در دنیای تولید نیمه‌هادی‌ها، تجهیزات دقیق و درست برای تولید تراشه‌های با کیفیت بالا بسیار مهم هستند. بخش‌های متعددی از یک مرکز تولید نیمه‌هادی وجود دارد که باید از موادی با خواص خاص استفاده کنند تا عملکرد قابل اعتماد و با دقت بالا تضمین شود.
یکی از موادی که به یک جزء استاندارد در تجهیزات نیمه‌هادی تبدیل شده است، گرانیت است. گرانیت که به دلیل استحکام و پایداری‌اش شناخته می‌شود، ماده‌ای عالی برای ساخت و تولید قطعات مورد استفاده در تجهیزات نیمه‌هادی است. در اینجا برخی از قطعات تجهیزات نیمه‌هادی که معمولاً از مواد گرانیتی استفاده می‌کنند، آورده شده است:
۱. صفحات پایه
صفحات پایه تجهیزات نیمه‌هادی باید بسیار صاف و پایدار باشند تا ارتعاشات و تغییرات دما به حداقل برسد. و گرانیت یکی از معدود موادی است که می‌تواند این الزامات را برآورده کند. گرانیت یک ماده با ابعاد پایدار است که در برابر تاب برداشتن و انبساط حرارتی مقاومت می‌کند و تضمین می‌کند که صفحه پایه در طول زمان صافی خود را حفظ کند.
۲. مراحل
استیج‌ها اجزای حیاتی در تجهیزات نیمه‌هادی هستند که حرکات دقیقی را برای فرآیندهای تولیدی مانند موقعیت‌یابی ویفر، حکاکی و رسوب‌گذاری انجام می‌دهند. استیج‌های گرانیتی به دلیل سختی بالا، انبساط حرارتی کم و خواص میرایی عالی، به طور گسترده در تجهیزات نیمه‌هادی مورد استفاده قرار می‌گیرند. با استیج‌های گرانیتی، حرکات دقیق‌تر هستند و تجهیزات خطر خرابی کمتری دارند.
۳. راهنماهای خطی
ریل‌های خطی دستگاه‌های مکانیکی هستند که حرکت خطی را در امتداد دو ریل موازی فراهم می‌کنند. آنها باید بسیار پایدار و دقیق باشند و گرانیت ماده‌ای ایده‌آل برای این منظور است. خواص سختی بالا و میرایی گرانیت، آن را به انتخابی محبوب برای ریل‌های خطی مورد استفاده در تجهیزات نیمه‌هادی تبدیل کرده و پایداری و دقت را در فرآیند تولید تضمین می‌کند.
۴. چاک‌ها
از سه نظام‌ها برای نگه داشتن و قرار دادن ویفرها در طول فرآیندهای مختلف تولید استفاده می‌شود. سه نظام‌های گرانیتی به دلیل مسطح بودن و پایداری حرارتی‌شان محبوب هستند. به دلیل انبساط حرارتی کم گرانیت، سه نظام‌های ساخته شده از این ماده در معرض تغییرات دما تاب برنمی‌دارند یا ابعادشان تغییر نمی‌کند.
۵. صفحات بازرسی
صفحات بازرسی برای بررسی کیفیت محصولات تولید شده در تجهیزات نیمه هادی استفاده می‌شوند. این صفحات باید بسیار صاف و پایدار باشند و بتوانند نور را به طور دقیق منعکس کنند. بازتاب بالای گرانیت، صافی سطح و پایداری ابعادی آن را به انتخابی محبوب برای صفحات بازرسی در تجهیزات نیمه هادی تبدیل کرده است.
در نتیجه، عناصر گرانیتی به طور گسترده برای قطعات دقیق در تجهیزات نیمه‌هادی استفاده می‌شوند و پیش‌بینی می‌شود که به دلیل خواص عالی‌شان، استفاده از آنها گسترش یابد. عناصر گرانیتی با سختی بالا، انبساط حرارتی کم و خواص میرایی عالی، پایداری، دقت و تکرارپذیری لازم را برای انجام عملیات در مقیاس نانو در تجهیزات نیمه‌هادی فراهم می‌کنند. شرکت‌هایی که تجهیزات نیمه‌هادی با کیفیت بالا تولید می‌کنند، روی بهترین مواد سرمایه‌گذاری می‌کنند تا بهترین شانس موفقیت را برای محصولات خود فراهم کنند و گرانیت به دلیل خواص عالی و قابلیت اطمینان آن همچنان یک ماده پرطرفدار است.
زمان ارسال: ۱۹ مارس ۲۰۲۴