پایه‌های دستگاه گرانیت به طور گسترده در تجهیزات پردازش ویفر استفاده می‌شوند و به دلیل سختی و پایداری بالا ترجیح داده می‌شوند. پایه دستگاه گرانیت یک جزء حیاتی است که پشتیبانی لازم برای عملکرد دقیق تجهیزات پردازش ویفر را فراهم می‌کند. در زیر چند دستورالعمل در مورد نحوه استفاده و نگهداری از پایه دستگاه گرانیت برای تجهیزات پردازش ویفر آمده است:
۱. نصب صحیح: اولین قدم برای اطمینان از دوام پایه دستگاه گرانیت، نصب صحیح آن است. فرآیند نصب باید با دقت فراوان توسط تکنسین‌های باتجربه انجام شود. دستگاه باید به درستی تراز شده و روی یک پایه محکم قرار گیرد تا از هرگونه لرزش یا حرکتی که ممکن است به دستگاه آسیب برساند، جلوگیری شود.
۲. تمیز کردن منظم: برای جلوگیری از تجمع هرگونه آلودگی یا کثیفی، پایه باید مرتباً تمیز شود. از یک پارچه نرم و بدون پرز برای پاک کردن سطح و از بین بردن هرگونه روغن یا ذراتی که ممکن است مانع عملکرد دستگاه شوند، استفاده کنید.
۳. از خراشیدگی جلوگیری کنید: اگرچه سطوح گرانیتی در برابر خراشیدگی مقاوم هستند، اما برای حفظ ظاهر و کارایی آن باید از خراشیدن سطح خودداری کنید. از کشیدن هرگونه تجهیزات یا ابزار سنگین روی سطح پایه گرانیتی خودداری کنید.
۴. حفظ دما: پایه گرانیتی باید در دمای ثابتی نگه داشته شود تا از هرگونه انبساط یا انقباض حرارتی که ممکن است بر پایداری آن تأثیر بگذارد، جلوگیری شود. دمای ایده‌آل برای گرانیت بین ۶۴ تا ۶۸ درجه فارنهایت است.
۵. از قرار گرفتن در معرض مواد شیمیایی خودداری کنید: گرانیت در برابر آسیب‌های شیمیایی آسیب‌پذیر است و نباید در معرض مواد شیمیایی قوی مانند اسیدها یا قلیاها قرار گیرد. از استفاده از محصولات تمیزکننده‌ای که حاوی اجزای ساینده هستند، خودداری کنید.
۶. نگهداری منظم: انجام نگهداری منظم روی پایه گرانیتی، مانند بررسی ترک یا تراشه در سطح، که می‌تواند توسط یک تکنسین حرفه‌ای تعمیر شود، بسیار مهم است.
۷. بازرسی حرفه‌ای: از یک تکنسین حرفه‌ای بخواهید که به صورت دوره‌ای، بازرسی کاملی از پایه دستگاه انجام دهد تا اطمینان حاصل شود که هرگونه آسیب احتمالی در اسرع وقت قابل تعمیر است.
نتیجه‌گیری:
پایه‌های دستگاه گرانیت، اجزای حیاتی تجهیزات پردازش ویفر هستند و برای اطمینان از عملکرد روان و طول عمر بالا باید نگهداری شوند. با پیروی از دستورالعمل‌های بالا، می‌توانید به حداکثر رساندن عملکرد پایه گرانیتی کمک کنید. تمیز کردن و نگهداری منظم، نصب مناسب و جلوگیری از خراش و قرار گرفتن در معرض مواد شیمیایی به حفظ پایه در شرایط عالی کمک می‌کند. یک پایه گرانیتی که به خوبی نگهداری شود، تضمین می‌کند که تجهیزات پردازش ویفر به طور کارآمد و دقیق عمل می‌کنند و منجر به کیفیت تولید بهتر و افزایش بهره‌وری می‌شوند.
زمان ارسال: ۲۸ دسامبر ۲۰۲۳