اجزای گرانیتی به دلیل ویژگی های عالی آنها مانند پایان سطح برتر ، سفتی زیاد و میرایی لرزش عالی به طور گسترده در فرآیند تولید نیمه هادی مورد استفاده قرار گرفته است. اجزای گرانیتی برای تجهیزات ساخت نیمه هادی ، از جمله دستگاه های لیتوگرافی ، دستگاه های پولیش و سیستم های اندازه گیری ضروری هستند زیرا آنها موقعیت یابی دقیق و پایداری را در طی فرآیند تولید فراهم می کنند. با وجود تمام مزایای استفاده از اجزای گرانیتی ، آنها نیز نقص دارند. در این مقاله ، ما در مورد نقص اجزای گرانیتی برای محصولات فرآیند تولید نیمه هادی بحث خواهیم کرد.
اول ، اجزای گرانیتی ضریب انبساط حرارتی بالایی دارند. این بدان معناست که آنها تحت استرس حرارتی به طور قابل توجهی گسترش می یابند ، که می تواند در طی فرآیند تولید مشکلی ایجاد کند. فرآیند تولید نیمه هادی نیاز به دقت و دقت بالایی دارد که به دلیل استرس حرارتی می تواند به خطر بیفتد. به عنوان مثال ، تغییر شکل ویفر سیلیکون به دلیل انبساط حرارتی می تواند باعث ایجاد مشکلات تراز در هنگام لیتوگرافی شود ، که می تواند کیفیت دستگاه نیمه هادی را به خطر بیاندازد.
دوم ، اجزای گرانیتی دارای نقص تخلخل هستند که می تواند در فرآیند تولید نیمه هادی باعث نشت خلاء شود. وجود هوا یا هر گاز دیگر در سیستم می تواند باعث آلودگی در سطح ویفر شود و در نتیجه نقص هایی ایجاد می شود که می تواند بر عملکرد دستگاه نیمه هادی تأثیر بگذارد. گازهای بی اثر مانند آرگون و هلیوم می توانند به اجزای گرانیتی متخلخل برسند و حباب های گازی ایجاد کنند که می تواند در یکپارچگی فرآیند خلاء دخالت کند.
سوم ، اجزای گرانیتی دارای ریزگردهایی هستند که می توانند در دقت فرآیند تولید تداخل داشته باشند. گرانیت ماده ای شکننده است که می تواند با گذشت زمان ، به ویژه در معرض چرخه استرس ثابت ایجاد کند. وجود ریزگردها می تواند منجر به بی ثباتی بعدی شود و باعث ایجاد مشکلات قابل توجهی در طی فرآیند تولید مانند تراز سنگی یا پولیش ویفر شود.
چهارم ، اجزای گرانیتی انعطاف پذیری محدودی دارند. فرآیند تولید نیمه هادی نیاز به تجهیزات انعطاف پذیر دارد که می تواند تغییرات مختلف فرآیند را در خود جای دهد. با این حال ، اجزای گرانیتی سفت و سخت هستند و نمی توانند با تغییرات مختلف فرآیند سازگار شوند. بنابراین ، هرگونه تغییر در فرآیند تولید نیاز به حذف یا جایگزینی اجزای گرانیتی دارد و منجر به خرابی و تأثیرگذاری بر بهره وری می شود.
پنجم ، اجزای گرانیتی به دلیل وزن و شکنندگی آنها به حمل و نقل ویژه نیاز دارند. گرانیت یک ماده متراکم و سنگین است که به تجهیزات تخصصی حمل و نقل مانند جرثقیل و آسانسور نیاز دارد. علاوه بر این ، اجزای گرانیتی برای جلوگیری از خسارت در هنگام حمل و نقل ، نیاز به بسته بندی و حمل و نقل دقیق دارند و منجر به هزینه های اضافی و زمان می شوند.
در نتیجه ، اجزای گرانیتی دارای اشکالاتی هستند که می توانند بر کیفیت و بهره وری محصولات فرآیند تولید نیمه هادی تأثیر بگذارند. این نقص ها می توانند از طریق استفاده دقیق و نگهداری از اجزای گرانیتی ، از جمله بازرسی دوره ای برای ریزگردها و نقص های تخلخل ، تمیز کردن مناسب برای جلوگیری از آلودگی و برخورد دقیق در هنگام حمل و نقل به حداقل برسند. با وجود نقص ، اجزای گرانیتی به دلیل پایان سطح برتر ، سفتی زیاد و میرایی لرزش عالی ، بخش مهمی از فرآیند تولید نیمه هادی هستند.
زمان پست: دسامبر 05-2023