گرانیت معمولاً در صنعت نیمه‌هادی برای ساخت تجهیزات دقیق، از جمله تجهیزات پردازش ویفر، مورد استفاده قرار گرفته است. این به دلیل خواص عالی این ماده مانند سفتی بالا، انبساط حرارتی کم و میرایی بالای ارتعاش است. این ماده یک سطح پایدار و صاف ایجاد می‌کند که در تولید مدارهای الکترونیکی کوچک روی ویفرها مهم است.
هنگام استفاده از گرانیت در تجهیزات پردازش ویفر، رعایت اقدامات احتیاطی مناسب برای اطمینان از حداکثر کارایی و طول عمر بسیار مهم است. در اینجا چند نکته برای استفاده و نگهداری صحیح از گرانیت آورده شده است.
۱. جابجایی و نصب مناسب
گرانیت ماده‌ای بسیار سنگین و شکننده است که نیاز به جابجایی و نصب صحیح دارد. اطمینان از تراز بودن سطح قبل از نصب بسیار مهم است. هرگونه ناهمواری می‌تواند منجر به آسیب به تجهیزات شود که می‌تواند بر کیفیت ویفرهای تولید شده تأثیر بگذارد. گرانیت باید با احتیاط جابجا شود و با کمک تجهیزات تخصصی حمل و نصب شود.
۲. تمیز کردن منظم
تجهیزات فرآوری ویفر که از گرانیت استفاده می‌کنند، باید مرتباً تمیز شوند تا از تجمع زباله و کثیفی روی سطح جلوگیری شود. تجمع زباله می‌تواند باعث ایجاد خراش یا ایجاد ترک شود که می‌تواند بر کیفیت ویفرهای تولید شده تأثیر بگذارد. یک پارچه نرم و یک محلول صابون ملایم می‌تواند برای تمیز کردن سطوح گرانیتی کافی باشد. باید از مواد شوینده و مواد شیمیایی قوی اجتناب شود زیرا می‌توانند به سطح آسیب برسانند.
۳. نگهداری پیشگیرانه
نگهداری پیشگیرانه برای اطمینان از عملکرد بهینه تجهیزات پردازش ویفر ضروری است. تجهیزات و سطح گرانیت باید به طور منظم بازرسی شوند و هرگونه علائم آسیب باید فوراً برطرف شود. این می‌تواند به تشخیص زودهنگام مشکلات کمک کند و از تبدیل آنها به مشکلات بزرگتر که تعمیر آنها پرهزینه‌تر است، جلوگیری کند.
۴. از چرخه حرارتی اجتناب کنید
گرانیت به تغییرات دما حساس است و باید از چرخه حرارتی اجتناب شود. تغییرات سریع دما می‌تواند باعث انبساط و انقباض گرانیت شود و منجر به ترک خوردن یا تاب برداشتن سطح آن شود. حفظ دمای پایدار در اتاق پردازش می‌تواند به جلوگیری از این امر کمک کند. علاوه بر این، برای جلوگیری از شوک حرارتی، مهم است که از قرار دادن اشیاء داغ روی سطح گرانیت خودداری کنید.
در نتیجه، گرانیت به دلیل خواص برتر خود که به تولید ویفرهای با کیفیت بالا کمک می‌کند، ماده‌ای رایج در تجهیزات پردازش ویفر است. برای اطمینان از حداکثر کارایی و طول عمر، جابجایی مناسب، تمیز کردن منظم، نگهداری پیشگیرانه و اجتناب از چرخه‌های حرارتی بسیار مهم است. این شیوه‌ها می‌توانند به حفظ تجهیزات در شرایط عالی کمک کنند و منجر به بهره‌وری بهینه و ویفرهای با کیفیت بالا شوند.
زمان ارسال: ۲۷ دسامبر ۲۰۲۳