بستر گرانیتی یک جزء مهم در دستگاه‌های نیمه‌هادی مختلف است. گرانیت به عنوان یک ماده بسیار پایدار و سفت و سخت، به طور گسترده به عنوان پایه برای تجهیزات پردازش نیمه‌هادی مورد استفاده قرار می‌گیرد. این ماده با ضریب انبساط حرارتی پایین، پایداری ابعادی بالا و خواص مکانیکی عالی مشخص می‌شود. به دلیل این خواص، بستر گرانیتی بیشتر در سه نوع مختلف از دستگاه‌های نیمه‌هادی استفاده می‌شود - تجهیزات مترولوژی، تجهیزات لیتوگرافی و تجهیزات بازرسی.
تجهیزات مترولوژی برای اندازه‌گیری و تشخیص ابعاد بحرانی دستگاه‌های نیمه‌هادی استفاده می‌شوند. این تجهیزات نقش حیاتی در حفظ کیفیت و ثبات فرآیند تولید نیمه‌هادی ایفا می‌کنند. تجهیزات مترولوژی شامل ابزارهایی مانند میکروسکوپ‌های نوری، میکروسکوپ‌های الکترونی و میکروسکوپ‌های نیروی اتمی (AFM) می‌شود. از آنجایی که عملکرد این ابزارهای اندازه‌گیری به پایداری، دقت و مقاومت در برابر ارتعاش آنها بستگی دارد، گرانیت انتخاب ایده‌آلی برای جنس بستر آنهاست. یکنواختی و پایداری بستر گرانیت، بستری پایدار برای ابزارها فراهم می‌کند که دقت و قابلیت اطمینان آنها را افزایش می‌دهد.
تجهیزات لیتوگرافی برای ایجاد الگوهای ریزتراشه روی ویفر استفاده می‌شوند. فرآیند لیتوگرافی برای ایجاد مدارهای پیچیده و بهبود عملکرد تراشه به سطح بالایی از دقت و صحت نیاز دارد. تجهیزات لیتوگرافی شامل سیستم‌های پله‌ای و اسکنر است که از نور برای انتقال تصاویر روی ویفر استفاده می‌کنند. از آنجایی که فرآیند لیتوگرافی به ارتعاش و تغییرات حرارتی بسیار حساس است، یک بستر با کیفیت بالا برای اطمینان از پایداری و تکرارپذیری فرآیند لیتوگرافی ضروری است. بسترهای گرانیتی پایداری مورد نیاز و عملکرد میرایی ارتعاش دقیق را برای سیستم‌های لیتوگرافی فراهم می‌کنند. بستر گرانیتی به سیستم پله‌ای یا اسکنر اجازه می‌دهد تا روابط مکانی دقیقی را حفظ کند که دقت بالا و کیفیت محصول نهایی را تضمین می‌کند.
تجهیزات بازرسی برای تشخیص هرگونه نقص در دستگاه‌های نیمه‌هادی استفاده می‌شوند. تجهیزات بازرسی شامل سیستم‌هایی مانند میکروسکوپ‌های اسکن لیزری، میکروسکوپ‌های الکترونی و میکروسکوپ‌های نوری است. با توجه به نیاز به دقت بالا، پایداری و مقاومت در برابر لرزش در این دستگاه‌ها، تخت‌های گرانیتی ماده‌ای ایده‌آل هستند. خواص مکانیکی و پایداری ابعادی گرانیت به جداسازی لرزش کمک می‌کند که دقت خروجی تجهیزات بازرسی را افزایش می‌دهد.
در نتیجه، بستر گرانیتی برای صنعت نیمه‌هادی بسیار مهم است و به طور گسترده در انواع مختلف تجهیزات مورد استفاده قرار می‌گیرد. خواص منحصر به فرد آن مانند پایداری ابعادی، ضریب انبساط حرارتی پایین و پایداری مکانیکی عالی، گرانیت را به انتخابی ایده‌آل برای ماده بستر تجهیزات نیمه‌هادی تبدیل می‌کند. از آنجایی که بستر گرانیتی با کیفیت بالا، پایداری، دقت و مقاومت در برابر ارتعاش لازم را برای تجهیزات نیمه‌هادی فراهم می‌کند، در نهایت کیفیت محصول نهایی را بهبود می‌بخشد. بنابراین، استفاده از بستر گرانیتی در تجهیزات نیمه‌هادی مطمئناً برای سال‌های آینده ادامه خواهد یافت.
زمان ارسال: آوریل-03-2024