پایه گرانیتی به دلیل خواص عالی میرایی ارتعاش، پایداری حرارتی و ضریب انبساط حرارتی پایین، معمولاً در تجهیزات نیمه‌هادی مورد استفاده قرار می‌گیرد. با این حال، مانند هر ماده دیگری، گرانیت‌ها نیز می‌توانند دچار نقص‌هایی شوند که می‌تواند بر عملکرد تجهیزات نیمه‌هادی تأثیر بگذارد. در این مقاله، برخی از نقص‌های رایج پایه گرانیتی در تجهیزات نیمه‌هادی را برجسته کرده و راه‌حل‌هایی ارائه خواهیم داد.
عیب شماره ۱: تغییر شکل‌های سطحی
تغییر شکل‌های سطحی رایج‌ترین عیوب در پایه گرانیتی تجهیزات نیمه‌هادی هستند. هنگامی که پایه گرانیتی در معرض تغییرات دما یا بارهای سنگین قرار می‌گیرد، می‌تواند دچار تغییر شکل‌های سطحی مانند تاب، پیچ و تاب و برآمدگی شود. این تغییر شکل‌ها می‌توانند در ترازبندی و دقت تجهیزات نیمه‌هادی اختلال ایجاد کنند.
راه حل: اصلاحات سطحی
اصلاح سطح می‌تواند به کاهش تغییر شکل سطح در پایه گرانیتی کمک کند. فرآیند اصلاح شامل سنگ‌زنی مجدد سطح پایه گرانیتی برای بازیابی صافی و همواری آن است. باید به انتخاب ابزار سنگ‌زنی مناسب و ساینده مورد استفاده توجه زیادی شود تا از حفظ دقت اطمینان حاصل شود.
عیب شماره ۲: ترک‌ها
ترک‌ها می‌توانند در پایه گرانیتی در نتیجه چرخه حرارتی، بارهای سنگین و خطاهای ماشینکاری ایجاد شوند. این ترک‌ها می‌توانند منجر به بی‌ثباتی ساختاری شوند و به طور قابل توجهی بر دقت تجهیزات نیمه‌هادی تأثیر بگذارند.
راه حل: پر کردن و تعمیر
پر کردن و تعمیر ترک‌ها می‌تواند به بازیابی پایداری و دقت پایه گرانیت کمک کند. فرآیند تعمیر معمولاً شامل پر کردن ترک با رزین اپوکسی است که سپس برای بازیابی استحکام سطح گرانیت، عمل‌آوری می‌شود. سپس سطح پیوند داده شده دوباره ساب زده می‌شود تا صافی و همواری آن بازیابی شود.
عیب شماره ۳: لایه لایه شدن
لایه لایه شدن زمانی است که لایه‌های پایه گرانیت از یکدیگر جدا می‌شوند و باعث ایجاد شکاف‌های قابل مشاهده، حفره‌های هوا و ناهماهنگی در سطح می‌شوند. این می‌تواند ناشی از اتصال نامناسب، چرخه حرارتی و خطاهای ماشینکاری باشد.
راه حل: اتصال و تعمیر
فرآیند اتصال و تعمیر شامل استفاده از رزین‌های اپوکسی یا پلیمری برای اتصال بخش‌های گرانیتی لایه لایه شده است. پس از اتصال بخش‌های گرانیتی، سطح تعمیر شده مجدداً ساب زده می‌شود تا صافی و همواری آن بازیابی شود. گرانیت اتصال یافته باید از نظر هرگونه شکاف و حفره هوای باقی مانده بررسی شود تا اطمینان حاصل شود که پایه گرانیتی به طور کامل به استحکام ساختاری اولیه خود باز می‌گردد.
عیب شماره ۴: تغییر رنگ و لکه
گاهی اوقات پایه گرانیتی می‌تواند دچار تغییر رنگ و لکه‌هایی مانند لکه‌های قهوه‌ای و زرد، شوره زدن و لکه‌های تیره شود. این می‌تواند ناشی از ریختن مواد شیمیایی و شیوه‌های نامناسب تمیز کردن باشد.
راه حل: تمیز کردن و نگهداری
تمیز کردن منظم و مناسب پایه گرانیت می‌تواند از تغییر رنگ و لکه شدن جلوگیری کند. استفاده از پاک‌کننده‌های با pH خنثی یا ملایم توصیه می‌شود. فرآیند تمیز کردن باید مطابق دستورالعمل سازنده باشد تا از آسیب رساندن به سطح گرانیت جلوگیری شود. در صورت وجود لکه‌های سرسخت، می‌توان از پاک‌کننده مخصوص گرانیت استفاده کرد.
به طور خلاصه، پایه گرانیتی یک ماده بادوام و قابل اعتماد است که به طور گسترده در تجهیزات نیمه هادی مورد استفاده قرار می‌گیرد. با این حال، ممکن است به مرور زمان به دلیل تغییرات دما، بارهای سنگین و خطاهای ماشینکاری دچار نقص شود. با نگهداری، تمیز کردن و تعمیر مناسب، پایه گرانیتی را می‌توان بازیابی کرد و عملکرد بهینه تجهیزات نیمه هادی را تضمین کرد.
زمان ارسال: ۲۵ مارس ۲۰۲۴