در مرز تولید دقیق و تحقیقات علمی، تقاضا برای کنترل حرکت فوق دقیق روز به روز در حال افزایش است. به عنوان تجهیزات کلیدی برای دستیابی به حرکت خطی با دقت بالا، عملکرد ماژول شناور هوای تک محوره فوق دقیق مستقیماً بر کیفیت محصول نهایی و دقت نتایج تحقیقات علمی تأثیر میگذارد. در میان عوامل تأثیرگذار متعدد، استفاده از پایه گرانیتی به آن مزیت بینظیری میدهد و به عنصر اصلی برای تضمین دقت عالی تبدیل میشود.
گرانیت، پس از میلیونها سال تغییرات زمینشناسی، ساختار داخلی بسیار متراکم و یکنواختی دارد. این ماده عمدتاً از کوارتز، فلدسپات و سایر مواد معدنی تشکیل شده است و این ترکیب منحصر به فرد مواد، خواص فیزیکی بسیار خوبی به گرانیت میدهد. هنگامی که گرانیت به عنوان پایه یک ماژول حرکتی فوق دقیق شناور هوای تک محوره استفاده میشود، ابتدا پایداری بسیار بالایی از خود نشان میدهد. در مقایسه با پایههای فلزی رایج، پایههای گرانیتی مقاومت تغییر شکل قویتری در مواجهه با اختلالات محیطی خارجی مانند نوسانات دما و ارتعاش مکانیکی نشان میدهند. در فرآیند تولید تراشههای الکترونیکی، دقت موقعیتیابی لیتوگرافی تراشه باید به سطح نانومتر برسد. در کارگاه تولید، ارتعاش ایجاد شده توسط عملکرد تجهیزات بزرگ و تغییرات جزئی در دمای محیط ممکن است بر دقت حرکت تجهیزات لیتوگرافی تأثیر بگذارد. ماژول حرکتی فوق دقیق شناور هوای تک محوره با پایه گرانیتی میتواند به طور مؤثر ارتعاش خارجی را تضعیف کرده و دامنه ارتعاش منتقل شده به ماژول حرکتی را بیش از 80٪ کاهش دهد. در عین حال، ضریب انبساط حرارتی بسیار پایین آن باعث میشود که اندازه پایه با تغییر دما بسیار کم تغییر کند و این امر تضمین میکند که ماژول حرکت شناور هوا همچنان میتواند دقت حرکت پایدار را در یک محیط پیچیده حفظ کند، مبنای موقعیتیابی دقیقی را برای لیتوگرافی تراشه فراهم کند و بازده تولید تراشه را تا حد زیادی بهبود بخشد.
علاوه بر این، گرانیت مقاومت خوبی در برابر سایش دارد. در فرآیند حرکت رفت و برگشتی مکرر ماژول شناور هوای تک محوره فوق دقیق، اگرچه یک لایه محافظ گاز بین لغزنده شناور هوا و پایه وجود دارد، اما استفاده طولانی مدت به ناچار درجه خاصی از اصطکاک را ایجاد میکند. پایه گرانیتی با ویژگیهای سختی بالای خود، میتواند به طور مؤثر در برابر سایش ناشی از این اصطکاک مقاومت کند و عمر مفید ماژول حرکتی را افزایش دهد. در آزمایشگاه تحقیقات علمی دانشگاهها، تجهیزات آزمایشگاهی مورد استفاده برای تشخیص ذرات ریز، برای دستیابی به تعداد زیادی از دادههای تجربی دقیق، به ماژول حرکتی فوق دقیق شناور هوای تک محوره نیاز دارند تا برای مدت طولانی به طور پایدار کار کند. مقاومت بالای سایش پایه گرانیتی تضمین میکند که دقت ماژول حرکتی پس از مدت زمان طولانی استفاده، همچنان در سطح دقت بالای اولیه حفظ شود و تضمین قابل اعتمادی برای تداوم و دقت کار تحقیقاتی علمی ارائه دهد و به محققان کمک کند تا رمز و راز دنیای میکروسکوپی را عمیقاً کشف کنند.
ماژول حرکت فوق دقیق شناور هوای تک محوره با پایه گرانیتی مانند یک "ناوبری" دقیق برای تولید دقیق و تحقیقات علمی است. پایه گرانیتی با پایداری عالی و مقاومت در برابر سایش، برای حرکت با دقت بالای ماژول حرکت شناور هوا، تکیهگاه محکمی فراهم میکند و در تولید نیمههادیها، تولید ابزارهای نوری، تحقیقات علمی پیشرفته و بسیاری از نیازهای دقیق دیگر در این زمینه، نقش مهم و غیرقابل جایگزینی ایفا میکند و صنعت را به سمت دقت بالاتر و کیفیت بالاتر سوق میدهد.
زمان ارسال: آوریل-07-2025