تختخواب دستگاه گرانیت به دلیل ثبات ، سفتی و خواص میرایی لرزش بسیار زیاد در محصولات تجهیزات پردازش ویفر مورد استفاده قرار می گیرد. مونتاژ ، آزمایش و کالیبراسیون بستر دستگاه گرانیتی برای اطمینان از عملکرد دقیق و قابل اعتماد به یک رویکرد دقیق و دقیق نیاز دارد. در این مقاله ، ما شما را از طریق فرآیند گام به گام مونتاژ ، آزمایش و کالیبراسیون بستر دستگاه گرانیتی برای محصولات تجهیزات پردازش ویفر راهنمایی خواهیم کرد.
مرحله 1: بررسی و تهیه صفحه سطح گرانیت
مرحله اول بررسی صفحه سطح گرانیت برای هرگونه نقص یا آسیب است. صفحه را برای هرگونه ترک ، تراشه یا خراش بررسی کنید و از تمیز و عاری از هرگونه بقایای آن اطمینان حاصل کنید. در صورت مشاهده هرگونه خسارت یا نقص ، صفحه نیاز به تعمیر یا تعویض دارد.
پس از بررسی صفحه سطح ، از یک سطح استفاده کنید تا اطمینان حاصل شود که کاملاً مسطح است. در صورت تشخیص هرگونه انحراف از صاف ، باید با استفاده از شیمس یا تنظیمات تراز دیگر اصلاح شود.
مرحله 2: قرار دادن بستر دستگاه گرانیت در موقعیت
مرحله دوم قرار دادن تختخواب ماشین گرانیت در موقعیت نهایی آن است. اطمینان حاصل کنید که تختخواب سطح و پایدار است و آن را با بقیه تجهیزات پردازش ویفر تراز کنید. برای جلوگیری از هرگونه حرکت در حین استفاده ، باید بستر دستگاه گرانیت به طور ایمن ثابت شود.
مرحله 3: اتصال اجزای تجهیزات پردازش ویفر
مرحله سوم اتصال اجزای تجهیزات پردازش ویفر به بستر دستگاه گرانیت است. این کار باید با دقت انجام شود ، به دنبال دستورالعمل های سازنده و اطمینان از اتصال ایمن همه مؤلفه ها.
مرحله 4: آزمایش بستر دستگاه گرانیت برای ثبات و میرایی لرزش
پس از اتصال تمام اجزای تجهیزات پردازش ویفر ، نیاز به پایداری و خواص میرایی لرزش بستر دستگاه گرانیت باید آزمایش شود. برای انجام این کار ، تجهیزات پردازش ویفر را به آنالایزر لرزش وصل کرده و از طریق یک سری آزمایشات اجرا کنید.
این آزمایشات به شناسایی منابع لرزش و دامنه ارتعاشاتی که بستر دستگاه گرانیت می تواند جذب کند ، کمک می کند. هر مشکلی که در طول این آزمایشات مشخص شده باشد باید مورد توجه قرار گیرد و سیستم میرایی لرزش بستر دستگاه گرانیت باید بر این اساس تنظیم شود.
مرحله 5: کالیبراسیون بستر دستگاه گرانیت
پس از تست و تنظیم و تنظیم و تنظیم و تنظیم و تنظیم و تنظیم و تنظیم و تنظیم ، تختخواب باید کالیبره شود تا بتواند با دقت دقیق مورد استفاده قرار گیرد. این شامل استفاده از یک سیستم اندازه گیری با دقت بالا برای تعیین صاف بودن صفحه سطح و تنظیم سطح بستر دستگاه بر این اساس است.
پایان
مونتاژ ، آزمایش و کالیبراسیون بستر دستگاه گرانیتی برای اطمینان از عملکرد دقیق و قابل اعتماد به یک رویکرد دقیق و دقیق نیاز دارد. با دنبال کردن این مراحل ، می توانید اطمینان حاصل کنید که محصولات تجهیزات پردازش ویفر شما بر روی یک پایه پایدار و محکم ساخته شده اند که برای دقت دقیق و عملکرد قابل اعتماد بسیار حیاتی است.
زمان پست: دسامبر -29-2023