تولید نیمه‌هادی: در فرآیند تولید تراشه، فرآیند فوتولیتوگرافی نیاز به انتقال دقیق الگوی مدار به ویفر دارد. پایه گرانیتی ماژول حرکتی فوق دقیق شناور تک محوره هوا می‌تواند موقعیت‌یابی با دقت بالا و پشتیبانی پایدار برای میز ویفر در تجهیزات لیتوگرافی را فراهم کند. به عنوان مثال، ASML و سایر تولیدکنندگان ماشین لیتوگرافی مشهور بین‌المللی از ماژول‌های حرکتی شناور هوای پایه گرانیتی در تجهیزات پیشرفته خود استفاده می‌کنند که می‌توانند دقت موقعیت‌یابی ویفر را در سطح نانومتر کنترل کنند تا از دقت الگوی لیتوگرافی اطمینان حاصل شود و در نتیجه ادغام و عملکرد تراشه بهبود یابد.
میدان اندازه‌گیری دقیق: CMM یک تجهیزات اندازه‌گیری دقیق است که معمولاً در تولید صنعتی مورد استفاده قرار می‌گیرد و برای اندازه‌گیری اندازه، شکل و دقت موقعیت قطعه کار استفاده می‌شود. ماژول حرکت فوق‌العاده دقیق شناور هوای تک محوره روی پایه گرانیتی می‌تواند به عنوان سکوی حرکت CMM مورد استفاده قرار گیرد که می‌تواند حرکت خطی با دقت بالا را محقق کند و یک مسیر حرکت پایدار برای پروب اندازه‌گیری فراهم کند. به عنوان مثال، CMM پیشرفته Hexagon از این ترکیب برای اندازه‌گیری قطعات بزرگ و پیچیده با دقت اندازه‌گیری تا سطح میکرون استفاده می‌کند و تضمین قوی برای کنترل کیفیت قطعات در صنایع خودرو، هوافضا و سایر صنایع ارائه می‌دهد.
حوزه هوافضا: در پردازش و آزمایش قطعات هوافضا، دقت بالایی مورد نیاز است. به عنوان مثال، ماشینکاری پره‌های موتور هواپیما نیاز به کنترل دقیق مسیر حرکت ابزار دارد تا از دقت پروفیل پره اطمینان حاصل شود. پایه گرانیتی ماژول حرکت فوق دقیق شناور هوای تک محوره را می‌توان در مرکز ماشینکاری پنج محوره و سایر تجهیزات اعمال کرد تا کنترل حرکت با دقت بالا برای ابزار فراهم شود و اطمینان حاصل شود که دقت ماشینکاری پره می‌تواند الزامات طراحی را برآورده کند. در عین حال، در فرآیند مونتاژ موتور هواپیما، استفاده از تجهیزات اندازه‌گیری با دقت بالا نیز برای تشخیص دقت مونتاژ قطعات ضروری است. ماژول حرکت شناور هوای پایه گرانیتی می‌تواند پشتیبانی پایدار و حرکت دقیقی را برای تجهیزات اندازه‌گیری فراهم کند تا کیفیت مونتاژ تضمین شود.
زمینه بازرسی نوری: در فرآیند تولید و آزمایش قطعات نوری، انجام موقعیت‌یابی و اندازه‌گیری با دقت بالا برای قطعات نوری ضروری است. به عنوان مثال، هنگام تولید قطعات نوری با دقت بالا مانند آینه‌ها و لنزها، استفاده از تداخل‌سنج‌ها و سایر تجهیزات برای تشخیص دقت شکل سطح ضروری است. پایه گرانیتی ماژول حرکتی فوق دقیق شناور تک محوره هوا می‌تواند به عنوان سکوی حرکتی تداخل‌سنج استفاده شود که می‌تواند دقت موقعیت‌یابی زیر میکرون را محقق کند و پشتیبانی دقیقی از داده‌ها را برای تشخیص قطعات نوری ارائه دهد. علاوه بر این، در تجهیزات پردازش لیزر، استفاده از یک سکوی حرکتی با دقت بالا برای کنترل مسیر اسکن پرتو لیزر نیز ضروری است، پایه گرانیتی ماژول حرکتی شناور هوا می‌تواند این نیاز را برآورده کند تا به پردازش لیزری با دقت بالا دست یابد.
زمان ارسال: آوریل-07-2025