در زمینه‌هایی مانند تولید نیمه‌هادی‌ها و ابزارهای اندازه‌گیری دقیق، دقت پلتفرم‌های دقیق گرانیتی مستقیماً کیفیت عملیاتی تجهیزات را تعیین می‌کند. برای اطمینان از اینکه دقت پلتفرم مطابق با استانداردها است، باید از دو جنبه تلاش شود: تشخیص شاخص‌های کلیدی و رعایت هنجارهای استاندارد.
تشخیص شاخص هسته: کنترل چند بعدی دقت
تشخیص تختی: تعیین «تختی» صفحه مرجع
صافی، شاخص اصلی پلتفرم‌های دقیق گرانیتی است و معمولاً توسط تداخل‌سنج‌های لیزری یا ترازهای الکترونیکی اندازه‌گیری می‌شود. تداخل‌سنج لیزری می‌تواند با انتشار پرتو لیزر و استفاده از اصل تداخل نور، با دقتی در حد زیر میکرون، نوسانات جزئی روی سطح پلتفرم را اندازه‌گیری کند. تراز الکترونیکی با چندین بار حرکت اندازه‌گیری می‌کند و یک نقشه کانتور سه‌بعدی از سطح پلتفرم ترسیم می‌کند تا تشخیص دهد که آیا برآمدگی یا فرورفتگی موضعی وجود دارد یا خیر. به عنوان مثال، پلتفرم‌های گرانیتی مورد استفاده در دستگاه‌های فوتولیتوگرافی نیمه‌هادی باید صافی ±0.5μm/m داشته باشند، به این معنی که اختلاف ارتفاع در طول 1 متر نباید از نیم میکرومتر تجاوز کند. تنها از طریق تجهیزات تشخیص با دقت بالا می‌توان این استاندارد دقیق را تضمین کرد.
۲. تشخیص صافی: اطمینان از "صاف بودن" حرکت خطی
برای پلتفرم‌هایی که قطعات متحرک دقیقی را حمل می‌کنند، صاف بودن از اهمیت حیاتی برخوردار است. روش‌های رایج برای تشخیص، روش سیمی یا کولیماتور لیزری هستند. روش سیمی شامل معلق کردن سیم‌های فولادی با دقت بالا و مقایسه فاصله بین سطح پلتفرم و سیم‌های فولادی برای تعیین صاف بودن است. کولیماتور لیزری از ویژگی‌های انتشار خطی لیزر برای تشخیص خطای خطی سطح نصب ریل راهنمای پلتفرم استفاده می‌کند. اگر صاف بودن مطابق با استاندارد نباشد، باعث می‌شود که تجهیزات در حین حرکت جابجا شوند و بر دقت پردازش یا اندازه‌گیری تأثیر بگذارند.
۳. تشخیص زبری سطح: از "ظرافت" تماس اطمینان حاصل کنید
زبری سطح پلتفرم بر تناسب نصب قطعات تأثیر می‌گذارد. معمولاً از یک زبری سنج قلمی یا میکروسکوپ نوری برای تشخیص استفاده می‌شود. ابزار نوع قلمی با تماس سطح پلتفرم با یک پروب ریز، تغییرات ارتفاع پروفیل میکروسکوپی را ثبت می‌کند. میکروسکوپ‌های نوری می‌توانند مستقیماً بافت سطح را مشاهده کنند. در کاربردهای با دقت بالا، زبری سطح پلتفرم‌های گرانیتی باید در Ra≤0.05μm کنترل شود، که معادل یک اثر آینه‌ای است و تضمین می‌کند که قطعات دقیق در حین نصب محکم قرار می‌گیرند و از لرزش یا جابجایی ناشی از شکاف‌ها جلوگیری می‌شود.
استانداردهای دقت عبارتند از: هنجارهای بین‌المللی و کنترل داخلی شرکت
در حال حاضر، در سطح بین‌المللی، استانداردهای ISO 25178 و GB/T 24632 معمولاً به عنوان مبنایی برای تعیین دقت پلتفرم‌های گرانیتی استفاده می‌شوند و طبقه‌بندی‌های روشنی برای شاخص‌هایی مانند صافی و مستقیمی وجود دارد. علاوه بر این، شرکت‌های تولیدی سطح بالا اغلب استانداردهای کنترل داخلی سختگیرانه‌تری را تعیین می‌کنند. به عنوان مثال، الزام صافی برای پلتفرم گرانیتی دستگاه فوتولیتوگرافی 30٪ بیشتر از استاندارد بین‌المللی است. هنگام انجام آزمایش‌ها، داده‌های اندازه‌گیری شده باید با استانداردهای مربوطه مقایسه شوند. فقط پلتفرم‌هایی که کاملاً با استانداردها مطابقت دارند، می‌توانند عملکرد پایدار در تجهیزات دقیق را تضمین کنند.
بررسی دقت پلتفرم‌های دقیق گرانیتی یک پروژه سیستماتیک است. تنها با آزمایش دقیق شاخص‌های اصلی مانند صافی، صافی و زبری سطح و رعایت استانداردهای بین‌المللی و سازمانی، می‌توان دقت و قابلیت اطمینان بالای پلتفرم را تضمین کرد و پایه محکمی برای زمینه‌های تولیدی سطح بالا مانند نیمه‌رساناها و ابزارهای دقیق ایجاد کرد.
زمان ارسال: ۲۱ مه ۲۰۲۵