سناریوهای کاربردی رایج پلتفرم حرکتی ایزولاسیون فعال دقیق XYT با پایه گرانیتی چیست؟

تولید نیمه‌هادی
لیتوگرافی: لیتوگرافی یک فرآیند کلیدی در تولید نیمه‌هادی است که نیاز به انتقال دقیق الگوهای مدار پیچیده بر روی ویفرها دارد. پلتفرم حرکتی دقیق XYT با جداسازی ارتعاش فعال روی پایه گرانیتی می‌تواند پشتیبانی پایدار و موقعیت‌یابی دقیقی را برای تجهیزات لیتوگرافی فراهم کند، اطمینان حاصل کند که دقت موقعیت جدول ویفر در فرآیند نوردهی به سطح نانومتر می‌رسد، به طور موثر انحراف الگو ناشی از ارتعاش و تغییر شکل حرارتی را کاهش می‌دهد و دقت تولید و بازده تراشه را بهبود می‌بخشد.

بازرسی ویفر: پس از اتمام ساخت ویفر، برای یافتن نقص‌ها و عیوب کوچک، باید با دقت بالا بازرسی شود. پلتفرم حرکتی دقیق جداسازی ارتعاش فعال XYT می‌تواند تجهیزات تشخیصی مانند میکروسکوپ پرتو الکترونی، میکروسکوپ نیروی اتمی و غیره را حمل کند تا حرکت پایدار و موقعیت‌یابی دقیق را در طول فرآیند تشخیص حفظ کند، به طوری که تجهیزات تشخیصی بتوانند سطح ویفر را به طور دقیق اسکن کنند و وضوح و دقت تشخیص را بهبود بخشند.
ساخت ابزار نوری
سنگ‌زنی و صیقل‌کاری لنز: در فرآیند تولید لنزهای اپتیکی، برای دستیابی به خواص نوری خوب، لازم است لنزها با دقت بالا سنگ‌زنی و صیقل داده شوند. پلتفرم حرکتی دقیق جداسازی ارتعاش فعال XYT می‌تواند مسیر حرکت ابزارهای سنگ‌زنی و صیقل‌کاری را به طور دقیق کنترل کند، در حالی که پایه گرانیتی می‌تواند ارتعاش خارجی را ایزوله کند، تأثیر ارتعاش را بر دقت ماشینکاری کاهش دهد تا اطمینان حاصل شود که سطح لنز از نظر صافی و پرداخت، الزامات طراحی را برآورده می‌کند.
مونتاژ سیستم نوری: در فرآیند مونتاژ سیستم نوری، اجزای نوری مختلف باید به طور دقیق در موقعیت خاصی نصب شوند تا انتشار دقیق نور و کیفیت تصویربرداری تضمین شود. پلتفرم حرکتی دقیق XYT با پایه گرانیتی می‌تواند یک پلتفرم پایدار برای نصب و تنظیم اجزای نوری فراهم کند و از طریق کنترل دقیق حرکت، به ترازبندی و مونتاژ با دقت بالا در اجزای نوری دست یابد.
هوافضا

تست سیستم ناوبری اینرسی: سیستم ناوبری اینرسی یک تجهیزات ناوبری مهم در حوزه هوافضا است و دقت آن مستقیماً بر دقت ناوبری و ایمنی پرواز هواپیما تأثیر می‌گذارد. در فرآیند تست سیستم ناوبری اینرسی، استفاده از صفحه گردان با دقت بالا برای شبیه‌سازی حالت‌های مختلف حرکت هواپیما ضروری است. پلتفرم حرکتی دقیق جداسازی ارتعاش فعال XYT می‌تواند به عنوان پلتفرم پشتیبان برای میز گردان استفاده شود. از طریق کنترل حرکت دقیق و عملکرد خوب جداسازی ارتعاش، یک محیط حرکتی پایدار و دقیق برای تست سیستم ناوبری اینرسی فراهم می‌کند و دقت و قابلیت اطمینان تست را بهبود می‌بخشد.
ماشینکاری تیغه موتور هوایی: دقت ماشینکاری تیغه موتور هوایی تأثیر مهمی بر عملکرد و راندمان موتور دارد. پلتفرم حرکتی ایزولاسیون فعال دقیق XYT را می‌توان در فرآیند ماشینکاری تیغه، مانند مرکز ماشینکاری اتصال پنج محوره، با کنترل دقیق مسیر حرکت ابزار و حفظ یک محیط پردازش پایدار، برای دستیابی به ماشینکاری با دقت بالا تیغه، به کار برد تا اطمینان حاصل شود که دقت پروفیل تیغه و کیفیت سطح مطابق با الزامات طراحی است.
آزمایش تحقیقات علمی
تحقیقات علوم نانو: در تحقیقات علوم نانو، لازم است اشیاء در مقیاس نانو، مانند تهیه نانومواد و مونتاژ نانودستگاه‌ها، مورد بررسی و مشاهده قرار گیرند. پایه گرانیتی پلتفرم حرکت دقیق ایزولاسیون فعال ارتعاش XYT می‌تواند دقت موقعیت‌یابی در سطح زیر میکرون یا حتی نانو را فراهم کند، یک پلتفرم تجربی پایدار و دقیق برای تحقیقات علمی نانو فراهم کند و به دانشمندان کمک کند تا اسرار دنیای نانو را بهتر کشف کنند.
تصویربرداری زیست‌پزشکی: در حوزه زیست‌پزشکی، مانند میکروسکوپ فلورسانس، میکروسکوپ کانفوکال و سایر دستگاه‌های تصویربرداری، برای به دست آوردن تصاویر بیولوژیکی با وضوح بالا، موقعیت‌یابی دقیق و تصویربرداری پایدار از نمونه مورد نیاز است. پلتفرم حرکتی دقیق جداسازی ارتعاش فعال XYT می‌تواند نمونه‌های بیولوژیکی را حمل کند، ارتعاش و رانش نمونه‌ها را از طریق کنترل حرکت دقیق و عملکرد خوب جداسازی ارتعاش کاهش دهد، کیفیت و دقت تصویربرداری را بهبود بخشد و به محققان زیست‌پزشکی کمک کند تا تحقیقات عمیقی روی سلول، بافت و سایر ساختارهای میکروسکوپی انجام دهند.