تخت‌های دستگاه گرانیت به دلیل پایداری و دوام عالی‌شان در تجهیزات پردازش ویفر بسیار مورد استفاده قرار می‌گیرند. با این حال، مانند هر تجهیزات دیگری، این تخت‌ها به دلیل استفاده منظم در معرض ساییدگی و پارگی قرار می‌گیرند و منجر به آسیب به ظاهر و دقت آنها می‌شوند. در اینجا چند نکته در مورد تعمیر ظاهر تخت دستگاه گرانیت آسیب دیده برای تجهیزات پردازش ویفر و کالیبراسیون مجدد دقت آن ارائه شده است.
۱. خسارت را ارزیابی کنید:
اولین قدم در تعمیر هر تخت دستگاه گرانیتی، ارزیابی آسیب است. هرگونه ترک، تراشه یا خراش روی سطح تخت را بررسی کنید. اگر آسیب جزئی باشد، می‌توان آن را با کیت‌های تعمیر ساده موجود در بازار برطرف کرد. با این حال، اگر آسیب قابل توجه باشد، توصیه می‌شود از یک متخصص کمک بگیرید.
۲. سطح را تمیز کنید:
قبل از تعمیر یا بازسازی بستر دستگاه گرانیتی، تمیز کردن کامل سطح ضروری است. از صابون ملایم و آب برای پاک کردن سطح و از بین بردن هرگونه کثیفی و آلودگی استفاده کنید. از استفاده از مواد شیمیایی ساینده که می‌توانند به سطح آسیب برسانند، خودداری کنید.
۳. آسیب را تعمیر کنید:
برای خراش‌ها و لب‌پریدگی‌های جزئی، از کیت تعمیر گرانیت با کیفیت بالا استفاده کنید. دستورالعمل‌های سازنده را با دقت دنبال کنید و محلول تعمیر را روی ناحیه آسیب‌دیده بمالید. قبل از سنباده زدن و صیقل دادن سطح، اجازه دهید محلول کاملاً خشک شود.
برای آسیب‌های شدیدتر مانند ترک یا لب‌پریدگی‌های بزرگ، بهتر است برای تعمیر تخت دستگاه گرانیتی از یک متخصص کمک بگیرید. آنها تخصص و ابزار لازم برای رفع آسیب و بازگرداندن ظاهر اصلی تخت را دارند.
۴. دقت را دوباره تنظیم و کالیبره کنید:
پس از تعمیر تخت دستگاه گرانیت، تراز کردن و کالیبراسیون مجدد دقت تخت بسیار مهم است تا از عملکرد بهینه آن اطمینان حاصل شود. از یک تراز دقیق برای بررسی تراز بودن تخت استفاده کنید و پایه‌ها یا پیچ‌های تراز را بر اساس آن تنظیم کنید. دقت حرکات تخت را بررسی کنید و هرگونه تنظیم لازم را انجام دهید. توصیه می‌شود برای کالیبراسیون مجدد دقت تخت، دستورالعمل‌های سازنده را دنبال کنید.
در نتیجه، تعمیر ظاهر آسیب‌دیده‌ی بستر دستگاه گرانیتی برای تجهیزات پردازش ویفر نیاز به رویکردی دقیق دارد. ارزیابی آسیب، تمیز کردن سطح، تعمیر آسیب و تنظیم مجدد و کالیبراسیون مجدد دقت بستر ضروری است. با رعایت این نکات، می‌توان ظاهر اولیه‌ی بستر را بازیابی کرد و عملکرد بهینه‌ی آن را تضمین نمود.
زمان ارسال: ۲۹ دسامبر ۲۰۲۳