در تجهیزات تولید نیمههادی و اپتوالکترونیک، گرانیت عمدتاً در قطعات کلیدی مانند سکوهای حرکت دقیق، پایههای ریل راهنما، سازههای نگهدارنده ایزولاسیون ارتعاش و زیرلایههای نصب قطعات نوری استفاده میشود. این قطعات از نظر دقت، پایداری و تحمل محیطی الزامات بسیار بالایی دارند. ویژگیهای گرانیت میتواند دقیقاً نیازهای دقیق صنایع نیمههادی و اپتوالکترونیک را برآورده کند. در ادامه، تجزیه و تحلیل سناریوها و مزایای کاربرد خاص آمده است:
I. قطعات اصلی برنامه
پلتفرمهای حرکت دقیق (مانند پلتفرمهای ویفر برای دستگاههای لیتوگرافی نوری و دستگاههای اتصال)
از آن برای حمل اجزای دقیق مانند ویفرها و لنزهای نوری استفاده میشود و حرکات انتقالی و چرخشی را با دقت در مقیاس نانو انجام میدهد.
تجهیزات معمول: میز قطعه کار دستگاه فوتولیتوگرافی، سکوی موقعیتیابی تجهیزات اندازهگیری.
پایه ریل راهنما و ساختار قاب
به عنوان پایه نصب برای ریلهای خطی و ریلهای شناور هوا، از مکانیسم حرکت اصلی تجهیزات پشتیبانی میکند.
تجهیزات معمول: قابهای مکانیکی تجهیزات بستهبندی نیمههادی و ابزارهای بازرسی نوری.
تکیهگاه ایزولاسیون ارتعاش و سازه تثبیتکننده
این دستگاه برای ایزوله کردن ارتعاشات خارجی (مانند ارتعاشات از کف کارخانه یا در حین کار تجهیزات) استفاده میشود و پایداری سیستمهای نوری یا ماشینآلات دقیق را تضمین میکند.
سناریوهای معمول: پایه نگهدارنده برای میکروسکوپهای نوری و تداخلسنجهای لیزری.
بستر نصب قطعات نوری
برای اطمینان از پایداری بلندمدت دقت تراز سیستم مسیر نوری، دستگاههای نوری مانند آینهها، منشورها و لیزرها را ثابت کنید.
تجهیزات معمول: تجهیزات بستهبندی اپتوالکترونیکی، سیستمهای اتصال فیبر نوری.
زمان ارسال: ۲۹ مه ۲۰۲۵