گرانیت ماده ای سخت و بادوام است که اغلب در صنعت ساخت و ساز مورد استفاده قرار می گیرد. با این حال ، همچنین دارای خواصی است که آن را در ساخت نیمه هادی ، به ویژه در ساخت و پردازش مدارهای یکپارچه مفید می کند. اجزای گرانیتی ، مانند میزهای گرانیتی و بلوک های گرانیتی ، به طور گسترده ای برای پایداری ، صاف بودن و ضریب انبساط حرارتی کم استفاده می شوند.
یکی از کاربردهای اصلی اجزای گرانیتی در ساخت نیمه هادی در فرآیند ساخت است. ویفرهای سیلیکون ، بلوک های اصلی ساختمان مدارهای یکپارچه ، باید با دقت و دقت بالایی ساخته شوند. هرگونه اعوجاج یا حرکت در طی فرآیند می تواند منجر به نقصی شود که ممکن است بر کیفیت و عملکرد مدارهای یکپارچه تأثیر بگذارد. جداول گرانیتی با ثبات و صاف بودن بالا ، بستر خوبی را برای تجهیزات پردازش ویفر فراهم می کند. آنها همچنین در برابر انبساط حرارتی و انقباض ناشی از گرمایش و سرمایش مورد نیاز در فرآیند مقاوم هستند.
بلوک های گرانیتی همچنین در پردازش نیمه هادی برای ثبات حرارتی آنها استفاده می شود. در طی فرآیندهای اچ یا رسوب ، از گازهای گرم یا پلاسما برای اصلاح سطح ویفر سیلیکون استفاده می شود. دمای ویفر باید کنترل شود تا اطمینان حاصل شود که این روند به طور کارآمد و دقیق انجام می شود. بلوک های گرانیتی ، با ضریب انبساط حرارتی کم ، به تثبیت دمای ویفر کمک می کنند و خطر نوسانات دما را که می تواند بر کیفیت مواد فرآوری شده تأثیر بگذارد ، کاهش می دهد.
گذشته از فرآیندهای ساخت و پردازش ، از اجزای گرانیتی نیز در مراحل اندازه گیری و بازرسی از تولید نیمه هادی استفاده می شود. اندازه گیری اندازه گیری اندازه گیری برای اطمینان از اندازه ، شکل و موقعیت ساختارها روی ویفر در مشخصات مورد نیاز است. بلوک های گرانیتی به دلیل ثبات و دقت بعدی آنها به عنوان استانداردهای مرجع در این اندازه گیری ها استفاده می شوند. آنها همچنین در مراحل بازرسی مورد استفاده قرار می گیرند ، جایی که کیفیت مدارهای یکپارچه تحت بزرگنمایی زیاد بررسی می شود.
به طور کلی ، استفاده از اجزای گرانیتی در تولید نیمه هادی در سالهای اخیر افزایش یافته است. نیاز به دقت ، دقت و پایداری بالا در ساخت و پردازش مدارهای یکپارچه باعث شده است که این مواد توسط تولید کنندگان نیمه هادی اتخاذ شود. خصوصیات منحصر به فرد گرانیت ، مانند سختی ، پایداری و ضریب انبساط حرارتی کم آن ، آن را به یک انتخاب عالی برای استفاده در این فرآیندها تبدیل می کند. با ادامه توسعه و بهبود فناوری نیمه هادی ، انتظار می رود استفاده از اجزای گرانیتی در آینده بیشتر شود.
زمان پست: دسامبر 05-2023