجهیزات پردازش ویفر راهنمایی خواهیم کرد.
مرحله 1: بررسی و آماده سازی صفحه سطح گرانیت
اولین قدم بررسی صفحه سطح گرانیتی از نظر هرگونه نقص یا آسیب است. صفحه را از نظر هرگونه ترک، تراشه یا خراش بررسی کنید و مطمئن شوید که تمیز و عاری از هرگونه زباله است. در صورت مشاهده هرگونه آسیب یا نقص، صفحه نیاز به تعمیر یا تعویض دارد.
پس از بررسی صفحه سطح، از تراز استفاده کنید تا مطمئن شوید که کاملاً صاف است. در صورت مشاهده هرگونه انحراف از صافی، باید با استفاده از شیم یا سایر تنظیمات تراز، آن را اصلاح کنید.
مرحله 2: قرار دادن بستر دستگاه گرانیت در موقعیت مناسب
مرحله دوم، قرار دادن بستر دستگاه گرانیت در موقعیت نهایی خود است. اطمینان حاصل کنید که بستر تراز و پایدار است و آن را با بقیه تجهیزات پردازش ویفر هم‌تراز کنید. بستر دستگاه گرانیت باید به طور ایمن ثابت شود تا از هرگونه حرکتی در حین استفاده جلوگیری شود.
مرحله 3: اتصال اجزای تجهیزات پردازش ویفر
مرحله سوم اتصال اجزای تجهیزات پردازش ویفر به بستر دستگاه گرانیت است. این کار باید با دقت و با پیروی از دستورالعمل‌های سازنده انجام شود و از اتصال ایمن همه اجزا اطمینان حاصل شود.
مرحله 4: آزمایش بستر دستگاه گرانیت برای پایداری و میرایی ارتعاش
پس از اتصال تمام اجزای تجهیزات پردازش ویفر، باید پایداری و خواص میرایی ارتعاش بستر دستگاه گرانیت آزمایش شود. برای انجام این کار، تجهیزات پردازش ویفر را به یک آنالیزور ارتعاش متصل کرده و آن را از طریق یک سری آزمایش اجرا کنید.
این آزمایش‌ها به شناسایی هرگونه منبع ارتعاش و دامنه ارتعاشاتی که بستر دستگاه گرانیت می‌تواند جذب کند، کمک می‌کند. هرگونه مشکلی که در طول این آزمایش‌ها شناسایی شود، باید برطرف شود و سیستم میرایی ارتعاش بستر دستگاه گرانیت باید بر اساس آن تنظیم شود.
مرحله 5: کالیبره کردن بستر دستگاه گرانیت
پس از آزمایش و تنظیم پایداری و خواص میرایی ارتعاش بستر دستگاه گرانیت، بستر باید کالیبره شود تا بتوان با دقت بالایی از آن استفاده کرد. این شامل استفاده از یک سیستم اندازه‌گیری با دقت بالا برای تعیین صافی صفحه سطح و تنظیم سطح بستر دستگاه بر اساس آن است.
نتیجه‌گیری
مونتاژ، آزمایش و کالیبراسیون بستر دستگاه گرانیت نیاز به یک رویکرد دقیق و محتاطانه برای اطمینان از عملکرد دقیق و قابل اعتماد دارد. با دنبال کردن این مراحل، می‌توانید اطمینان حاصل کنید که محصولات تجهیزات پردازش ویفر شما بر روی یک پایه پایدار و محکم ساخته شده‌اند، که برای دقت دقیق و عملکرد قابل اعتماد حیاتی است.
زمان ارسال: ۲۹ دسامبر ۲۰۲۳