گرانیت سالهاست که به طور گسترده در ساخت و طراحی تجهیزات نیمه هادی مورد استفاده قرار می گیرد. این به دلیل خاصیت عالی آن است که آن را برای بسیاری از برنامه ها به یک ماده ایده آل تبدیل می کند. گرانیت در برابر سایش ، خوردگی و شوکهای حرارتی بسیار مقاوم است ، که باعث می شود آن را برای استفاده در محیط های سخت مناسب کند. در این مقاله ، ما در مورد برخی از کاربردهای متداول گرانیت در تجهیزات نیمه هادی بحث خواهیم کرد.
1. تجهیزات اندازه گیری
تجهیزات اندازه گیری برای اندازه گیری ابعاد و خصوصیات دستگاههای نیمه هادی استفاده می شود. گرانیت اغلب به دلیل ثبات ابعادی بالا به عنوان پایه ای برای چنین تجهیزات مورد استفاده قرار می گیرد. صافی و دقت سطح گرانیت یک مرجع ایده آل برای اندازه گیری های دقیق ارائه می دهد. علاوه بر این ، پایداری حرارتی گرانیت خطر تغییرات بعدی را به دلیل تغییرات دما کاهش می دهد.
2. تجهیزات نوری
گرانیت همچنین در تجهیزات نوری مانند دستگاه های لیتوگرافی استفاده می شود که در ساخت دستگاه های نیمه هادی استفاده می شود. پایه گرانیت یک بستر پایدار برای اپتیک های با دقت بالا که در این دستگاه ها استفاده می شود فراهم می کند. خصوصیات مرطوب کننده لرزش عالی گرانیت همچنین به کاهش ارتعاشاتی کمک می کند که می تواند بر عملکرد و صحت اپتیک تأثیر بگذارد.
3 تجهیزات پردازش ویفر
پردازش ویفر نیمه هادی شامل چندین مرحله از جمله تمیز کردن ، اچ کردن و رسوب است. گرانیت در چندین مؤلفه تجهیزات پردازش ویفر استفاده می شود. به عنوان مثال ، گرانیت به عنوان بستر تجهیزات رسوب بخار شیمیایی (CVD) استفاده می شود ، که برای رسوب فیلم های نازک بر روی ویفرهای سیلیکون استفاده می شود. گرانیت همچنین در ساخت اتاق های اچینگ و سایر کشتی های فرآیند استفاده می شود ، جایی که مقاومت شیمیایی عالی آن و ثبات بعدی آن ضروری است.
4. تجهیزات تست
تجهیزات تست برای تأیید عملکرد و کیفیت دستگاههای نیمه هادی استفاده می شود. گرانیت اغلب به دلیل استحکام و ثبات بالا به عنوان پایه ای برای تجهیزات آزمایش استفاده می شود. گرانیت یک سکوی غیر مغناطیسی و غیر رسانا را فراهم می کند که تداخل تجهیزات تست حساس را از بین می برد. صافی و دقت سطح گرانیت نتایج آزمایش بسیار دقیق را فراهم می کند.
پایان
در پایان ، گرانیت یک ماده مهم در طراحی و ساخت تجهیزات نیمه هادی است. خصوصیات عالی آن ، از جمله پایداری بعدی ، پایداری حرارتی ، مقاومت شیمیایی و میرایی لرزش ، آن را برای بسیاری از کاربردها به یک ماده ایده آل تبدیل می کند. گرانیت در چندین مؤلفه مهم تجهیزات نیمه هادی ، از جمله تجهیزات اندازه گیری ، تجهیزات نوری ، تجهیزات پردازش ویفر و تجهیزات آزمایش استفاده می شود. از آنجا که تقاضا برای دستگاههای نیمه هادی سریعتر ، کوچکتر و قدرتمندتر همچنان در حال رشد است ، استفاده از گرانیت در تجهیزات نیمه هادی احتمالاً ضروری است.
زمان پست: APR-08-2024