از نقص گرانیت در محصول تجهیزات پردازش ویفر استفاده می شود

گرانیت یک سنگ طبیعی است که برای مدت طولانی در تجهیزات پردازش ویفر استفاده شده است. این امر به دلیل خاصیت بسیار عالی از انبساط حرارتی کم ، استحکام زیاد و پایداری خوب شناخته شده است. با این حال ، مانند همه مواد ، گرانیت مجموعه ای از نقص های خاص خود را دارد که می تواند بر کیفیت تجهیزات پردازش ویفر تأثیر بگذارد.

یکی از مهمترین نقص گرانیت ، تمایل آن به شکستن یا شکستن است. این به دلیل وجود ریزگردها است که می توانند در حین تشکیل سنگ رخ دهند. اگر این ریزگردها به درستی شناسایی و درمان نشوند ، می توانند انتشار و منجر به خرابی تجهیزات شوند. برای جلوگیری از وقوع این امر ، تولید کنندگان تجهیزات پردازش باید از گرانیت با کیفیت بالا استفاده کنند که تحت درمان و آزمایش قرار گرفته است تا اطمینان حاصل شود که از ریزگردها عاری است.

نقص دیگر گرانیت حساسیت آن به خوردگی است. اگر تجهیزات گرانیتی با محیط های خورنده در تماس باشند ، می تواند با گذشت زمان شروع به تخریب کند. این می تواند منجر به آسیب دیدن تجهیزات یا عملکرد صحیح شود. برای جلوگیری از این امر ، تولید کنندگان باید اطمینان حاصل کنند که گرانیت مورد استفاده در تجهیزات خود به درستی تحت درمان قرار گرفته و پوشش داده شده است تا از بروز هرگونه خوردگی جلوگیری شود.

گرانیت همچنین به دلیل خاصیت حرارتی ذاتی خود مستعد پیچیدن به مرور زمان است. این امر به این دلیل است که گرانیت ضریب انبساط حرارتی بسیار کمی دارد ، به این معنی که در صورت تغییر در دما ، گسترش یا انقباض زیادی نمی کند. با این حال ، حتی مقدار کمی از انبساط یا انقباض می تواند باعث ایجاد پیچ ​​و خم در تجهیزات با گذشت زمان شود. مهم است که سازنده تجهیزات هنگام طراحی تجهیزات خود ، خصوصیات حرارتی گرانیت را در نظر بگیرد تا از بروز این نقص جلوگیری شود.

سرانجام ، ماهیت متخلخل گرانیت می تواند منجر به مشکلات آلودگی شود. اگر گرانیت به درستی مهر و موم نشده باشد ، می تواند آلاینده هایی را که می تواند بر کیفیت ویفر تأثیر بگذارد ، جذب کند. این می تواند منجر به خرابی پرهزینه و تولید از دست رفته شود. برای جلوگیری از این امر ، تولید کنندگان برای جلوگیری از جذب هرگونه آلودگی ، باید گرانیت را به درستی مهر و موم کنند.

در پایان ، گرانیت یک ماده عالی برای استفاده در تجهیزات پردازش ویفر است. با این حال ، مهم است که از نقص آن آگاه باشید و اقدامات احتیاطی لازم را برای جلوگیری از بروز آنها انجام دهید. با مراقبت و نگهداری مناسب ، تجهیزات گرانیتی می توانند سالها به کار خود ادامه دهند و ویفرهای با کیفیت بالا را برای صنعت نیمه هادی فراهم می کنند.