مزایای استفاده از پایه‌های دستگاه گرانیتی ZHHIMG® در دستگاه‌های برش ویفر.

در فرآیند تولید نیمه‌هادی، برش ویفر یک مرحله حیاتی است که نیاز به دقت و پایداری بالا از تجهیزات دارد. پایه‌های ماشین گرانیتی ZHHIMG® هنگام استفاده در دستگاه‌های برش ویفر، مزایای متمایزی را ارائه می‌دهند و آنها را به انتخابی ایده‌آل برای این کاربرد چالش‌برانگیز تبدیل می‌کنند.
پایداری استثنایی گرانیت ZHHIMG® با چگالی تقریبی ۳۱۰۰ کیلوگرم بر متر مکعب، پایه‌ای محکم برای دستگاه‌های برش ویفر فراهم می‌کند. چگالی بالا منجر به پایداری عالی می‌شود و هرگونه حرکت یا لرزش احتمالی را در طول فرآیند برش به حداقل می‌رساند. این پایداری بسیار مهم است زیرا حتی کوچکترین لرزش می‌تواند باعث انحراف ابزار برش از مسیر مورد نظر خود شود و منجر به برش‌های نادرست و ویفرهای معیوب شود. برخلاف مواد با چگالی کمتر، گرانیت ZHHIMG® تضمین می‌کند که سر برش دقیقاً در موقعیت خود قرار می‌گیرد و امکان تولید برش‌های با کیفیت بالا و یکنواخت را در سراسر ویفر فراهم می‌کند.

انبساط حرارتی کم: کارخانه‌های تولید نیمه‌هادی اغلب کنترل دمای دقیقی دارند، اما نوسانات کوچک همچنان ممکن است رخ دهد. گرانیت ZHHIMG® ضریب انبساط حرارتی بسیار پایینی دارد. این بدان معناست که با تغییر جزئی دما در محیط تولید، پایه دستگاه گرانیت به طور قابل توجهی منبسط یا منقبض نمی‌شود. در برش ویفر، که در آن تلرانس‌های دقیق در محدوده میکرومتر یا حتی نانومتر هستند، تغییرات ابعادی ناشی از حرارت می‌تواند فاجعه‌بار باشد. انبساط حرارتی کم گرانیت ZHHIMG® به حفظ تراز اجزای دستگاه برش کمک می‌کند و تضمین می‌کند که فرآیند برش صرف نظر از تغییرات جزئی دما، دقیق باقی می‌ماند.
میرایی ارتعاش برتر در طول برش ویفر، ابزار برش ارتعاش ایجاد می‌کند. اگر این ارتعاشات به طور موثر میرا نشوند، می‌توانند به ویفر منتقل شوند و باعث لب‌پریدگی یا سایر آسیب‌ها شوند. گرانیت ZHHIMG® دارای خواص طبیعی میرایی ارتعاش است. ساختار داخلی آن که در طول دوره‌های طولانی زمین‌شناسی شکل گرفته است، به آن اجازه می‌دهد تا ارتعاشات را به سرعت جذب و دفع کند. این یک مزیت قابل توجه نسبت به برخی از پایه‌های ماشین‌آلات فلزی است که ممکن است ارتعاشات را راحت‌تر منتقل کنند. پایه‌های ماشین‌آلات گرانیتی ZHHIMG® با کاهش ارتعاشات، به عملیات برش روان‌تر کمک می‌کنند و در نتیجه برش‌های تمیزتر و ویفرهای با کیفیت بالاتر حاصل می‌شوند.
مقاومت بالا در برابر سایشماشین‌های برش ویفر به طور مداوم در تولید نیمه‌هادی‌ها با حجم بالا استفاده می‌شوند. فرآیند برش، پایه ماشین را در معرض تنش مکانیکی و اصطکاک قرار می‌دهد. سختی بالا و ماهیت مقاوم در برابر سایش گرانیت ZHHIMG®، پایه ماشین را قادر می‌سازد تا در مدت زمان طولانی بدون سایش قابل توجه، این نیروها را تحمل کند. این دوام به این معنی است که پایه ماشین می‌تواند دقت ابعادی و عملکرد خود را در طول عمر طولانی حفظ کند. این امر نیاز به تعویض‌های مکرر یا نگهداری پرهزینه به دلیل مسائل مربوط به سایش را کاهش می‌دهد و در نهایت باعث صرفه‌جویی در زمان و هزینه تولیدکنندگان نیمه‌هادی می‌شود.
بی‌اثری شیمیاییمحیط‌های تولید نیمه‌هادی ممکن است تجهیزات را در معرض مواد شیمیایی مختلفی که در تمیز کردن، حکاکی یا سایر فرآیندها استفاده می‌شوند، قرار دهند. گرانیت ZHHIMG® از نظر شیمیایی بی‌اثر است و در برابر خوردگی ناشی از این مواد شیمیایی مقاوم است. این ویژگی تضمین می‌کند که یکپارچگی پایه دستگاه، حتی در معرض مواد شیمیایی خشن، دست نخورده باقی می‌ماند. این امر به حفظ پایداری و دقت دستگاه برش ویفر در طول زمان کمک می‌کند، زیرا خوردگی شیمیایی می‌تواند منجر به تغییر شکل یا تخریب عملکرد پایه دستگاه شود.
به طور خلاصه، پایه‌های دستگاه گرانیتی ZHHIMG® ترکیبی از پایداری، مقاومت حرارتی، میرایی ارتعاش، مقاومت در برابر سایش و بی‌اثری شیمیایی را ارائه می‌دهند که برای دستگاه‌های برش ویفر بسیار مفید هستند. هنگام بررسی ارتقاء یا خرید جدید تجهیزات برش ویفر، انتخاب دستگاهی با پایه دستگاه گرانیتی ZHHIMG® تصمیمی عاقلانه است که می‌تواند کیفیت و کارایی فرآیندهای تولید نیمه‌هادی را افزایش دهد.