گرانیت یکی از محبوب‌ترین مواد مورد استفاده در دستگاه‌های نیمه‌هادی است. این سنگ نوعی سنگ آذرین سخت است که در سایه‌های مختلف خاکستری، صورتی و سفید وجود دارد. گرانیت به دلیل دوام، ضریب انبساط حرارتی پایین و رسانایی حرارتی عالی شناخته شده است و آن را به ماده‌ای ایده‌آل برای استفاده در زیرسیستم‌های دستگاه‌های نیمه‌هادی تبدیل می‌کند.
یکی از زیرسیستم‌های اصلی که از گرانیت در دستگاه‌های نیمه‌هادی استفاده می‌کند، زیرسیستم جابجایی و پردازش ویفر است. این زیرسیستم نقش حیاتی در فرآیند تولید دستگاه‌های نیمه‌هادی ایفا می‌کند. ویفر، بستر اولیه دستگاه است و زیرسیستم جابجایی و پردازش، مسئول انتقال ویفرها بین محفظه‌ها و تجهیزات پردازش مختلف است. گرانیت برای ایجاد سطوح جابجایی ویفر بسیار دقیق و مسطح استفاده می‌شود و بستری پایدار برای پردازش ویفر فراهم می‌کند.
یکی دیگر از زیرسیستم‌های حیاتی که از گرانیت استفاده می‌کند، زیرسیستم خلاء است. در دستگاه‌های نیمه‌هادی، از محفظه‌های خلاء برای جلوگیری از آلودگی در طول تولید استفاده می‌شود. برای اینکه این سیستم به طور مؤثر کار کند، محفظه باید کاملاً آب‌بندی شود، که در اینجا گرانیت وارد عمل می‌شود. گرانیت ماده‌ای ایده‌آل برای محفظه‌های خلاء است زیرا میزان خروج گاز بسیار کمی دارد و می‌تواند یک محیط خلاء پایدار را حفظ کند. علاوه بر این، دقت بالای ماشینکاری گرانیت امکان ایجاد یک آب‌بندی کامل را فراهم می‌کند و یک محیط خلاء قابل اعتماد برای پردازش ویفر فراهم می‌کند.
زیرسیستم ترازبندی یکی دیگر از سیستم‌های حیاتی است که از خواص منحصر به فرد گرانیت استفاده می‌کند. این زیرسیستم مسئول ترازبندی دقیق و صحیح قطعات مختلف دستگاه‌های نیمه‌هادی است. گرانیت در طراحی و ساخت مراحل ترازبندی برای تضمین استحکام و پایداری بالا استفاده می‌شود. سختی بالای گرانیت به دستیابی به دقت ترازبندی بالا کمک می‌کند و منجر به تولید دستگاه‌های نیمه‌هادی بسیار دقیق و قابل اعتماد می‌شود.
در نهایت، زیرسیستم مترولوژی، سیستم دیگری از دستگاه‌های نیمه‌هادی است که از گرانیت استفاده می‌کند. مترولوژی نقش اساسی در پردازش ویفر ایفا می‌کند و دقت این زیرسیستم در تضمین کیفیت دستگاه بسیار مهم است. گرانیت یک پلتفرم پایدار و سفت فراهم می‌کند که به کاهش ارتعاشات و به حداقل رساندن اثر نوسانات دما کمک می‌کند. این به نوبه خود، به دستیابی به اندازه‌گیری‌های بسیار دقیق در زیرسیستم مترولوژی کمک می‌کند و منجر به تولید دستگاه‌های نیمه‌هادی با کیفیت بالا می‌شود.
در نتیجه، گرانیت ماده‌ای حیاتی در ساخت دستگاه‌های نیمه‌هادی است. خواص منحصر به فرد آن مانند استحکام بالا، انبساط حرارتی کم و رسانایی حرارتی عالی، آن را به ماده‌ای عالی برای چندین زیرسیستم در دستگاه‌های نیمه‌هادی، از جمله جابجایی و پردازش ویفر، زیرسیستم خلاء، زیرسیستم ترازبندی و زیرسیستم مترولوژی تبدیل کرده است. علاوه بر این، استفاده از گرانیت در دستگاه‌های نیمه‌هادی به تولید دستگاه‌های بسیار دقیق، قابل اعتماد و کارآمد کمک کرده است که صنایع متعددی را متحول کرده‌اند.
زمان ارسال: ۱۹ مارس ۲۰۲۴