گرانیت به دلیل استحکام استثنایی، وزن بالا و مقاومت عالی در برابر سایش و خوردگی، ماده‌ای محبوب برای بسترهای ماشین در تجهیزات پردازش ویفر است. با این حال، حتی با وجود این خواص مفید، بسترهای ماشین گرانیتی در برابر نقص‌های خاصی که ممکن است منجر به کاهش عملکرد، دقت و قابلیت اطمینان تجهیزات شود، مصون نیستند. در این مقاله، برخی از رایج‌ترین نقص‌های بسترهای ماشین گرانیت برای تجهیزات پردازش ویفر را بررسی خواهیم کرد و راه‌هایی برای رفع آنها پیشنهاد خواهیم داد.
۱. تار و کمان
گرانیت یک ماده طبیعی است و به همین دلیل، ممکن است تغییرات جزئی در ابعاد و صافی آن وجود داشته باشد. این تغییرات می‌تواند باعث شود که تخت‌های دستگاه گرانیتی به مرور زمان تاب بردارند یا خم شوند، که می‌تواند بر دقت تجهیزات تأثیر بگذارد. علاوه بر این، لرزش شدید یا چرخه حرارتی می‌تواند این مشکل را تشدید کند. یک راه برای حل این مشکل، انتخاب گرانیت با پایداری ابعادی بهتر و استفاده از فیکسچر برای اطمینان از صاف ماندن تخت دستگاه است.
۲. لب‌پریدگی و ترک‌خوردگی
گرانیت ماده‌ای سخت و شکننده است، به این معنی که اگر تحت تأثیر ضربه یا فشار زیاد قرار گیرد، به راحتی لب‌پریده یا ترک می‌خورد. این عیوب می‌توانند باعث ناهموار شدن بستر دستگاه شوند و بر نرمی حرکت تجهیزات پردازش ویفر تأثیر بگذارند. برای جلوگیری از لب‌پریدگی و ترک‌خوردگی، مهم است که در حین نصب و بهره‌برداری، بستر دستگاه گرانیت را با احتیاط حمل کنید. علاوه بر این، انجام بازرسی‌های منظم برای تشخیص هرگونه نشانه‌ای از آسیب در اسرع وقت، ایده خوبی است.
۳. زبری سطح
سطح بستر دستگاه گرانیت باید صاف و مسطح باشد تا اطمینان حاصل شود که تجهیزات پردازش ویفر به طور دقیق و قابل اعتمادی کار می‌کنند. با این حال، فرآیند ماشینکاری مورد استفاده برای ایجاد بستر دستگاه ممکن است ناهمواری سطحی را به جا بگذارد که می‌تواند بر عملکرد تجهیزات تأثیر بگذارد. برای رفع این مشکل، انجام فرآیند ماشینکاری با دقت و استفاده از ابزارها و تکنیک‌های مناسب برای دستیابی به سطح نهایی مطلوب بسیار مهم است.
۴. لکه و تغییر رنگ
بسترهای دستگاه گرانیتی می‌توانند به مرور زمان به دلیل قرار گرفتن در معرض مواد شیمیایی، آب و سایر مواد، لکه‌دار و تغییر رنگ دهند. این امر می‌تواند بر زیبایی ظاهری تجهیزات تأثیر بگذارد و منجر به تخریب زودرس مواد گرانیتی شود. برای جلوگیری از لکه‌دار شدن و تغییر رنگ، استفاده از روش‌های مناسب تمیز کردن و نگهداری، از جمله پاک کردن و خشک کردن منظم تجهیزات پس از استفاده، بسیار مهم است.
۵. توزیع ناهموار وزن
تخت‌های دستگاه گرانیت سنگین هستند و اگر وزن به طور مساوی توزیع نشود، می‌تواند باعث ناپایداری تجهیزات شده و بر دقت و صحت آن تأثیر بگذارد. برای اطمینان از توزیع یکنواخت وزن، استفاده از ترازکننده‌ها و پایه‌های نگهدارنده در حین نصب بسیار مهم است. علاوه بر این، ایده خوبی است که بازرسی‌های منظم وزن را برای تشخیص هرگونه عدم تعادل انجام دهید.
در نتیجه، بسترهای ماشین گرانیت به دلیل خواص عالی خود، انتخابی محبوب برای تجهیزات پردازش ویفر هستند. با این حال، آنها در برابر نقص‌های خاصی که می‌توانند بر عملکرد، دقت و قابلیت اطمینان آنها تأثیر بگذارند، مصون نیستند. با پیروی از بهترین شیوه‌ها و مراقبت خوب از تجهیزات، می‌توان به این مشکلات رسیدگی کرد و اطمینان حاصل کرد که تجهیزات برای سال‌های آینده در سطوح بهینه کار می‌کنند.
زمان ارسال: ۲۹ دسامبر ۲۰۲۳