گرانیت نوعی سنگ سخت است که به ماده‌ای ضروری در صنعت تولید نیمه‌رسانا تبدیل شده است. خواص آن به آن اجازه می‌دهد تا در برابر دماهای بالا مقاومت کند، که آن را برای استفاده در مراحل مختلف فرآیندهای تولید دستگاه‌های نیمه‌رسانا ایده‌آل می‌کند. در نتیجه، مونتاژ گرانیت زمینه‌های کاربرد گسترده‌ای در محصولات دستگاه‌های فرآیند تولید نیمه‌رسانا پیدا کرده است.
یکی از پرکاربردترین کاربردهای مونتاژ گرانیت، ساخت سازه‌های ابزار ماشینی با دقت بالا است. استحکام و پایداری گرانیت، تولید ابزارهای دقیق و درست را با تغییر شکل کم یا بدون تغییر شکل ممکن می‌سازد. این سطح از دقت در فرآیندهای تولید نیمه‌هادی مانند کاشت یون، که در آن پرتو باید به طور دقیق روی ویفر هدایت شود، ضروری است.
یکی دیگر از کاربردهای مونتاژ گرانیت در تولید نیمه‌هادی‌ها، ساخت تجهیزات مترولوژی است. تجهیزات مترولوژی در فرآیندهای تولید نیمه‌هادی بسیار حیاتی هستند زیرا دقت دستگاه‌های تولید شده را اندازه‌گیری و تأیید می‌کنند. پایداری ابعادی گرانیت، انبساط حرارتی کم و خواص عالی میرایی ارتعاش، آن را به ماده انتخابی در ساخت تجهیزات مترولوژی تبدیل کرده است. این شامل سطوح گرانیتی بزرگ مورد استفاده در مرحله‌بندی و بازرسی ویفرها می‌شود.
میزهای نوری یکی دیگر از کاربردهای گسترده مونتاژ گرانیت در صنعت نیمه‌هادی هستند. میزهای نوری در آزمایش دستگاه‌های نوری مانند موجبرها برای ارتباطات داده استفاده می‌شوند. مسطح بودن گرانیت، انبساط حرارتی کم، استحکام بالا و پایداری مکانیکی آن را قادر می‌سازد تا سطحی بسیار پایدار برای نصب و قرارگیری اپتیک‌ها فراهم کند. میزهای نوری گرانیت می‌توانند پایداری و استحکام لازم برای انجام آزمایش دقیق و صحیح دستگاه‌های نوری را فراهم کنند.
گرانیت همچنین در ساخت سه نظام‌ها و طبقات ویفر کاربرد دارد. در طول فرآیند تولید نیمه‌هادی، تنظیم دقیق و کنترل موقعیت بسیار مهم است. سه نظام‌های ویفر که ویفرها را در طول پردازش در جای خود نگه می‌دارند، باید دقت موقعیت را در حین تحمل دماهای بالا و شرایط خلاء حفظ کنند. گرانیت در طیف وسیعی از دماها پایداری ابعادی عالی دارد و می‌تواند شرایط خلاء را تحمل کند، که آن را برای ساخت سه نظام‌های ویفر ایده‌آل می‌کند. طبقات مورد استفاده در حرکت ویفرها از یک موقعیت به موقعیت دیگر، در طول فرآیند ساخت نیمه‌هادی، یک توالی چرخه‌ای از حرکات را طی می‌کنند. مونتاژ گرانیتی پایداری و دوام لازم برای تحمل چرخه‌های مداوم و تکراری حرکت را فراهم می‌کند.
به طور خلاصه، کاربرد گرانیت در صنعت تولید نیمه‌هادی بسیار گسترده است. خواص آن مانند پایداری ابعادی، انبساط حرارتی کم، استحکام بالا و میرایی ارتعاش، آن را به ماده‌ای ایده‌آل برای استفاده در مراحل مختلف فرآیندهای تولید دستگاه‌های نیمه‌هادی تبدیل می‌کند. از ساخت ماشین‌آلات با دقت بالا و تجهیزات مترولوژی گرفته تا میزهای نوری و مراحل ویفر و سه نظام‌ها، ویژگی‌های گرانیت نقش مهمی در فراهم کردن پایداری، دقت و تکرارپذیری لازم برای دستیابی به تولید دستگاه‌های نیمه‌هادی با کیفیت بالا ایفا می‌کنند.
زمان ارسال: دسامبر-06-2023