گرانیت ماده‌ای بادوام و محکم است که معمولاً به عنوان پایه برای تجهیزات پردازش ویفر استفاده می‌شود. با این حال، به دلیل استفاده مداوم، پایه دستگاه گرانیت نیز مستعد آسیب‌هایی مانند خراش، تراشه و فرورفتگی است. این آسیب‌ها می‌توانند بر دقت تجهیزات تأثیر بگذارند و در طول پردازش ویفر مشکلاتی ایجاد کنند. خوشبختانه، تعمیر ظاهر پایه دستگاه گرانیت آسیب‌دیده و کالیبراسیون مجدد دقت امکان‌پذیر است و در اینجا چند نکته در مورد چگونگی انجام آن ارائه شده است.
۱. سطح را تمیز کنید
قبل از تعمیر هرگونه آسیب روی پایه دستگاه گرانیت، ابتدا تمیز کردن سطح ضروری است. از یک برس نرم برای از بین بردن هرگونه زباله و کثیفی روی سطح استفاده کنید. همچنین می‌توانید از محلول تمیزکننده‌ای که مخصوص گرانیت فرموله شده است استفاده کنید تا مطمئن شوید سطح کاملاً تمیز شده است.
۲. خسارات را تعمیر کنید
پس از تمیز کردن سطح، زمان تعمیر هرگونه آسیب روی پایه دستگاه گرانیت است. برای خراش‌ها و لب‌پریدگی‌های جزئی، از کیت تعمیر گرانیت که حاوی اپوکسی یا پرکننده‌ای است که با رنگ گرانیت مطابقت دارد، استفاده کنید. پرکننده یا اپوکسی را روی ناحیه آسیب‌دیده بمالید، بگذارید کاملاً خشک شود و سپس آن را سنباده بزنید تا صاف شود.
برای فرورفتگی‌ها یا آسیب‌های عمیق‌تر، بهتر است از یک متخصص که در تعمیر گرانیت تخصص دارد کمک بگیرید. آن‌ها تجهیزات و مهارت‌های لازم برای تعمیر آسیب را بدون به خطر انداختن دقت تجهیزات دارند.
۳. دقت را دوباره کالیبره کنید
پس از تعمیر آسیب‌های وارده به پایه دستگاه گرانیت، کالیبراسیون مجدد دقت تجهیزات برای اطمینان از عملکرد صحیح آن ضروری است. کالیبراسیون شامل اندازه‌گیری دقت دستگاه و سپس تنظیم آن برای برآورده کردن مشخصات مورد نیاز است.
رعایت دستورالعمل‌های سازنده هنگام کالیبراسیون تجهیزات برای اطمینان از دستیابی به نتایج دقیق بسیار مهم است. کالیبراسیون می‌تواند توسط یک تکنسین باتجربه یا نماینده سازنده انجام شود.
۴. نگهداری منظم
برای جلوگیری از آسیب‌های بعدی به پایه دستگاه گرانیت و اطمینان از دقت آن، نگهداری منظم بسیار مهم است. این شامل تمیز کردن سطح پس از هر بار استفاده، بازرسی منظم تجهیزات و جلوگیری از قرار دادن اشیاء سنگین روی سطح می‌شود.
در نتیجه، تعمیر ظاهر آسیب‌دیده پایه دستگاه گرانیت و کالیبراسیون مجدد دقت آن برای اطمینان از عملکرد دقیق تجهیزات پردازش ویفر بسیار مهم است. با پیروی از مراحل ذکر شده در بالا و نگهداری منظم تجهیزات، می‌توانید از آسیب‌ها جلوگیری کرده و طول عمر پایه دستگاه گرانیت را افزایش دهید.
زمان ارسال: ۲۸ دسامبر ۲۰۲۳