گرانیت به دلیل استحکام استثنایی ، وزن زیاد و مقاومت عالی در برابر سایش و خوردگی ، یک ماده محبوب برای تختخواب ماشین در تجهیزات پردازش ویفر است. با این حال ، حتی با وجود این خصوصیات سودمند ، تخت های دستگاه گرانیتی از نقص خاصی که ممکن است منجر به کاهش عملکرد ، دقت و قابلیت اطمینان تجهیزات شود ، مصون نیستند. در این مقاله ، ما برخی از رایج ترین نقص بسترهای دستگاه گرانیتی را برای تجهیزات پردازش ویفر مرور خواهیم کرد و راه های پرداختن به آنها را پیشنهاد می کنیم.
1. پیچ و تاب و تعظیم
گرانیت یک ماده طبیعی است و به همین ترتیب ، ممکن است در ابعاد و صاف بودن آن دارای تغییرات جزئی باشد. این تغییرات می تواند باعث شود تختخواب دستگاه گرانیتی به مرور زمان پیچ و خم یا تعظیم شود که می تواند بر صحت تجهیزات تأثیر بگذارد. علاوه بر این ، لرزش سنگین یا دوچرخه سواری حرارتی می تواند این مسئله را تشدید کند. یکی از راه های حل این مشکل ، انتخاب گرانیت با ثبات ابعادی بهتر و استفاده از فاش کردن برای اطمینان از اینکه تخت دستگاه مسطح است.
2. تراشه و ترک خوردگی
گرانیت یک ماده سخت و شکننده است ، به این معنی که در صورت قرار گرفتن در معرض تأثیر یا استرس زیاد ، می تواند به راحتی تراشه یا ترک کند. این نواقص می تواند باعث شود که بستر دستگاه ناهموار شود و بر صافی حرکت تجهیزات پردازش ویفر تأثیر بگذارد. برای جلوگیری از تراشیدن و ترک خوردگی ، مهم است که در هنگام نصب و کار ، بستر دستگاه گرانیت را با مراقبت انجام دهید. علاوه بر این ، این ایده خوبی است که بازرسی های منظم را انجام دهید تا در اسرع وقت علائم خسارت را تشخیص دهید.
3. زبری سطح
برای اطمینان از اینکه تجهیزات پردازش ویفر به طور دقیق و قابل اعتماد عمل می کند ، سطح تختخواب دستگاه گرانیتی باید صاف و صاف باشد. با این حال ، فرآیند ماشینکاری مورد استفاده برای ایجاد بستر دستگاه ممکن است زبری سطح را پشت سر بگذارد که می تواند بر عملکرد تجهیزات تأثیر بگذارد. برای رفع این مشکل ، انجام فرآیند ماشینکاری با احتیاط و استفاده از ابزارها و تکنیک های مناسب برای دستیابی به سطح سطح مورد نظر بسیار مهم است.
4. رنگ آمیزی و تغییر رنگ
به دلیل قرار گرفتن در معرض مواد شیمیایی ، آب و سایر مواد ، تخت های دستگاه گرانیتی به مرور زمان می توانند رنگ آمیزی و تغییر رنگ شوند. این می تواند جذابیت زیبایی شناسی تجهیزات را تحت تأثیر قرار دهد و منجر به تخریب زودرس مواد گرانیتی شود. برای جلوگیری از رنگ آمیزی و تغییر رنگ ، استفاده از روشهای مناسب برای تمیز کردن و نگهداری از جمله پاک کردن منظم و خشک کردن تجهیزات پس از استفاده بسیار مهم است.
5. توزیع ناهموار وزن
تختخواب دستگاه گرانیت سنگین است و اگر وزن به طور مساوی توزیع نشود ، می تواند باعث ناپایدار شدن تجهیزات و تأثیرگذاری بر دقت و دقت آن شود. برای اطمینان از توزیع وزن به طور مساوی ، استفاده از سطح ترانه ها و پشتیبانی از غرفه های پشتیبانی در حین نصب مهم است. علاوه بر این ، انجام بازرسی های منظم وزن برای تشخیص هرگونه عدم تعادل ایده خوبی است.
در پایان ، تختخواب دستگاه گرانیت به دلیل خاصیت عالی آنها ، یک انتخاب محبوب برای تجهیزات پردازش ویفر است. با این حال ، آنها از نقص خاصی که می تواند بر عملکرد ، دقت و قابلیت اطمینان آنها تأثیر بگذارد ، مصون نیستند. با پیروی از بهترین شیوه ها و مراقبت خوب از تجهیزات ، می توان به این مسائل رسیدگی کرد و اطمینان حاصل کرد که تجهیزات در سطوح بهینه برای سالهای آینده کار می کنند.
زمان پست: دسامبر -29-2023