گرانیت یک سنگ طبیعی است که مدت‌هاست در تجهیزات پردازش ویفر مورد استفاده قرار می‌گیرد. این سنگ به دلیل خواص عالی خود مانند انبساط حرارتی کم، استحکام بالا و پایداری خوب شناخته شده است. با این حال، مانند همه مواد، گرانیت نیز دارای مجموعه‌ای از نقص‌های خاص خود است که می‌تواند بر کیفیت تجهیزات پردازش ویفر تأثیر بگذارد.
یکی از عیوب اصلی گرانیت، تمایل آن به ترک خوردن یا شکستن است. این به دلیل وجود ریزترک‌هایی است که می‌توانند در طول تشکیل سنگ ایجاد شوند. اگر این ریزترک‌ها شناسایی و به درستی درمان نشوند، می‌توانند گسترش یافته و منجر به خرابی تجهیزات شوند. برای جلوگیری از این اتفاق، تولیدکنندگان تجهیزات فرآوری باید از گرانیت با کیفیت بالا استفاده کنند که درمان و آزمایش شده باشد تا از عاری بودن آن از ریزترک‌ها اطمینان حاصل شود.
یکی دیگر از معایب گرانیت، حساسیت آن به خوردگی است. اگر تجهیزات گرانیتی در تماس با محیط‌های خورنده قرار گیرند، می‌توانند به مرور زمان شروع به تخریب کنند. این امر می‌تواند منجر به آسیب دیدن یا عدم عملکرد صحیح تجهیزات شود. برای جلوگیری از این امر، تولیدکنندگان باید اطمینان حاصل کنند که گرانیت مورد استفاده در تجهیزات آنها به درستی فرآوری و پوشش داده شده است تا از بروز هرگونه خوردگی جلوگیری شود.
گرانیت همچنین به دلیل خواص حرارتی ذاتی خود، مستعد تاب برداشتن در طول زمان است. دلیل این امر این است که گرانیت ضریب انبساط حرارتی بسیار پایینی دارد، به این معنی که در معرض تغییرات دما، منبسط یا منقبض زیادی نمی‌شود. با این حال، حتی مقدار کمی انبساط یا انقباض نیز می‌تواند به مرور زمان باعث تاب برداشتن تجهیزات شود. مهم است که سازنده تجهیزات هنگام طراحی تجهیزات خود، خواص حرارتی گرانیت را در نظر بگیرد تا از بروز این نقص جلوگیری شود.
در نهایت، ماهیت متخلخل گرانیت می‌تواند منجر به مشکلاتی در زمینه آلودگی شود. اگر گرانیت به درستی آب‌بندی نشود، می‌تواند آلاینده‌هایی را جذب کند که می‌توانند بر کیفیت ویفر تأثیر بگذارند. این امر می‌تواند منجر به خرابی‌های پرهزینه و از دست رفتن تولید شود. برای جلوگیری از این امر، تولیدکنندگان باید گرانیت را به درستی آب‌بندی کنند تا از جذب هرگونه آلاینده جلوگیری شود.
در نتیجه، گرانیت ماده‌ای عالی برای استفاده در تجهیزات پردازش ویفر است. با این حال، آگاهی از نقص‌های آن و انجام اقدامات احتیاطی لازم برای جلوگیری از بروز آنها بسیار مهم است. با مراقبت و نگهداری مناسب، تجهیزات گرانیتی می‌توانند سال‌ها به کار خود ادامه دهند و ویفرهای باکیفیتی را برای صنعت نیمه‌رسانا فراهم کنند.
زمان ارسال: ۲۷ دسامبر ۲۰۲۳