در تجهیزات نیمه هادی معمولاً از بسترهای گرانیتی برای چه اجزای کلیدی استفاده می شود؟

بسترهای گرانیتی به دلیل خواص عالی مانند پایداری ابعادی بالا، سفتی بالا، انبساط حرارتی کم، خواص میرایی خوب و مقاومت بالا در برابر سایش و سایش، در تولید تجهیزات نیمه هادی بسیار ارجحیت دارند.آنها به طور گسترده در چندین جزء حیاتی در صنعت تولید تجهیزات نیمه هادی مانند سیستم های بازرسی ویفر، سیستم های اندازه گیری ویفر، سیستم های جابجایی ویفر و غیره استفاده می شوند.

سیستم های بازرسی ویفر
سیستم‌های بازرسی ویفر از بسترهای گرانیتی استفاده می‌کنند تا سطحی ثابت و صاف برای بازرسی ویفرهای نیمه‌رسانا فراهم کنند.تخت های گرانیتی به عنوان سکوی صحنه که ویفر را در حال بازرسی نگه می دارد استفاده می شود.صافی و استحکام بستر گرانیتی، بازرسی دقیق را تضمین می کند و در عین حال آسیب یا آلودگی به ویفر را به حداقل می رساند.تخت های گرانیتی همچنین به کاهش اثرات ارتعاشات محیطی و سایر عوامل خارجی کمک می کند.

سیستم های اندازه گیری ویفر
در سیستم های اندازه گیری ویفر، دقت بسیار مهم است.بسترهای گرانیتی به دلیل پایداری ابعادی عالی برای این منظور به طور گسترده مورد استفاده قرار می گیرند.آنها یک پایه سفت و سخت برای اندازه گیری دقیق ضخامت، شکل و ویژگی های سطح ویفر فراهم می کنند.تخت های گرانیتی همچنین در برابر سایش و سایش مقاوم هستند که آنها را برای استفاده مداوم در مدت طولانی ایده آل می کند.

سیستم های جابجایی ویفر
از تخت های گرانیتی در سیستم های جابجایی ویفر نیز استفاده می شود.در این سیستم ها از بسترهای گرانیتی به عنوان راهنمای دقیقی برای قرار دادن ویفر در طول فرآیند جابجایی استفاده می شود.سفتی و صافی بالای بستر گرانیتی، موقعیت دقیق و قابل تکرار ویفر را تضمین می کند و خطر آسیب را کاهش می دهد.

سایر اجزا
جدا از اجزای فوق، بسترهای گرانیتی در سایر بخش های حیاتی تولید تجهیزات نیمه هادی مانند پایه های مرحله، سازه های پشتیبانی و سایر قطعات با دقت بالا نیز استفاده می شوند.پایداری ابعادی بالای بسترهای گرانیتی به کاهش خطاهای ناشی از تغییر شکل قطعه، تغییرات حرارتی و ارتعاش کمک می کند.

نتیجه
در نتیجه، بسترهای گرانیتی یک جزء حیاتی در تولید تجهیزات نیمه هادی هستند زیرا پایداری ابعادی بالا، انبساط حرارتی کم و مقاومت عالی در برابر سایش و سایش را ارائه می دهند.آنها برای عملکرد دقیق، قابل تکرار و قابل اعتماد در سیستم های بازرسی ویفر، سیستم های اندازه گیری ویفر، سیستم های جابجایی ویفر و سایر تجهیزات با دقت بالا ضروری هستند.استفاده از تخت های گرانیتی تضمین می کند که سازندگان تجهیزات نیمه هادی می توانند محصولات با کیفیت بالا تولید کنند که استانداردهای دقیق مورد نیاز صنعت نیمه هادی مدرن را برآورده کند.