گرانیت ماده‌ای سخت و بادوام است که اغلب در صنعت ساخت و ساز مورد استفاده قرار می‌گیرد. با این حال، این ماده دارای خواصی نیز هست که آن را در تولید نیمه‌هادی‌ها، به ویژه در ساخت و پردازش مدارهای مجتمع، مفید می‌سازد. اجزای گرانیتی، مانند میزهای گرانیتی و بلوک‌های گرانیتی، به دلیل پایداری، مسطح بودن و ضریب انبساط حرارتی پایین، به طور گسترده مورد استفاده قرار می‌گیرند.
یکی از کاربردهای اصلی قطعات گرانیتی در تولید نیمه‌هادی‌ها، در فرآیند ساخت است. ویفرهای سیلیکونی، بلوک‌های سازنده اصلی مدارهای مجتمع، باید با دقت و صحت بالا ساخته شوند. هرگونه اعوجاج یا حرکت در طول فرآیند می‌تواند منجر به نقص‌هایی شود که ممکن است بر کیفیت و عملکرد مدارهای مجتمع تأثیر بگذارد. میزهای گرانیتی با پایداری و صافی بالای خود، بستر مناسبی را برای تجهیزات پردازش ویفر فراهم می‌کنند. آنها همچنین در برابر انبساط و انقباض حرارتی ناشی از گرمایش و سرمایش مورد نیاز در فرآیند مقاوم هستند.
بلوک‌های گرانیتی همچنین به دلیل پایداری حرارتی‌شان در پردازش نیمه‌هادی‌ها مورد استفاده قرار می‌گیرند. در طول فرآیندهای اچینگ یا رسوب‌گذاری، از گازهای داغ یا پلاسما برای اصلاح سطح ویفر سیلیکونی استفاده می‌شود. دمای ویفر باید کنترل شود تا اطمینان حاصل شود که فرآیند به طور موثر و دقیق انجام می‌شود. بلوک‌های گرانیتی با ضریب انبساط حرارتی پایین خود، به تثبیت دمای ویفر کمک می‌کنند و خطر نوسانات دمایی را که می‌تواند بر کیفیت ماده فرآوری شده تأثیر بگذارد، کاهش می‌دهند.
گذشته از فرآیندهای ساخت و پردازش، اجزای گرانیتی در مراحل اندازه‌گیری و بازرسی تولید نیمه‌هادی نیز استفاده می‌شوند. اندازه‌گیری‌های اندازه‌گیری برای اطمینان از اینکه اندازه، شکل و موقعیت سازه‌ها روی ویفر در محدوده مشخصات مورد نیاز است، انجام می‌شود. بلوک‌های گرانیتی به دلیل پایداری ابعادی و دقتشان به عنوان استانداردهای مرجع در این اندازه‌گیری‌ها استفاده می‌شوند. آنها همچنین در مراحل بازرسی، جایی که کیفیت مدارهای مجتمع تحت بزرگنمایی بالا بررسی می‌شود، استفاده می‌شوند.
به طور کلی، استفاده از قطعات گرانیتی در تولید نیمه‌هادی‌ها در سال‌های اخیر افزایش یافته است. نیاز به دقت، صحت و پایداری بالا در ساخت و پردازش مدارهای مجتمع، باعث پذیرش این مواد توسط تولیدکنندگان نیمه‌هادی شده است. خواص منحصر به فرد گرانیت، مانند سختی، پایداری و ضریب انبساط حرارتی پایین، آن را به انتخابی عالی برای استفاده در این فرآیندها تبدیل می‌کند. با توسعه و بهبود مداوم فناوری نیمه‌هادی، انتظار می‌رود استفاده از قطعات گرانیتی در آینده بیشتر شود.
زمان ارسال: 5 دسامبر 2023