مواد گرانیتی به دلیل ویژگی‌های عالی خود، مانند پایداری بالا، انبساط حرارتی کم و مقاومت بالا در برابر خوردگی، به طور گسترده در صنعت نیمه‌هادی مورد استفاده قرار می‌گیرند. این خواص، گرانیت را به ماده‌ای ایده‌آل برای ساخت قطعات با دقت بالا در سیستم انتقال ویفر تبدیل می‌کند.
در فرآیند تولید نیمه‌هادی، سیستم انتقال ویفر نقش مهمی در انتقال ویفرها در مراحل مختلف فرآیند تولید ایفا می‌کند. دقت و صحت از الزامات اساسی این سیستم‌ها هستند، زیرا حتی انحرافات جزئی می‌تواند کل فرآیند را به خطر بیندازد. بنابراین، اجزای سیستم انتقال ویفر باید از مواد با کیفیت بالا ساخته شوند و گرانیت این معیارها را برآورده می‌کند.
برخی از قطعات سیستم انتقال ویفر که از مواد گرانیتی ساخته شده‌اند عبارتند از:
۱. میز جاروبرقی
میز وکیوم چاک برای نگه داشتن ویفر در طول فرآیند استفاده می‌شود و باید سطح پایداری داشته باشد تا از آسیب ندیدن ویفر اطمینان حاصل شود. گرانیت ماده‌ای ایده‌آل برای ساخت این میز است زیرا دارای سطحی صاف و غیر متخلخل است که پایداری و دقت بالایی را فراهم می‌کند. علاوه بر این، گرانیت ضریب انبساط حرارتی پایینی دارد و آن را در برابر تغییرات دما که می‌تواند باعث تغییرات ابعادی در ویفر شود، مقاوم می‌کند.
۲. مرحله تحمل هوا
مرحله‌ی یاتاقان هوایی برای انتقال ویفر از مراحل مختلف فرآیند تولید استفاده می‌شود. این مرحله به گونه‌ای مهندسی شده است که حرکتی بدون اصطکاک را فراهم کند که نیازمند دقت و پایداری بالا است. گرانیت در این کاربرد استفاده می‌شود زیرا سنگی سفت و سخت است و در برابر تغییر شکل و سایش در طول زمان مقاومت می‌کند.
۳. راهنماهای حرکت خطی
از ریل‌های حرکت خطی برای هدایت مرحله‌ی یاتاقان هوایی استفاده می‌شود و باید به طور دقیق در موقعیت مناسب قرار گیرند تا خطاها به حداقل برسند. برای ساخت این ریل از گرانیت استفاده می‌شود زیرا از پایداری مکانیکی و استحکام عالی برخوردار است. این ماده همچنین در برابر خوردگی مقاوم است که طول عمر سیستم ریل را تضمین می‌کند.
۴. تجهیزات مترولوژی
تجهیزات مترولوژی برای اندازه‌گیری ابعاد و خواص ویفر در طول فرآیند تولید استفاده می‌شوند. گرانیت ماده‌ای ایده‌آل برای ساخت این تجهیزات است زیرا دارای سختی بالا، انبساط کم و حداقل تغییر شکل تحت بار است. علاوه بر این، پایداری حرارتی گرانیت تضمین می‌کند که تجهیزات مترولوژی در طول زمان پایدار و دقیق باقی می‌مانند.
در نتیجه، صنعت نیمه‌هادی به دقت و صحت متکی است و مواد گرانیتی در فرآیند تولید بسیار قابل اعتماد و پایدار بوده‌اند. با توجه به اینکه بسیاری از اجزای حیاتی در سیستم انتقال ویفر نیاز به پایداری بالا، دقت و انبساط حرارتی کم دارند، مهندسان برای برآورده کردن این نیازهای حیاتی به مواد گرانیتی روی آورده‌اند.
زمان ارسال: ۱۹ مارس ۲۰۲۴