گرانیت به دلیل خواص منحصر به فرد خود مانند سفتی بالا، انبساط حرارتی کم و ویژگی‌های میرایی ارتعاش برتر، ماده‌ای عالی برای پایه‌های ماشین‌آلات، به ویژه برای تجهیزات پردازش ویفر است. در حالی که فلز به طور سنتی به عنوان ماده‌ای برای پایه‌های ماشین‌آلات مورد استفاده قرار می‌گرفته است، گرانیت به دلایل زیر به عنوان یک جایگزین برتر ظهور کرده است:
سختی بالا: پایه دستگاه باید سفت و محکم باشد تا ارتعاشات را به حداقل برساند و دقت را در طول پردازش ویفر حفظ کند. گرانیت نسبت سفتی به وزن بالایی دارد که آن را بسیار سفت و پایدار می‌کند و در نتیجه ارتعاشات را کاهش می‌دهد و دقت ماشینکاری عالی را تضمین می‌کند.
انبساط حرارتی کم: تغییرات دما می‌تواند باعث انبساط یا انقباض فلز شود که در نتیجه تغییرات ابعادی در پایه دستگاه ایجاد می‌شود و منجر به عدم دقت در پردازش می‌شود. از طرف دیگر، گرانیت ضریب انبساط حرارتی پایینی دارد، به این معنی که با تغییرات دما زیاد منبسط یا منقبض نمی‌شود و ثبات و دقت در پردازش را تضمین می‌کند.
میرایی ارتعاش عالی: ارتعاش یک مشکل رایج در ماشین آلات است و می‌تواند منجر به خطاهای ابعادی، مشکلات پرداخت سطح و حتی فرسودگی زودرس اجزای ماشین شود. گرانیت به دلیل خواص عالی میرایی ارتعاش شناخته شده است، به این معنی که می‌تواند ارتعاشات را جذب و میرایی کند و پردازش روان و دقیقی را تضمین کند.
مقاومت شیمیایی: فرآوری ویفر شامل استفاده از مواد شیمیایی مختلف است و قرار گرفتن در معرض این مواد شیمیایی می‌تواند باعث خوردگی و تخریب پایه دستگاه به مرور زمان شود. گرانیت در برابر خوردگی شیمیایی بسیار مقاوم است و آن را به انتخابی ایمن و بادوام برای پایه‌های دستگاه در تجهیزات فرآوری ویفر تبدیل می‌کند.
نگهداری کم: گرانیت به حداقل نگهداری نیاز دارد، تمیز کردن آن آسان است و مانند فلز دچار خوردگی یا زنگ‌زدگی نمی‌شود. این به معنای هزینه‌های نگهداری کمتر و زمان از کارافتادگی کمتر تجهیزات است.
به طور کلی، انتخاب گرانیت به جای فلز برای پایه دستگاه تجهیزات پردازش ویفر، مزایای متعددی از جمله سفتی بالا، انبساط حرارتی کم، میرایی ارتعاش برتر، مقاومت شیمیایی عالی و نگهداری کم را ارائه می‌دهد. این مزایا تضمین می‌کند که پایه دستگاه پایدار، دقیق و بادوام باقی بماند و در نتیجه پردازش ویفر با کیفیت بالا و افزایش بهره‌وری حاصل شود.
زمان ارسال: ۲۸ دسامبر ۲۰۲۳