گرانیت به دلیل خاصیت مکانیکی استثنایی و دوام ، یک ماده محبوب در صنعت پردازش ویفر است. این سنگ طبیعی است که از معادن در سراسر جهان استخراج می شود و قرن ها برای اهداف مختلف ساخت و ساز از جمله تولید تجهیزات نیمه هادی مورد استفاده قرار می گیرد. در این مقاله ، ما در مورد خواص گرانیت و کاربردهای مختلف آن در تجهیزات پردازش ویفر بحث خواهیم کرد.
خواص گرانیت
گرانیت یک سنگ آذرین است که از میکا ، فلدسپار و کوارتز تشکیل شده است. این امر به دلیل قدرت ، سختی و دوام استثنایی شناخته شده است و آن را به یک ماده ایده آل برای برنامه هایی که نیاز به دقت و دقت بالایی دارند ، تبدیل می کند. گرانیت ضریب گسترش حرارتی کم دارد ، به این معنی که به دلیل تغییر دما گسترش نمی یابد یا منقبض نمی شود و آن را بسیار پایدار می کند. علاوه بر این ، گرانیت در برابر خوردگی و مواد شیمیایی مقاوم است ، که آن را به یک ماده ایده آل برای استفاده در محیط های سخت تبدیل می کند.
کاربردهای گرانیت در تجهیزات پردازش ویفر
گرانیت به دلیل ترکیب منحصر به فرد از خواص ، ماده ای گسترده در صنعت پردازش ویفر است. موارد زیر برخی از کاربردهای گرانیت در تجهیزات پردازش ویفر است:
1. ابزارهای اندازه گیری
گرانیت معمولاً در ساخت ابزارهای اندازه گیری ، مانند ماشین های اندازه گیری مختصات (CMM) و سیستم های اندازه گیری نوری مورد استفاده قرار می گیرد. این ابزارها به سطوح پایدار نیاز دارند که می توانند در برابر ارتعاشات و گرما مقاومت کنند. سفتی زیاد و گسترش حرارتی کم گرانیت ، آن را به یک ماده ایده آل برای چنین کاربردهایی تبدیل می کند.
2.
از چاک های ویفر برای نگه داشتن ویفرها در طی فرآیند تولید استفاده می شود. این چاک ها برای جلوگیری از پیچ و خم شدن ویفر یا خم شدن نیاز به یک سطح مسطح و پایدار دارند. گرانیت یک سطح صاف را فراهم می کند که بسیار پایدار و مقاوم در برابر پیچ و تاب است و آن را به یک ماده عالی برای چاک های ویفر تبدیل می کند.
3. ابزارهای پولیش مکانیکی شیمیایی (CMP)
از ابزارهای CMP برای جلا دادن ویفرهای در طی فرآیند تولید استفاده می شود. این ابزارها به یک سکوی پایدار نیاز دارند که می تواند در برابر ارتعاشات و گرما مقاومت کند. سفتی عالی و گسترش حرارتی کم گرانیت ، آن را به یک ماده ایده آل برای ابزارهای CMP تبدیل می کند.
4. تجهیزات بازرسی ویفر
تجهیزات بازرسی ویفر برای بازرسی ویفرها برای نقص و نقص استفاده می شود. این ابزارها برای اطمینان از اندازه گیری دقیق به یک سطح پایدار و صاف نیاز دارند. گرانیت یک سطح پایدار و صاف را فراهم می کند که در برابر پیچ و تاب مقاوم است و آن را به یک ماده ایده آل برای تجهیزات بازرسی ویفر تبدیل می کند.
پایان
در نتیجه ، گرانیت به دلیل خاصیت مکانیکی استثنایی و دوام ، ماده ای به طور گسترده ای در صنعت پردازش ویفر است. این ماده معمولاً در ساخت ابزارهای اندازه گیری ، چاک های ویفر ، ابزارهای CMP و تجهیزات بازرسی ویفر استفاده می شود. ترکیب منحصر به فرد از خواص ، آن را به یک ماده ایده آل برای برنامه هایی که نیاز به دقت و دقت بالایی دارند ، تبدیل می کند. گرانیت با فواید فراوان خود یک انتخاب محبوب برای تجهیزات پردازش ویفر است و احتمالاً استفاده از آن در آینده همچنان به رشد خود ادامه می دهد.
زمان پست: دسامبر -27-2023