گرانیت مادهای بسیار متنوع با طیف وسیعی از کاربردها به دلیل دوام، استحکام و خواص زیباییشناسی منحصر به فردش است. در صنعت تولید الکترونیک، گرانیت به طور گسترده در تولید محصولات تجهیزات پردازش ویفر استفاده میشود. این محصولات نقش مهمی در پردازش ویفرهای سیلیکونی دارند که برای ساخت دستگاههای الکترونیکی ضروری هستند. در این مقاله، به بررسی چندین زمینه کاربردی گرانیت در محصولات تجهیزات پردازش ویفر خواهیم پرداخت.
۱. چاکها و مراحل
یکی از اجزای حیاتی محصولات تجهیزات پردازش ویفر، سه نظامها و مراحل هستند. این قطعات برای نگه داشتن ویفرها در محل خود در حین عملیات پردازش استفاده میشوند. گرانیت به دلیل پایداری عالی، مقاومت در برابر نوسانات حرارتی و ضریب انبساط حرارتی پایین، ماده ترجیحی برای این اجزا است. این ماده امکان دقت بالایی را در قرارگیری ویفر فراهم میکند و نتایج پردازش مداوم را تضمین میکند.
۲. ابزارهای مترولوژی
ابزارهای مترولوژی ابزارهای دقیقی هستند که برای اندازهگیری خواص فیزیکی ویفرها در حین پردازش استفاده میشوند. گرانیت به دلیل پایداری ابعادی برتر، ضریب انبساط حرارتی پایین و مقاومت بالا در برابر سایش و پارگی، برای تولید این ابزارها بسیار مناسب است. علاوه بر این، قابلیتهای برتر میرایی ارتعاش آن، اندازهگیریهای دقیق و مداوم را تضمین میکند و منجر به نتایج با کیفیت بالاتر در تولید ویفر در مقیاس انبوه میشود.
۳. میزهای کار و پیشخوانها
میزهای کار و کانترهای گرانیتی معمولاً در محصولات تجهیزات پردازش ویفر که برای عملیات دقیق تولید به سطوح کاری پایدار و صاف نیاز دارند، استفاده میشوند. گرانیت به دلیل پایداری استثنایی، مقاومت در برابر رطوبت و تخلخل کم، سطحی ایدهآل برای چنین کارهایی فراهم میکند. این ماده در برابر کرنش، ترک خوردگی و سایش مقاوم است و آن را به مادهای ایدهآل برای استفاده در محیطهای تولیدی با فناوری پیشرفته تبدیل میکند.
۴. قابها و تکیهگاهها
قابها و تکیهگاهها بخش اساسی محصولات تجهیزات پردازش ویفر هستند. آنها پشتیبانی ساختاری برای تجهیزات فراهم میکنند و تضمین میکنند که اجزا در طول عملیات پردازش در موقعیت صحیح خود باقی بمانند. گرانیت به دلیل استحکام بالا، استحکام و ضریب انبساط حرارتی پایین برای این کاربردها انتخاب میشود. این ویژگیها تضمین میکنند که تجهیزات در موقعیت مورد نیاز خود باقی میمانند و در نتیجه نتایج دقیق و ثابتی تولید میکنند.
۵. نیمکتهای نوری
میزهای اپتیکی در تجهیزات پردازش ویفر برای ایجاد موقعیتیابی بدون لرزش برای اجزای مختلف اپتیکی استفاده میشوند. گرانیت به دلیل خواص عالی میرایی ارتعاش، مادهای ایدهآل برای ساخت میزهای اپتیکی است. علاوه بر این، ضریب انبساط حرارتی پایین آن تضمین میکند که اجزا، علیرغم نوسانات دمایی که ممکن است در طول پردازش رخ دهد، در موقعیت خود باقی بمانند.
در نتیجه، گرانیت مادهای بسیار متنوع است که کاربرد گستردهای در تولید محصولات تجهیزات پردازش ویفر دارد. پایداری بالا، استحکام، مقاومت در برابر سایش و خواص میرایی ارتعاش آن، آن را به مادهای پرکاربرد برای ساخت طیف وسیعی از قطعات، از سه نظامها و پایهها گرفته تا میزهای کار و کانترها، قابها و تکیهگاهها و میزهای نوری، تبدیل کرده است. در نتیجه، استفاده از گرانیت در چنین تجهیزاتی، تولید ویفر با کیفیت بالا و در مقیاس انبوه را تضمین میکند که بخش جداییناپذیر صنعت الکترونیک است.
زمان ارسال: ۲۷ دسامبر ۲۰۲۳