...
در صنعت نیمه‌هادی، بازرسی ویفر یک حلقه کلیدی برای اطمینان از کیفیت و عملکرد تراشه است و دقت و پایداری میز بازرسی نقش تعیین‌کننده‌ای در نتایج تشخیص دارد. پایه گرانیتی با ویژگی‌های منحصر به فرد خود، به انتخابی ایده‌آل برای میز بازرسی ویفر نیمه‌هادی تبدیل شده است، که در ادامه از تحلیل چند بعدی برای شما آورده شده است.
اول، بعد تضمین دقت
۱. صافی و راستی فوق‌العاده بالا: پایه گرانیتی با فناوری پردازش پیشرفته پردازش می‌شود و صافی می‌تواند به دقت ±۰.۰۰۱ میلی‌متر بر متر یا حتی بالاتر برسد و راستی نیز عالی است. در فرآیند بازرسی ویفر، صفحه با دقت بالا، تکیه‌گاه پایداری برای ویفر فراهم می‌کند و تماس دقیق بین پروب تجهیزات بازرسی و اتصالات لحیم روی سطح ویفر را تضمین می‌کند.
۲. ضریب انبساط حرارتی بسیار پایین: تولید نیمه‌هادی‌ها به تغییرات دما حساس است و ضریب انبساط حرارتی گرانیت بسیار پایین است، معمولاً حدود ۵×۱۰⁻⁶/℃. هنگامی که پلتفرم تشخیص در حال کار است، حتی اگر دمای محیط نوسان داشته باشد، اندازه پایه گرانیت بسیار کم تغییر می‌کند. به عنوان مثال، در کارگاه با دمای بالا در تابستان، دمای پلتفرم تشخیص پایه فلزی مشترک ممکن است باعث تغییر موقعیت نسبی ویفر و تجهیزات تشخیص شود و بر دقت تشخیص تأثیر بگذارد. پلتفرم تشخیص پایه گرانیت می‌تواند پایداری را حفظ کند، دقت موقعیت نسبی ویفر و تجهیزات تشخیص را در طول فرآیند تشخیص تضمین کند و محیطی پایدار برای تشخیص با دقت بالا فراهم کند.
دوم، بُعد پایداری
۱. ساختار پایدار و مقاومت در برابر ارتعاش: گرانیت پس از میلیون‌ها سال فرآیندهای زمین‌شناسی، ساختار داخلی متراکم و یکنواختی دارد. در محیط پیچیده یک کارخانه نیمه‌هادی، ارتعاش ناشی از عملکرد تجهیزات جانبی و پرسنل در حال رفت و آمد، به طور مؤثر توسط پایه گرانیتی کاهش می‌یابد.
۲. دقت استفاده طولانی مدت: در مقایسه با سایر مواد، گرانیت از سختی بالا، مقاومت در برابر سایش قوی و سختی Mohs 6-7 برخوردار است. سطح پایه گرانیتی در طول عملیات بارگیری، تخلیه و بازرسی مکرر ویفر به راحتی ساییده نمی‌شود. طبق آمار استفاده واقعی از داده‌ها، استفاده از میز تست پایه گرانیتی، پس از ۵۰۰۰ ساعت کار مداوم، دقت صافی و صافی را می‌توان همچنان در بیش از ۹۸٪ دقت اولیه حفظ کرد و تجهیزات را به دلیل سایش پایه ناشی از زمان‌های کالیبراسیون و نگهداری منظم کاهش داد و هزینه‌های عملیاتی کسب و کار را کاهش داد تا ثبات طولانی مدت کار تست تضمین شود.
سوم، بُعد پاک و ضد تداخل
۱. تولید کم گرد و غبار: محیط تولید نیمه‌هادی باید بسیار تمیز باشد و خود ماده گرانیتی پایدار است و به راحتی ذرات گرد و غبار تولید نمی‌کند. در طول کار پلتفرم آزمایش، از گرد و غبار تولید شده توسط پایه برای آلوده کردن ویفر جلوگیری می‌شود و خطر اتصال کوتاه و مدار باز ناشی از ذرات گرد و غبار کاهش می‌یابد. در منطقه بازرسی ویفر کارگاه بدون گرد و غبار، غلظت گرد و غبار در اطراف میز بازرسی پایه گرانیتی همیشه در سطح بسیار پایینی کنترل می‌شود و الزامات سختگیرانه نظافت صنعت نیمه‌هادی را برآورده می‌کند.
۲. عدم تداخل مغناطیسی: تجهیزات تشخیص به محیط الکترومغناطیسی حساس هستند و گرانیت یک ماده غیر مغناطیسی است که با سیگنال الکترونیکی تجهیزات تشخیص تداخل نخواهد داشت. در استفاده از تشخیص پرتو الکترونی و سایر فناوری‌های تست که به محیط الکترومغناطیسی بسیار بالایی نیاز دارند، پایه گرانیتی انتقال پایدار سیگنال الکترونیکی تجهیزات تشخیص را تضمین می‌کند و دقت نتایج آزمایش را تضمین می‌کند. به عنوان مثال، هنگامی که ویفر برای عملکرد الکتریکی با دقت بالا آزمایش می‌شود، پایه گرانیتی غیر مغناطیسی از تداخل با سیگنال‌های جریان و ولتاژ تشخیص جلوگیری می‌کند، به طوری که داده‌های تشخیص واقعاً منعکس کننده ویژگی‌های الکتریکی ویفر هستند.
زمان ارسال: ۳۱ مارس ۲۰۲۵