گرانیت چیست که در تجهیزات پردازش ویفر استفاده می شود؟

گرانیت به دلیل خواص مکانیکی و دوام استثنایی، یک ماده محبوب در صنعت فرآوری ویفر است.این سنگ طبیعی است که از معادن در سراسر جهان استخراج می شود و برای قرن ها برای اهداف مختلف ساختمانی از جمله ساخت تجهیزات نیمه هادی استفاده می شود.در این مقاله به خواص گرانیت و کاربردهای مختلف آن در تجهیزات فرآوری ویفر می پردازیم.

خواص سنگ گرانیت

گرانیت سنگی آذرین است که از میکا، فلدسپات و کوارتز تشکیل شده است.این ماده به دلیل استحکام، سختی و دوام استثنایی خود شناخته شده است که آن را به یک ماده ایده آل برای کاربردهایی تبدیل می کند که به دقت و دقت بالایی نیاز دارند.گرانیت دارای ضریب انبساط حرارتی پایینی است، به این معنی که به دلیل تغییرات دما منبسط یا منقبض نمی شود و باعث پایداری بالایی می شود.علاوه بر این، گرانیت در برابر خوردگی و مواد شیمیایی مقاوم است که آن را به یک ماده ایده آل برای استفاده در محیط های خشن تبدیل می کند.

کاربردهای گرانیت در تجهیزات پردازش ویفر

گرانیت به دلیل ترکیبی از خواص منحصر به فرد، یک ماده پرکاربرد در صنعت فرآوری ویفر است.موارد زیر برخی از کاربردهای گرانیت در تجهیزات فرآوری ویفر است:

1. ابزار اندازه گیری

گرانیت معمولاً در ساخت ابزارهای اندازه‌شناسی مانند ماشین‌های اندازه‌گیری مختصات (CMM) و سیستم‌های اندازه‌گیری نوری استفاده می‌شود.این ابزارها به سطوح ثابتی نیاز دارند که بتوانند در برابر لرزش و گرما مقاومت کنند.سفتی بالا و انبساط حرارتی کم گرانیت آن را به یک ماده ایده آل برای چنین کاربردهایی تبدیل می کند.

2. ویفر چاک

ویفر چاک برای نگهداری ویفر در طول فرآیند تولید استفاده می شود.این چاک ها به یک سطح صاف و پایدار نیاز دارند تا از تاب برداشتن یا خم شدن ویفر جلوگیری شود.گرانیت سطح صافی را فراهم می کند که بسیار پایدار و مقاوم در برابر تاب خوردگی است و آن را به یک ماده عالی برای چاک های ویفر تبدیل می کند.

3. ابزارهای پرداخت مکانیکی شیمیایی (CMP).

ابزارهای CMP برای صیقل دادن ویفرها در طول فرآیند تولید استفاده می شود.این ابزارها به یک پلت فرم پایدار نیاز دارند که بتواند در برابر لرزش و گرما مقاومت کند.سفتی عالی و انبساط حرارتی کم گرانیت آن را به یک ماده ایده آل برای ابزارهای CMP تبدیل می کند.

4. تجهیزات بازرسی ویفر

تجهیزات بازرسی ویفر برای بررسی عیوب و عیوب ویفرها استفاده می شود.این ابزارها برای اطمینان از اندازه گیری دقیق نیاز به یک سطح ثابت و صاف دارند.گرانیت یک سطح ثابت و صاف را فراهم می کند که در برابر تاب خوردگی مقاوم است و آن را به یک ماده ایده آل برای تجهیزات بازرسی ویفر تبدیل می کند.

نتیجه

در نتیجه، گرانیت به دلیل خواص مکانیکی و دوام استثنایی، یک ماده پرکاربرد در صنعت فرآوری ویفر است.معمولاً در ساخت ابزار اندازه‌شناسی، ویفر چاک، ابزار CMP و تجهیزات بازرسی ویفر استفاده می‌شود.ترکیب منحصر به فرد خواص آن را به یک ماده ایده آل برای کاربردهایی تبدیل می کند که به دقت و دقت بالایی نیاز دارند.گرانیت با مزایای فراوانی که دارد، همچنان یک انتخاب محبوب برای تجهیزات پردازش ویفر است و احتمالاً استفاده از آن در آینده رو به رشد خواهد بود.