مواد گرانیتی به دلیل ویژگی های عالی مانند پایداری بالا ، گسترش حرارتی کم و مقاومت زیاد در برابر خوردگی ، در صنعت نیمه هادی مورد استفاده قرار می گیرند. این خصوصیات گرانیت را به عنوان یک ماده ایده آل برای ساختن اجزای با دقت بالا در یک سیستم انتقال ویفر تبدیل می کند.
در فرآیند تولید نیمه هادی ، سیستم انتقال ویفر نقش مهمی در انتقال ویفرها در مراحل مختلف فرآیند تولید دارد. دقت و دقت نیازهای اساسی برای این سیستم ها است زیرا حتی انحرافات جزئی نیز می تواند کل فرآیند را به خطر اندازد. بنابراین ، اجزای موجود در سیستم انتقال ویفر باید از مواد با کیفیت بالا تهیه شوند و گرانیت آن معیارها را رعایت می کند.
برخی از قسمت های سیستم انتقال ویفر که از مواد گرانیتی ساخته شده اند عبارتند از:
1. میز خلاء چاک
از جدول خلاء چاک برای نگه داشتن ویفر در طی فرآیند استفاده می شود و برای اطمینان از آسیب دیدن ویفر باید از سطح پایدار برخوردار باشد. گرانیت یک ماده ایده آل برای تهیه این جدول است زیرا دارای یک سطح مسطح و غیر متخلخل است که ثبات و دقت بالایی را فراهم می کند. علاوه بر این ، گرانیت ضریب کمتری از انبساط حرارتی دارد و آن را در برابر تغییرات دما مقاوم می کند که می تواند باعث ایجاد تغییرات بعدی در ویفر شود.
2. مرحله تحمل هوا
از مرحله تحمل هوا برای انتقال ویفر در مراحل مختلف فرآیند تولید استفاده می شود. این مرحله برای ارائه یک حرکت بدون اصطکاک ساخته شده است که به دقت و ثبات بالایی نیاز دارد. گرانیت در این برنامه استفاده می شود زیرا یک سنگ سفت و سخت است و با گذشت زمان در برابر تغییر شکل و سایش مقاومت می کند.
3. راهنماهای حرکت خطی
از راهنماهای حرکت خطی برای هدایت مرحله تحمل هوا استفاده می شود و برای به حداقل رساندن خطاها باید به طور دقیق قرار بگیرند. گرانیت برای ساخت این راهنما استفاده می شود زیرا از ثبات و قدرت مکانیکی بسیار خوبی برخوردار است. این ماده همچنین مقاوم در برابر خوردگی است که طول عمر سیستم راهنما را تضمین می کند.
4. تجهیزات اندازه گیری
تجهیزات اندازه گیری برای اندازه گیری ابعاد و خواص ویفر در طی فرآیند تولید استفاده می شود. گرانیت یک ماده ایده آل برای ساختن این تجهیزات است زیرا از سختی بالایی ، گسترش کم و حداقل تغییر شکل در زیر بار برخوردار است. علاوه بر این ، ثبات حرارتی گرانیت تضمین می کند که تجهیزات اندازه گیری با گذشت زمان پایدار و دقیق باقی می ماند.
در نتیجه ، صنعت نیمه هادی به دقت و دقت متکی است ، و مواد گرانیتی در فرآیند تولید بسیار قابل اعتماد و پایدار است. مهندسان با داشتن بسیاری از مؤلفه های مهم در سیستم انتقال ویفر که نیاز به پایداری ، دقت و گسترش حرارتی بالا دارند ، برای برآورده کردن این نیازهای مهم به مواد گرانیتی روی آورده اند.
زمان پست: مارس 19-2024