بستر دستگاه گرانیت یک جزء حیاتی در تجهیزات پردازش ویفر است. این به یک پایه صاف و پایدار ساخته شده از گرانیت اشاره دارد که تجهیزات پردازش ویفر روی آن نصب شده است. گرانیت نوعی سنگ طبیعی است که به دلیل پایداری عالی، انبساط حرارتی کم، میرایی خوب ارتعاش و دقت بالا، به طور گسترده در صنعت تولید مورد استفاده قرار می‌گیرد. در تجهیزات پردازش ویفر، بستر دستگاه گرانیت نقش مهمی در تضمین دقت، پایداری و تکرارپذیری دستگاه‌ها ایفا می‌کند.
از آنجایی که از تجهیزات پردازش ویفر برای ساخت ویفرهای نیمه‌هادی استفاده می‌شود، دقت دستگاه‌ها برای موفقیت تولید نیمه‌هادی حیاتی است. حتی یک خطای جزئی در تنظیم دستگاه‌ها می‌تواند به طور قابل توجهی بر نتایج پردازش ویفر تأثیر بگذارد، که می‌تواند عواقب جدی برای محصولات نهایی داشته باشد. بنابراین، داشتن یک پایه پایدار و دقیق برای تجهیزات پردازش ویفر ضروری است، که می‌تواند عملکرد دقیق و مداوم دستگاه‌ها را تضمین کند.
گرانیت برای بستر ماشین ایده‌آل است زیرا ضریب انبساط حرارتی پایینی دارد که آن را قادر می‌سازد اندازه و شکل خود را تحت تغییرات دما حفظ کند. این امر به ویژه برای تجهیزات پردازش ویفر بسیار مهم است زیرا دستگاه‌ها در طول پردازش گرمای زیادی تولید می‌کنند. اگر بستر دستگاه به دلیل تغییرات دما منبسط یا منقبض شود، ترازبندی دستگاه‌ها می‌تواند تحت تأثیر قرار گیرد و منجر به عدم دقت در پردازش شود.
علاوه بر این، گرانیت خواص میرایی ارتعاش خوبی دارد که می‌تواند هرگونه ارتعاش تولید شده توسط دستگاه‌ها یا منابع خارجی را جذب کند. این امر به کاهش سطح سر و صدا در تأسیسات پردازش ویفر کمک می‌کند و تضمین می‌کند که ارتعاشات در دقت دستگاه‌ها اختلال ایجاد نمی‌کنند.
گرانیت همچنین در برابر سایش، خوردگی و آسیب‌های شیمیایی مقاوم است. این ماده بادوام می‌تواند در برابر محیط کاری سخت تجهیزات پردازش ویفر مقاومت کند و پایداری و دقت خود را در مدت زمان طولانی حفظ کند.
در نتیجه، بستر دستگاه گرانیتی یک جزء حیاتی در تجهیزات پردازش ویفر است. این بستر، یک پایه صاف و پایدار برای دستگاه‌ها فراهم می‌کند که به تضمین دقت، پایداری و تکرارپذیری آنها کمک می‌کند. گرانیت به دلیل انبساط حرارتی کم، میرایی خوب ارتعاش و دقت بالا، ماده‌ای ایده‌آل برای بستر دستگاه است. با رشد و تکامل صنعت نیمه‌رساناها، اهمیت تجهیزات پردازش ویفر دقیق و پایدار همچنان افزایش می‌یابد و بستر دستگاه گرانیتی را به بخش مهمی از فرآیند تولید نیمه‌رساناها تبدیل می‌کند.
زمان ارسال: ۲۹ دسامبر ۲۰۲۳