الزامات ویژه برای سکوهای گرانیتی بازرسی نوری

انتخاب یک پلتفرم دقیق گرانیت برای کاربردهای پیشرفته هرگز انتخاب ساده‌ای نیست، اما وقتی کاربرد شامل بازرسی نوری باشد - مانند میکروسکوپ با بزرگنمایی بالا، بازرسی نوری خودکار (AOI) یا اندازه‌گیری لیزری پیشرفته - الزامات بسیار فراتر از موارد استفاده صنعتی معمولی می‌رود. تولیدکنندگانی مانند ZHHIMG® می‌دانند که خود پلتفرم به بخشی جدایی‌ناپذیر از سیستم نوری تبدیل می‌شود و خواستار خواصی است که نویز را به حداقل و یکپارچگی اندازه‌گیری را به حداکثر برساند.

نیازهای حرارتی و ارتعاشی فوتونیک

برای اکثر پایه‌های ماشین‌آلات صنعتی، نگرانی‌های اصلی ظرفیت بار و صافی اولیه (که اغلب با میکرون اندازه‌گیری می‌شود) است. با این حال، سیستم‌های نوری - که اساساً به تغییرات موقعیتی جزئی حساس هستند - نیاز به دقت اندازه‌گیری شده در محدوده زیر میکرون یا نانومتر دارند. این امر مستلزم یک پلتفرم گرانیتی با درجه برتر است که برای مقابله با دو دشمن مهم محیطی طراحی شده باشد: رانش حرارتی و لرزش.

بازرسی نوری اغلب شامل زمان‌های اسکن یا نوردهی طولانی است. در طول این دوره، هرگونه تغییر در ابعاد سکو به دلیل نوسان دما - که به عنوان رانش حرارتی شناخته می‌شود - مستقیماً خطای اندازه‌گیری را ایجاد می‌کند. اینجاست که گرانیت سیاه با چگالی بالا، مانند گرانیت سیاه اختصاصی ZHHIMG® (≈ 3100 کیلوگرم بر متر مکعب)، ضروری می‌شود. چگالی بالا و ضریب انبساط حرارتی پایین آن تضمین می‌کند که پایه حتی در محیط‌هایی با نوسانات جزئی دما، از نظر ابعادی پایدار باقی بماند. یک پایه گرانیتی معمولی به سادگی نمی‌تواند این سطح از اینرسی حرارتی را ارائه دهد، و آن را برای تصویربرداری یا تنظیمات تداخل‌سنجی نامناسب می‌کند.

ضرورت میرایی ذاتی و فوق تختی

لرزش چالش بزرگ دیگر است. سیستم‌های نوری به فاصله بسیار دقیقی بین حسگر (دوربین/آشکارساز) و نمونه متکی هستند. لرزش‌های خارجی (ناشی از ماشین‌آلات کارخانه، سیستم‌های تهویه مطبوع یا حتی ترافیک دور) می‌توانند باعث حرکت نسبی، تار شدن تصاویر یا بی‌اعتبار شدن داده‌های مترولوژی شوند. در حالی که سیستم‌های ایزولاسیون هوا می‌توانند نویز فرکانس پایین را فیلتر کنند، خود پلتفرم باید دارای میرایی ذاتی بالای مواد باشد. ساختار کریستالی گرانیت درجه یک و با چگالی بالا در از بین بردن لرزش‌های باقیمانده فرکانس بالا بسیار بهتر از پایه‌های فلزی یا کامپوزیت‌های سنگی درجه پایین عمل می‌کند و یک کف مکانیکی واقعاً بی‌صدا برای اپتیک ایجاد می‌کند.

علاوه بر این، الزام به مسطح بودن و موازی بودن به طور چشمگیری افزایش یافته است. برای ابزار استاندارد، مسطح بودن درجه 0 یا درجه 00 ممکن است کافی باشد. برای بازرسی نوری، که در آن الگوریتم‌های فوکوس خودکار و دوخت درگیر هستند، پلتفرم اغلب باید به مسطح بودن قابل اندازه‌گیری در مقیاس نانومتر دست یابد. این سطح از دقت هندسی تنها از طریق فرآیندهای تولید تخصصی با استفاده از ماشین‌های دقیق پرداخت و به دنبال آن تأیید با استفاده از ابزارهای پیشرفته مانند تداخل‌سنج‌های لیزری Renishaw و تأیید شده توسط استانداردهای شناخته شده جهانی (به عنوان مثال، DIN 876، ASME و تأیید شده توسط متخصصان معتبر مترولوژی) امکان‌پذیر است.

گرانیت برای مترولوژی

صداقت در تولید: مهر اعتماد

فراتر از علم مواد، یکپارچگی ساختاری پایه - شامل محل دقیق و ترازبندی درج‌های نصب، سوراخ‌های ضربه‌ای و محفظه‌های یاتاقان هوای یکپارچه - باید تلرانس‌های سطح هوافضا را برآورده کند. برای شرکت‌هایی که به تولیدکنندگان تجهیزات اصلی نوری (OEM) جهانی تأمین می‌دهند، اعتباربخشی شخص ثالث به عنوان مدرک غیرقابل مذاکره‌ای از فرآیند عمل می‌کند. داشتن گواهینامه‌های جامع مانند ISO 9001، ISO 14001 و CE - همانطور که ZHHIMG® دارد - به مدیر تدارکات و مهندس طراح اطمینان می‌دهد که کل گردش کار تولید، از معدن تا بازرسی نهایی، مطابق با استانداردهای جهانی و قابل تکرار است. این امر ریسک کم و قابلیت اطمینان بالا را برای تجهیزاتی که برای کاربردهای با ارزش بالا مانند بازرسی صفحه نمایش تخت یا لیتوگرافی نیمه‌هادی در نظر گرفته شده‌اند، تضمین می‌کند.

به طور خلاصه، انتخاب یک پلتفرم دقیق گرانیت برای بازرسی نوری فقط انتخاب یک قطعه سنگ نیست؛ بلکه سرمایه‌گذاری روی یک جزء اساسی است که به طور فعال در پایداری، کنترل حرارتی و دقت نهایی سیستم اندازه‌گیری نوری نقش دارد. این محیط دشوار نیازمند شریکی با مواد برتر، توانایی اثبات شده و اعتبار جهانی معتبر است.


زمان ارسال: ۲۱ اکتبر ۲۰۲۵