در زنجیره دقیق تولید نیمه‌هادی، سیستم انتقال ویفر مانند "شریان حیاتی خط تولید تراشه" است و پایداری و دقت آن مستقیماً میزان بازده تراشه‌ها را تعیین می‌کند. نسل جدید سیستم‌های انتقال ویفر به طور انقلابی موتورهای خطی را با پایه‌های گرانیتی ترکیب می‌کند و مزایای منحصر به فرد مواد گرانیتی دقیقاً رمز اصلی برای باز کردن انتقال با کارایی بالا است.
...
پایه گرانیتی: ایجاد یک "پایه محکم" برای انتقال پایدار
گرانیت، که صدها میلیون سال پالایش زمین‌شناسی را پشت سر گذاشته است، دارای تبلور معدنی داخلی متراکم و یکنواخت است. این ویژگی طبیعی، آن را به یک ماده پایه ایده‌آل برای سیستم‌های انتقال ویفر تبدیل می‌کند. در محیط پیچیده اتاق‌های تمیز نیمه‌هادی، گرانیت با ضریب انبساط حرارتی بسیار پایین خود (فقط 5-7 × 10⁻⁶/℃)، می‌تواند در برابر گرمای تولید شده در حین کار تجهیزات و تأثیر تغییرات دمای محیط مقاومت کند و پایداری اندازه پایه را تضمین کرده و از انحراف مسیر انتقال ناشی از تغییر شکل حرارتی جلوگیری کند. عملکرد فوق‌العاده میرایی ارتعاش آن می‌تواند به سرعت ارتعاشات مکانیکی تولید شده در حین راه‌اندازی، خاموش شدن و شتاب‌گیری موتورهای خطی و همچنین تداخلات خارجی ناشی از کار سایر تجهیزات در کارگاه را جذب کند و بستری پایدار با "لرزش صفر" برای انتقال ویفر فراهم کند.
در همین حال، پایداری شیمیایی گرانیت تضمین می‌کند که در کارگاه‌های نیمه‌هادی که معرف‌های اسیدی و قلیایی فرار هستند و تمیزی بالایی مورد نیاز است، دچار خوردگی یا زنگ‌زدگی نشود، بنابراین از تأثیر بر دقت انتقال به دلیل پیری مواد یا جذب آلاینده‌ها جلوگیری می‌شود. ویژگی‌های سطح صاف و متراکم می‌تواند چسبندگی گرد و غبار را به طور مؤثرتری کاهش دهد، استانداردهای سختگیرانه اتاق‌های تمیز را برآورده کند و خطر آلودگی ویفر از ریشه را از بین ببرد.
اثر «مشارکت طلایی» موتورهای خطی و گرانیت
موتورهای خطی، با ویژگی‌های عدم نیاز به لقی مکانیکی در انتقال، شتاب بالا و سرعت پاسخ بالا، به انتقال ویفر مزایای "سریع، دقیق و پایدار" را می‌دهند. پایه گرانیتی یک سکوی پشتیبانی محکم و قابل اعتماد برای آن فراهم می‌کند. این دو با هم کار می‌کنند تا به جهشی در عملکرد دست یابند. هنگامی که موتور خطی، حامل ویفر را برای حرکت روی مسیر پایه گرانیتی هدایت می‌کند، استحکام و پایداری قوی پایه، انتقال کارآمد نیروی محرکه موتور را تضمین می‌کند و از اتلاف نیرو یا تأخیر انتقال ناشی از تغییر شکل پایه جلوگیری می‌کند.
با توجه به تقاضا برای دقت در مقیاس نانو، موتورهای خطی می‌توانند به کنترل جابجایی در سطح زیر میکرون دست یابند. ویژگی‌های پردازشی با دقت بالای پایه‌های گرانیتی (با خطاهای مسطح بودن کنترل شده در محدوده ±1μm) کاملاً با کنترل دقیق موتورهای خطی مطابقت دارد و به طور مشترک تضمین می‌کند که خطای موقعیت‌یابی در هنگام انتقال ویفر کمتر از ±5μm باشد. چه در حال رفت و آمد با سرعت بالا بین تجهیزات مختلف فرآیندی باشیم و چه در حال پارک دقیق برای تحویل ویفر، ترکیب موتورهای خطی و پایه‌های گرانیتی می‌تواند "انحراف صفر و لرزش صفر" را در انتقال ویفر تضمین کند.
تأیید عملکرد صنعت: بهبود دوگانه در بهره‌وری و نرخ بازده
یک شرکت پیشرو در زمینه نیمه‌هادی جهانی، پس از ارتقاء سیستم انتقال ویفر خود، یک راهکار موتور خطی + پایه گرانیتی را اتخاذ کرد که راندمان انتقال ویفر را تا 40 درصد افزایش داد، میزان وقوع خطاهایی مانند برخورد و آفست را در طول فرآیند انتقال تا 85 درصد کاهش داد و نرخ بازده کلی تراشه‌ها را 6 درصد بهبود بخشید. در پشت این داده‌ها، تضمین پایداری انتقال ارائه شده توسط پایه گرانیتی و اثر هم‌افزایی پرسرعت و دقیق موتور خطی نهفته است که به طور قابل توجهی تلفات و خطا در فرآیند انتقال ویفر را کاهش می‌دهد.
از خواص مواد گرفته تا تولید دقیق، از مزایای عملکرد گرفته تا تأیید عملی، ترکیب موتورهای خطی و پایه‌های گرانیتی، استانداردهای سیستم‌های انتقال ویفر را از نو تعریف کرده است. در آینده‌ای که فناوری نیمه‌هادی‌ها به سمت فرآیندهای ۳ نانومتری و ۲ نانومتری پیشرفت کند، مواد گرانیتی مطمئناً با مزایای غیرقابل جایگزین خود، انگیزه قوی را به توسعه صنعت تزریق خواهند کرد.
زمان ارسال: ۱۴ مه ۲۰۲۵