اگرچه یک پلتفرم گرانیتی ممکن است مانند یک تخته سنگ ساده به نظر برسد، اما معیارهای انتخاب هنگام حرکت از کاربردهای صنعتی معمولی به بازرسی نوری و مترولوژی با ریسک بالا به طور چشمگیری تغییر میکنند. برای ZHHIMG®، تأمین قطعات دقیق برای رهبران جهان در فناوری نیمههادی و لیزر به معنای شناخت این است که یک پلتفرم برای اندازهگیری نوری فقط یک پایه نیست - بلکه بخشی جداییناپذیر و غیرقابل مذاکره از خود سیستم نوری است.
الزامات بازرسی نوری - که شامل تصویربرداری با بزرگنمایی بالا، اسکن لیزری و تداخلسنجی است - با نیاز به حذف تمام منابع نویز اندازهگیری تعریف میشوند. این امر منجر به تمرکز بر سه ویژگی خاص میشود که یک پلتفرم نوری واقعی را از یک پلتفرم صنعتی استاندارد متمایز میکند.
۱. چگالی برتر برای میرایی ارتعاش بینظیر
برای پایههای استاندارد صنعتی CNC، چدن یا گرانیت معمولی ممکن است سختی کافی را ارائه دهند. با این حال، چیدمانهای نوری به شدت به جابجاییهای جزئی ناشی از ارتعاشات خارجی تجهیزات کارخانه، سیستمهای تهویه هوا یا حتی ترافیک دوردست حساس هستند.
اینجاست که علم مواد اهمیت پیدا میکند. یک پلتفرم نوری به گرانیتی با میرایی ذاتی استثنایی نیاز دارد. ZHHIMG® از گرانیت مشکی اختصاصی خود با نام ZHHIMG® (حدود ۳۱۰۰ کیلوگرم بر متر مکعب) استفاده میکند. این ماده با چگالی فوقالعاده بالا، برخلاف گرانیت یا جایگزینهای مرمر درجه پایینتر، دارای ساختار کریستالی است که در اتلاف انرژی مکانیکی بسیار کارآمد است. هدف فقط کاهش لرزش نیست، بلکه اطمینان از این است که پایه یک کف مکانیکی کاملاً بیصدا باقی بماند و حرکت نسبی بین لنز شیئی و نمونه بازرسی شده در سطح زیر میکرون به حداقل برسد.
۲. پایداری حرارتی شدید برای مقابله با رانش
پلتفرمهای صنعتی استاندارد، تغییرات جزئی ابعادی را تحمل میکنند؛ یک دهم درجه سانتیگراد ممکن است برای حفاری مهم نباشد. اما در سیستمهای نوری که اندازهگیریهای دقیقی را در دورههای طولانی انجام میدهند، هرگونه رانش حرارتی در هندسه پایه، خطای سیستماتیک ایجاد میکند.
برای بازرسی نوری، یک پلتفرم باید به عنوان یک سینک حرارتی با ضریب انبساط حرارتی (CTE) فوقالعاده پایین عمل کند. جرم و چگالی برتر گرانیت مشکی ZHHIMG®، اینرسی حرارتی لازم را برای مقاومت در برابر انبساطها و انقباضهای جزئی که میتوانند در یک اتاق با دمای کنترلشده رخ دهند، فراهم میکند. این پایداری تضمین میکند که فاصله فوکوس کالیبره شده و تراز مسطح اجزای نوری ثابت باقی میمانند و یکپارچگی اندازهگیریها را در طول ساعتها تضمین میکند - یک عامل غیرقابل مذاکره برای بازرسی ویفر با وضوح بالا یا مترولوژی صفحه نمایش تخت.
۳. دستیابی به صافی در سطح نانو و دقت هندسی
بارزترین تفاوت، الزام به مسطح بودن است. در حالی که یک پایه صنعتی معمولی ممکن است مسطح بودن درجه ۱ یا درجه ۰ (که در حد چند میکرون اندازهگیری میشود) را داشته باشد، سیستمهای نوری به دقتی در محدوده نانومتر نیاز دارند. این سطح از کمال هندسی برای ارائه یک صفحه مرجع قابل اعتماد برای مراحل خطی و سیستمهای فوکوس خودکار که بر اساس اصول تداخل نور عمل میکنند، ضروری است.
دستیابی و تأیید مسطح بودن در سطح نانومتر نیازمند یک رویکرد تولیدی کاملاً متفاوت است. این امر مستلزم تکنیکهای بسیار تخصصی با استفاده از ماشینآلات پیشرفته مانند آسیابهای نانتر تایوان است و توسط تجهیزات اندازهگیری پیشرفته مانند تداخلسنجهای لیزری رنیشاو تأیید میشود. این فرآیند باید در یک محیط فوقالعاده پایدار، مانند کارگاههای ZHHIMG® که دارای لرزشگیر و شرایط آب و هوایی کنترلشده هستند، انجام شود، جایی که حتی حرکات ظریف هوا نیز به حداقل میرسد.
در اصل، انتخاب یک پلتفرم دقیق گرانیت برای بازرسی نوری، تصمیمی برای سرمایهگذاری در قطعهای است که به طور فعال دقت اندازهگیری نوری را تضمین میکند. این امر مستلزم همکاری با تولیدکنندهای است که گواهینامه ISO 9001 و قابلیت ردیابی ابعادی جامع را نه به عنوان ویژگیهای اختیاری، بلکه به عنوان الزامات اساسی برای ورود به دنیای اپتیک فوق دقیق میبیند.
زمان ارسال: ۲۱ اکتبر ۲۰۲۵