اجزای گرانیتی به دلیل ویژگی‌های عالی مانند پرداخت سطح عالی، سفتی بالا و میرایی عالی ارتعاش، به طور گسترده در فرآیند تولید نیمه‌هادی‌ها مورد استفاده قرار گرفته‌اند. اجزای گرانیتی برای تجهیزات ساخت نیمه‌هادی، از جمله دستگاه‌های لیتوگرافی، دستگاه‌های پولیش و سیستم‌های مترولوژی ضروری هستند زیرا موقعیت‌یابی دقیق و پایداری را در طول فرآیند تولید فراهم می‌کنند. با وجود تمام مزایای استفاده از اجزای گرانیتی، آنها دارای نقص‌هایی نیز هستند. در این مقاله، در مورد نقص‌های اجزای گرانیتی برای محصولات فرآیند تولید نیمه‌هادی بحث خواهیم کرد.
اولاً، اجزای گرانیتی ضریب انبساط حرارتی بالایی دارند. این بدان معناست که آنها تحت تنش حرارتی به طور قابل توجهی منبسط می‌شوند، که می‌تواند در طول فرآیند تولید مشکلاتی ایجاد کند. فرآیند تولید نیمه‌هادی نیاز به دقت و صحت ابعادی بالایی دارد که می‌تواند به دلیل تنش حرارتی به خطر بیفتد. به عنوان مثال، تغییر شکل ویفر سیلیکونی به دلیل انبساط حرارتی می‌تواند باعث ایجاد مشکلات ترازبندی در طول لیتوگرافی شود که می‌تواند کیفیت دستگاه نیمه‌هادی را به خطر بیندازد.
دوم، اجزای گرانیتی دارای نقص‌های تخلخلی هستند که می‌توانند باعث نشت خلاء در فرآیند تولید نیمه‌هادی شوند. وجود هوا یا هر گاز دیگری در سیستم می‌تواند باعث آلودگی سطح ویفر شود و در نتیجه نقص‌هایی ایجاد کند که می‌تواند بر عملکرد دستگاه نیمه‌هادی تأثیر بگذارد. گازهای بی‌اثر مانند آرگون و هلیوم می‌توانند به اجزای گرانیتی متخلخل نفوذ کرده و حباب‌های گازی ایجاد کنند که می‌تواند در یکپارچگی فرآیند خلاء اختلال ایجاد کند.
سوم، اجزای گرانیتی دارای ریزشکستگی‌هایی هستند که می‌توانند در دقت فرآیند تولید اختلال ایجاد کنند. گرانیت ماده‌ای شکننده است که می‌تواند به مرور زمان، به ویژه هنگامی که در معرض چرخه‌های تنش ثابت قرار می‌گیرد، دچار ریزشکستگی شود. وجود ریزشکستگی‌ها می‌تواند منجر به بی‌ثباتی ابعادی شود و مشکلات قابل توجهی را در طول فرآیند تولید، مانند ترازبندی لیتوگرافی یا صیقل دادن ویفر، ایجاد کند.
چهارم، اجزای گرانیتی انعطاف‌پذیری محدودی دارند. فرآیند تولید نیمه‌هادی به تجهیزات انعطاف‌پذیری نیاز دارد که بتوانند تغییرات مختلف فرآیند را در خود جای دهند. با این حال، اجزای گرانیتی سفت و سخت هستند و نمی‌توانند با تغییرات مختلف فرآیند سازگار شوند. بنابراین، هرگونه تغییر در فرآیند تولید، مستلزم حذف یا جایگزینی اجزای گرانیتی است که منجر به خرابی و تأثیر بر بهره‌وری می‌شود.
پنجم، اجزای گرانیتی به دلیل وزن و شکنندگی‌شان نیاز به جابجایی و حمل و نقل ویژه دارند. گرانیت ماده‌ای متراکم و سنگین است که به تجهیزات جابجایی تخصصی مانند جرثقیل و بالابر نیاز دارد. علاوه بر این، اجزای گرانیتی برای جلوگیری از آسیب در حین حمل و نقل، نیاز به بسته‌بندی و حمل و نقل دقیق دارند که منجر به هزینه‌ها و زمان اضافی می‌شود.
در نتیجه، قطعات گرانیتی دارای معایبی هستند که می‌توانند بر کیفیت و بهره‌وری محصولات فرآیند تولید نیمه‌هادی تأثیر بگذارند. این نقص‌ها را می‌توان از طریق جابجایی و نگهداری دقیق قطعات گرانیتی، از جمله بازرسی دوره‌ای برای ریزشکستگی‌ها و نقص‌های تخلخل، تمیز کردن مناسب برای جلوگیری از آلودگی و جابجایی دقیق در حین حمل و نقل، به حداقل رساند. علیرغم این نقص‌ها، قطعات گرانیتی به دلیل پرداخت سطح عالی، سفتی بالا و میرایی عالی ارتعاش، همچنان بخش حیاتی فرآیند تولید نیمه‌هادی‌ها هستند.
زمان ارسال: 5 دسامبر 2023