مواد گرانیتی در کدام قسمت های سیستم انتقال ویفر استفاده می شود؟

مواد گرانیتی به دلیل ویژگی های عالی مانند پایداری بالا، انبساط حرارتی کم و مقاومت بالا در برابر خوردگی به طور گسترده در صنعت نیمه هادی استفاده می شود.این ویژگی ها گرانیت را به ماده ای ایده آل برای ساخت قطعات با دقت بالا در سیستم انتقال ویفر تبدیل می کند.

در فرآیند تولید نیمه هادی، سیستم انتقال ویفر نقش مهمی در انتقال ویفرها در مراحل مختلف فرآیند تولید ایفا می کند.دقت و دقت الزامات ضروری برای این سیستم ها هستند، زیرا حتی انحرافات جزئی می تواند کل فرآیند را به خطر بیندازد.بنابراین، اجزای سیستم انتقال ویفر باید از مواد با کیفیت بالا ساخته شوند و گرانیت آن معیارها را برآورده می کند.

برخی از قسمت های سیستم انتقال ویفر که از مواد گرانیتی ساخته شده اند عبارتند از:

1. میز چاک وکیوم

میز چاک وکیوم برای نگه داشتن ویفر در طول فرآیند استفاده می شود و باید سطح ثابتی داشته باشد تا اطمینان حاصل شود که ویفر آسیب نمی بیند.گرانیت یک ماده ایده آل برای ساخت این میز است زیرا سطحی صاف و غیر متخلخل دارد که ثبات و دقت بالایی را فراهم می کند.علاوه بر این، گرانیت دارای ضریب انبساط حرارتی پایینی است که آن را در برابر تغییرات دما که می تواند باعث تغییرات ابعادی در ویفر شود، مقاوم می کند.

2. مرحله تحمل هوا

مرحله تحمل هوا برای انتقال ویفر در مراحل مختلف فرآیند تولید استفاده می شود.این مرحله به گونه ای طراحی شده است که حرکتی بدون اصطکاک را ارائه دهد که به دقت و پایداری بالایی نیاز دارد.از گرانیت در این کاربرد استفاده می شود زیرا سنگی سفت و سخت است و در برابر تغییر شکل و سایش در طول زمان مقاومت می کند.

3. راهنماهای حرکت خطی

راهنماهای حرکت خطی برای هدایت مرحله تحمل هوا مورد استفاده قرار می گیرند و باید به طور دقیق در محل قرار گیرند تا خطاها به حداقل برسد.برای ساخت این راهنما از گرانیت استفاده می شود زیرا پایداری و استحکام مکانیکی عالی دارد.این ماده همچنین در برابر خوردگی مقاوم است که طول عمر سیستم راهنما را تضمین می کند.

4. تجهیزات اندازه گیری

تجهیزات اندازه گیری برای اندازه گیری ابعاد و خواص ویفر در طول فرآیند تولید استفاده می شود.گرانیت یک ماده ایده آل برای ساخت این تجهیزات است زیرا دارای سختی بالا، انبساط کم و حداقل تغییر شکل تحت بار است.علاوه بر این، پایداری حرارتی گرانیت تضمین می کند که تجهیزات اندازه گیری در طول زمان پایدار و دقیق باقی می مانند.

در نتیجه، صنعت نیمه هادی بر دقت و صحت متکی است و مواد گرانیتی ثابت کرده اند که در فرآیند تولید بسیار قابل اعتماد و پایدار هستند.با توجه به بسیاری از اجزای حیاتی در سیستم انتقال ویفر که به پایداری بالا، دقت و انبساط حرارتی کم نیاز دارند، مهندسان برای برآورده کردن این الزامات حیاتی به مواد گرانیت روی آورده‌اند.