گرانیت به دلیل خواص مکانیکی استثنایی و دوام بالا، ماده‌ای محبوب در صنعت فرآوری ویفر است. این سنگ طبیعی از معادن سراسر جهان استخراج می‌شود و قرن‌هاست که برای مقاصد مختلف ساختمانی، از جمله ساخت تجهیزات نیمه‌هادی، مورد استفاده قرار گرفته است. در این مقاله، به بررسی خواص گرانیت و کاربردهای مختلف آن در تجهیزات فرآوری ویفر خواهیم پرداخت.
خواص گرانیت
گرانیت سنگی آذرین است که از میکا، فلدسپات و کوارتز تشکیل شده است. این سنگ به دلیل استحکام، سختی و دوام استثنایی خود شناخته شده است و آن را به ماده‌ای ایده‌آل برای کاربردهایی که نیاز به دقت و صحت بالا دارند، تبدیل می‌کند. گرانیت ضریب انبساط حرارتی پایینی دارد، به این معنی که به دلیل تغییرات دما منبسط یا منقبض نمی‌شود و این امر آن را بسیار پایدار می‌کند. علاوه بر این، گرانیت در برابر خوردگی و مواد شیمیایی مقاوم است و این امر آن را به ماده‌ای ایده‌آل برای استفاده در محیط‌های خشن تبدیل می‌کند.
کاربردهای گرانیت در تجهیزات پردازش ویفر
گرانیت به دلیل ترکیب منحصر به فرد خواص خود، ماده‌ای پرکاربرد در صنعت فرآوری ویفر است. در ادامه به برخی از کاربردهای گرانیت در تجهیزات فرآوری ویفر اشاره شده است:
۱. ابزارهای مترولوژی
گرانیت معمولاً در ساخت ابزارهای مترولوژی مانند ماشین‌های اندازه‌گیری مختصات (CMM) و سیستم‌های اندازه‌گیری نوری استفاده می‌شود. این ابزارها به سطوح پایداری نیاز دارند که بتوانند در برابر ارتعاشات و گرما مقاومت کنند. سختی بالا و انبساط حرارتی کم گرانیت، آن را به ماده‌ای ایده‌آل برای چنین کاربردهایی تبدیل می‌کند.
2. ویفر چاک
از سه نظام‌های ویفری برای نگه داشتن ویفرها در طول فرآیند تولید استفاده می‌شود. این سه نظام‌ها به یک سطح صاف و پایدار نیاز دارند تا از تاب برداشتن یا خم شدن ویفر جلوگیری شود. گرانیت سطحی صاف و بسیار پایدار و مقاوم در برابر تاب برداشتن فراهم می‌کند و آن را به ماده‌ای عالی برای سه نظام‌های ویفری تبدیل می‌کند.
۳. ابزارهای پرداخت مکانیکی شیمیایی (CMP)
ابزارهای CMP برای صیقل دادن ویفرها در طول فرآیند تولید استفاده می‌شوند. این ابزارها به یک پلتفرم پایدار نیاز دارند که بتواند در برابر ارتعاشات و گرما مقاومت کند. سختی عالی و انبساط حرارتی کم گرانیت، آن را به ماده‌ای ایده‌آل برای ابزارهای CMP تبدیل می‌کند.
۴. تجهیزات بازرسی ویفر
تجهیزات بازرسی ویفر برای بررسی ویفرها از نظر نقص و عیب استفاده می‌شود. این ابزارها برای اطمینان از اندازه‌گیری‌های دقیق به یک سطح پایدار و صاف نیاز دارند. گرانیت سطحی پایدار و صاف فراهم می‌کند که در برابر تاب برداشتن مقاوم است و آن را به ماده‌ای ایده‌آل برای تجهیزات بازرسی ویفر تبدیل می‌کند.
نتیجه‌گیری
در نتیجه، گرانیت به دلیل خواص مکانیکی استثنایی و دوام بالا، ماده‌ای پرکاربرد در صنعت فرآوری ویفر است. این ماده معمولاً در ساخت ابزارهای مترولوژی، سه نظام‌های ویفر، ابزارهای CMP و تجهیزات بازرسی ویفر استفاده می‌شود. ترکیب منحصر به فرد خواص، آن را به ماده‌ای ایده‌آل برای کاربردهایی که نیاز به دقت و صحت بالا دارند، تبدیل می‌کند. گرانیت با مزایای فراوان خود، همچنان انتخابی محبوب برای تجهیزات فرآوری ویفر است و احتمالاً استفاده از آن در آینده نیز رو به افزایش خواهد بود.
زمان ارسال: ۲۷ دسامبر ۲۰۲۳