در تجهیزات نیمه هادی ، بسترهای گرانیتی معمولاً برای چه اجزای کلیدی استفاده می شوند؟

تخت های گرانیتی به دلیل خاصیت عالی مانند پایداری ابعاد بالا ، سفتی زیاد ، گسترش حرارتی کم ، خواص میرایی خوب و مقاومت زیاد در برابر سایش و سایش ، در ساخت تجهیزات نیمه هادی بسیار ترجیح داده می شوند. آنها به طور گسترده در چندین مؤلفه مهم در صنعت تولید تجهیزات نیمه هادی ، مانند سیستم های بازرسی ویفر ، سیستم های اندازه گیری ویفر ، سیستم های حمل ویفر و موارد دیگر مورد استفاده قرار می گیرند.

سیستم های بازرسی ویفر
سیستم های بازرسی ویفر از تخت های گرانیتی استفاده می کنند تا سطح پایدار و صاف برای بازرسی ویفرهای نیمه هادی فراهم کنند. از تخت های گرانیتی به عنوان سکوی مرحله ای استفاده می شود که ویفر را تحت بازرسی قرار می دهد. صاف بودن و استحکام بستر گرانیت ، بازرسی دقیق را در عین حال به حداقل رساندن آسیب یا آلودگی به ویفر تضمین می کند. تختخواب گرانیتی همچنین به کاهش اثرات ارتعاشات محیطی و سایر عوامل خارجی کمک می کند.

سیستم های اندازه گیری ویفر
در سیستم های اندازه گیری ویفر ، دقت بسیار مهم است. از تخت های گرانیتی به دلیل ثبات ابعادی عالی برای این منظور استفاده می شود. آنها یک پایه سفت و سخت برای اندازه گیری دقیق ضخامت ویفر ، شکل و ویژگی های سطح فراهم می کنند. تخت های گرانیتی نیز در برابر سایش و سایش مقاوم هستند و همین امر باعث می شود آنها برای استفاده مداوم در یک دوره طولانی ایده آل باشند.

سیستم های حمل ویفر
از تخت های گرانیتی نیز در سیستم های انتقال ویفر استفاده می شود. در این سیستم ها از تخت های گرانیتی به عنوان یک راهنمای دقیق برای قرار دادن ویفر در طی فرآیند استفاده استفاده می شود. سفتی و صاف بودن بالای بستر گرانیت ، موقعیت دقیق و تکرار شونده ویفر را تضمین می کند و خطر آسیب را کاهش می دهد.

سایر اجزای
جدا از مؤلفه های فوق ، از تخت های گرانیتی نیز در سایر قسمت های مهم تولید تجهیزات نیمه هادی مانند پایه های مرحله ، سازه های پشتیبانی و سایر قطعات با دقت بالا استفاده می شود. پایداری ابعادی بالای تختخواب گرانیتی به کاهش خطاهای ناشی از تغییر شکل بخشی ، تغییرات حرارتی و لرزش کمک می کند.

پایان
در نتیجه ، تختخواب گرانیتی یک مؤلفه مهم در تولید تجهیزات نیمه هادی است زیرا آنها ثبات ابعادی بالا ، گسترش حرارتی کم و مقاومت عالی در برابر سایش و سایش را ارائه می دهند. آنها برای عملکرد دقیق ، قابل تکرار و قابل اعتماد در سیستم های بازرسی ویفر ، سیستم های اندازه گیری ویفر ، سیستم های انتقال ویفر و سایر تجهیزات با دقت بالا ضروری هستند. استفاده از تختخواب گرانیتی تضمین می کند که تولید کنندگان تجهیزات نیمه هادی می توانند محصولات با کیفیت بالا تولید کنند که مطابق با استانداردهای دقیق مورد نیاز صنعت نیمه هادی مدرن باشد.